双套扩散炉管及扩散炉的制作方法

本技术涉及光伏与半导体制造，尤其涉及一种双套扩散炉管及扩散炉。

背景技术：

1、半导体或光伏材料广泛应用于电子、新能源等行业，半导体和光伏材料通常都需要经过各种加工处理后才能够应用到产品上，例如将片状材料送入炉中，在一定温度和压力等工艺条件下进行反应来获得所需产品。而目前的扩散炉的炉管中需要装入各种气管，而需要在炉管的内壁上设置连接件固定气管，现有技术采用在炉管的内壁上焊接连接件，一方面会导致在较长的炉管上焊接连接件的难度大；由此导致加工难度大，同时若进行维修则需要更换整根炉管，维修不便。

技术实现思路

1、本实用新型的目的在于提供一种双套扩散炉管及扩散炉，方便连接件的安装，并且方便维修的同时也能够节省资源。

2、为达此目的，本实用新型采用以下技术方案：

3、双套扩散炉管，包括：

4、外管，至少一端开口；

5、内管环，若干所述内管环沿所述外管的轴向可拆卸的设置在所述外管内；

6、至少部分所述内管环设置有连接件，所述连接件用于固定气管。

7、作为优选，若干所述内管环沿所述外管的轴向连续拼接设置。

8、作为优选，所述内管环粘接在所述外管内壁，或/和所述连接件粘贴在所述内管环的内壁。

9、作为优选，多个所述连接件对称设置在同一所述内管环上。

10、作为优选，所述连接件为成l型挂钩，所述连接件对称设置于所述内管环的两侧，位于同一侧的所述连接件朝向相同。

11、作为优选，多个所述连接件对称设置在多个所述内管环上，位于同一侧的所述连接件沿所述内管环的轴向对齐。

12、作为优选，还包括多个定位件，所述定位件可拆卸设置在所述内管环与所述外管之间以用于对所述内管环定位。

13、作为优选，所述定位件沿所述外管的轴向粘接于所述外管的内壁。

14、作为优选，同一个所述内管环上的所述连接件对称设置于所述定位件的两侧。

15、还提供一种扩散炉，包括如上所述的双套扩散炉管。

16、本实用新型的有益效果：

17、采用上述在外管设置内管环并将连接件设置在内管环上的结构，可以在内管环置入外管之前在内管环上安装连接件，方便连接件的安装；此外在长期的使用中若存在连接件损坏，无需更换整个炉管，只需将部分内管环拆掉重新更换安装即可，方便维修的同时也能够节省资源。

技术特征：

1.双套扩散炉管，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的双套扩散炉管，其特征在于，若干所述内管环(2)沿所述外管(1)的轴向连续拼接设置。

3.根据权利要求1所述的双套扩散炉管，其特征在于，所述内管环(2)粘接在所述外管(1)内壁，或/和所述连接件(3)粘贴在所述内管环(2)的内壁。

4.根据权利要求1所述的双套扩散炉管，其特征在于，多个所述连接件(3)对称设置在同一所述内管环(2)上。

5.根据权利要求3所述的双套扩散炉管，其特征在于，所述连接件(3)为l型挂钩，所述连接件(3)对称设置于所述内管环(2)的两侧，位于同一侧的所述连接件(3)朝向相同。

6.根据权利要求1所述的双套扩散炉管，其特征在于，多个所述连接件(3)对称设置在多个所述内管环(2)上，位于同一侧的所述连接件(3)沿所述内管环(2)的轴向对齐。

7.根据权利要求1-6任一所述的双套扩散炉管，其特征在于，还包括多个定位件(4)，所述定位件(4)可拆卸设置在所述内管环(2)与所述外管(1)之间以用于对所述内管环(2)定位。

8.根据权利要求7所述的双套扩散炉管，其特征在于，所述定位件(4)沿所述外管(1)的轴向粘接于所述外管(1)的内壁。

9.根据权利要求7所述的双套扩散炉管，其特征在于，同一个所述内管环(2)上的所述连接件(3)对称设置于所述定位件(4)的两侧。

10.扩散炉，其特征在于，包括如权利要求1-9任一所述的双套扩散炉管。

技术总结
本技术属于光伏与半导体制造技术领域，公开了一种双套扩散炉管及扩散炉，该双套扩散炉管包括至少一端开口的外管，外管内设置有沿外管轴向的若干内管环，内管环与外管可拆卸连接，还包括连接件，多个连接件可拆卸的设置在至少部分内管环的内壁，以用于固定气管。扩散炉采用上述双套扩散炉管，一方面方便扩散管中连接件的制作和维修，并且在扩散炉中的长期反应中，若出现连接件损坏，则无需更换整个炉管，将安装损坏连接件的内管环拆掉更换即可，节约资源。

技术研发人员：朱太荣,肖阳,林佳继,张武
受保护的技术使用者：拉普拉斯新能源科技股份有限公司
技术研发日：20230320
技术公布日：2024/1/14