一种碳化硅晶体生长炉加热模块升降机构的制作方法

本技术属于碳化硅晶体生长炉，具体涉及一种碳化硅晶体生长炉加热模块升降机构。

背景技术：

1、碳化硅晶体生长炉的加热方式采用固定的高频线圈，存在以下不足：无法根据坩埚的高度调节炉内与坩埚高度匹配的温度梯度，另一方面，不便于炉内坩埚的取放以及物料的取放，为此，我们提出了一种一种碳化硅晶体生长炉加热模块升降机构。

技术实现思路

1、本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在上述的缺点，而提出的一种碳化硅晶体生长炉加热模块升降机构。该碳化硅晶体生长炉加热模块升降机构可调节炉内轴向温度梯度，另外，该升降机构可将炉体进行提升，使坩埚外露，方便坩埚的取放，可提高工作效率。

2、为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：

3、设计一种碳化硅晶体生长炉加热模块升降机构，包括轨道架，所述轨道架固定在操作台上，所述轨道架设置在炉体的一侧，并高于炉体，所述轨道架内设有适配的移动架，所述移动架的两侧设有滑轮，所述轨道架的两侧设有与限位滑轮适配的滑槽，所述滑轮滑动连接在滑槽内，所述轨道架上设有用于驱动移动架升降的直线驱动机构；所述移动架的朝向炉体的一侧固定连接有支架立板，所述支架立板的两端固定设有半圆结构的上叉臂和下叉臂，所述上叉臂和下叉臂之间固定有加热高频线圈，所述加热高频线圈套设在炉体的外侧，所述炉体的外部固定有贯穿在上叉臂和下叉臂的支撑杆，所述支撑杆与上叉臂和下叉臂之间滑动连接；所述支撑杆的下部一侧设有限位槽，所述下叉臂的侧部对应限位槽的位置设有销轴，所述销轴与限位槽重合时，销轴可插入至限位槽内，使所述炉体随下叉臂一起向上移动。

4、进一步的，所述轨道架的两侧固定设有三脚架结构的加强支架。

5、进一步的，所述直线驱动机构包括横置在轨道架底部的减速电机，所述减速电机的输出端通过联轴器连接有丝杆，所述丝杆贯穿设置在移动架内，所述移动架上固定设有两个移动块，所述丝杆贯穿移动块，并与移动块螺纹连接。

6、进一步的，所述上叉臂与支撑杆之间设有轴套，所述轴套套设在支撑杆上，并固定设置在上叉臂上。

7、进一步的，所述炉体在直线驱动机构的驱动下，最大提升高度大于坩埚的总高度。

8、本实用新型提出的一种碳化硅晶体生长炉加热模块升降机构，有益效果在于：本实用新型的碳化硅晶体生长炉加热模块升降机构可调节加热高频线圈的高度，可根据不同高度的坩埚调节出炉内轴向最佳温度梯度，另外，该升降机构可将炉体进行提升，使坩埚外露，方便坩埚的取放，以及坩埚的上料和下料，可提高工作效率。

技术特征：

1.一种碳化硅晶体生长炉加热模块升降机构，包括轨道架(1)，所述轨道架(1)固定在操作台上，其特征在于，所述轨道架(1)设置在炉体(5)的一侧，并高于炉体(5)，所述轨道架(1)内设有适配的移动架(3)，所述移动架(3)的两侧设有滑轮(31)，所述轨道架(1)的两侧设有与限位滑轮(31)适配的滑槽(11)，所述滑轮(31)滑动连接在滑槽(11)内，所述轨道架(1)上设有用于驱动移动架(3)升降的直线驱动机构；

2.根据权利要求1所述的一种碳化硅晶体生长炉加热模块升降机构，其特征在于，所述轨道架(1)的两侧固定设有三脚架结构的加强支架(12)。

3.根据权利要求1所述的一种碳化硅晶体生长炉加热模块升降机构，其特征在于，所述直线驱动机构包括横置在轨道架(1)底部的减速电机(2)，所述减速电机(2)的输出端通过联轴器连接有丝杆(4)，所述丝杆(4)贯穿设置在移动架(3)内，所述移动架(3)上固定设有两个移动块(32)，所述丝杆(4)贯穿移动块(32)，并与移动块(32)螺纹连接。

4.根据权利要求1所述的一种碳化硅晶体生长炉加热模块升降机构，其特征在于，所述上叉臂(71)与支撑杆(51)之间设有轴套(53)，所述轴套(53)套设在支撑杆(51)上，并固定设置在上叉臂(71)上。

5.根据权利要求1所述的一种碳化硅晶体生长炉加热模块升降机构，其特征在于，所述炉体(5)在直线驱动机构的驱动下，最大提升高度大于坩埚(9)的总高度。

技术总结
本技术公开了一种碳化硅晶体生长炉加热模块升降机构，涉及碳化硅晶体生长炉技术领域，包括轨道架，轨道架固定在操作台上，轨道架设置在炉体的一侧，并高于炉体，轨道架内设有适配的移动架，轨道架上设有用于驱动移动架升降的直线驱动机构；移动架的朝向炉体的一侧固定连接有支架立板，支架立板的两端固定设有半圆结构的上叉臂和下叉臂，上叉臂和下叉臂之间固定有加热高频线圈，加热高频线圈套设在炉体的外侧，炉体的外部固定有贯穿在上叉臂和下叉臂的支撑杆，支撑杆的下部与下叉臂之间设有销轴。本技术可调节炉内轴向温度梯度，另外，该升降机构可将炉体进行提升，使坩埚外露，方便坩埚的取放，可提高工作效率。

技术研发人员：于永澔,李光
受保护的技术使用者：南京宏泰晶智能装备科技有限公司
技术研发日：20230308
技术公布日：2024/1/14