本技术涉及坩埚,特别是一种适用于不同长度坩埚的可调节装置。
背景技术:
1、纯化炉在生产中需要用到陶瓷坩埚,坩埚内盛放多晶硅,外侧四周及底部放置石墨护板用于支撑,防止坩埚在高温下软化垮裂。但由于坩埚为定制产品,根据生产的需求定制不同的长度,因此也需要对应长度的石墨护板。多种规格的石墨护板不但增加了辅材的采购成本,而且给现场的物资存放和管理也带来一定的难度。
技术实现思路
1、有鉴于此,为了解决上述现有技术中存在的技术问题,本实用新型提供了一种适用于不同长度坩埚的可调节装置,以解决上述技术问题。
2、本实用新型提供了一种适用于不同长度坩埚的可调节装置,其包括:石墨护板和缩小板;
3、所述坩埚的的外侧设置所述石墨护板和所述缩小板;所述缩小板设置在所述坩埚和所述石墨护板之间;
4、所述缩小板具有相对设置的两个侧板;两个侧板能够相对或相向运动,以使所述石墨护板的长度与所述坩埚的长度相匹配,用于支撑所述坩埚。
5、进一步地,所述缩小板还包括与所述侧板垂直设置的支撑板;
6、所述侧板与所述支撑板之间固定连接;所述支撑板的长度可调节。
7、进一步地,所述支撑板对称设置在所述侧板的一侧。
8、进一步地,所述侧板的另一侧与所述坩埚的一侧相邻。
9、进一步地,所述支撑板对称设置在所述侧板的短边的一侧;
10、所述侧板的短边的另一侧与所述坩埚的短边的一侧相邻。
11、进一步地,所述支撑板与所述石墨护板相垂直。
12、进一步地,所述支撑板与所述石墨护板的短边相垂直。
13、进一步地,所述侧板与所述石墨护板的长边相垂直。
14、进一步地,所述石墨护板分别相对设置在所述坩埚的短边和长边两侧;所述缩小板对称设置在所述坩埚的短边两侧。
15、进一步地,所述侧板、所述支撑板、所述石墨护板的高度相同;
16、所述侧板、所述支撑板和所述石墨护板的厚度相等。
17、由于采用了上述技术方案,本实用新型具有如下的优点:
18、1.本实用新型只用采购用户所需的最大规格的石墨护板,对于不同长度的坩埚,使用本实用新型的缩小板调节石墨护板的长度,即可快速实现坩埚尺寸的转换,满足生产不同规格多晶硅的需要。
19、2.本实用新型所述缩小板由高纯度等静压石墨制成,具有强度高、杂质少、导热性能良好的特点,对纯化生产工艺不会产生任何影响,同时又能达到节约采购成本、简化现场物资管理的目的。
1.一种适用于不同长度坩埚的可调节装置,其特征在于,包括:石墨护板和缩小板;
2.根据权利要求1所述的适用于不同长度坩埚的可调节装置,其特征在于,所述缩小板还包括与所述侧板垂直设置的支撑板;
3.根据权利要求2所述的适用于不同长度坩埚的可调节装置,其特征在于,所述支撑板对称设置在所述侧板的一侧。
4.根据权利要求3所述的适用于不同长度坩埚的可调节装置,其特征在于,所述侧板的另一侧与所述坩埚的一侧相邻。
5.根据权利要求4所述的适用于不同长度坩埚的可调节装置,其特征在于,所述支撑板对称设置在所述侧板的短边的一侧;
6.根据权利要求2所述的适用于不同长度坩埚的可调节装置,其特征在于,所述支撑板与所述石墨护板相垂直。
7.根据权利要求6所述的适用于不同长度坩埚的可调节装置,其特征在于,所述支撑板与所述石墨护板的短边相垂直。
8.根据权利要求2所述的适用于不同长度坩埚的可调节装置,其特征在于,所述侧板与所述石墨护板的长边相垂直。
9.根据权利要求1所述的适用于不同长度坩埚的可调节装置,其特征在于,所述石墨护板分别相对设置在所述坩埚的短边和长边两侧;所述缩小板对称设置在所述坩埚的短边两侧。
10.根据权利要求2所述的适用于不同长度坩埚的可调节装置,其特征在于,所述侧板、所述支撑板、所述石墨护板的高度相同;