一种坩埚下护板结构的制作方法

本技术涉及半导体、光伏器件的制造设备，具体为一种坩埚下护板结构。

背景技术：

1、在多晶硅铸锭过程中，需要使用坩埚护板对石英坩埚进行保护，起到隔离污染作用。在实际使用过程中，需要将四块坩埚护板拼接固定在装有硅料的石英坩埚外侧，配合碳-碳盖板和碳-碳底板形成封闭的空间。

2、现有的坩埚下护板结构多为固定安装状态，缺乏快速拆装结构，不便于对护板之间进行快速拆装更换，影响使用便捷性，给人们的使用过程带来了一定的不利影响，为此，我们提出一种坩埚下护板结构。

技术实现思路

1、本实用新型针对上述现有技术的存在的问题，提供一种坩埚下护板结构。

2、本实用新型通过以下技术手段实现解决上述技术问题的：

3、一种坩埚下护板结构，包括第一护板和第二护板，所述第一护板和第二护板之间设有用于提高拆装便捷性的嵌入式可拆卸结构，所述嵌入式可拆卸结构包括嵌入块和嵌入槽，所述嵌入块的两侧内表面中部开设有连接螺纹槽，所述嵌入槽的一侧内表面中部开设有定位螺纹槽，所述定位螺纹槽的内部设有固定螺栓，所述嵌入块和嵌入槽之间设有用于提高固定稳固性的防滑结构。

4、进一步的，所述嵌入块与第一护板的下端外表面固定连接，所述嵌入槽贯穿第二护板的上端内表面中部，所述连接螺纹槽贯穿嵌入块的两侧内表面中部，所述定位螺纹槽贯穿嵌入槽的一侧内表面中部，所述嵌入块与嵌入槽的内部活动连接，所述固定螺栓与定位螺纹槽和连接螺纹槽的内圈螺纹连接。

5、进一步的，所述第一护板通过嵌入式可拆卸结构与第二护板可拆卸连接。

6、进一步的，所述防滑结构包括阻尼防滑圈和阻尼防滑垫。

7、进一步的，所述阻尼防滑圈与嵌入块的外表面固定连接，所述阻尼防滑垫与嵌入槽的内表面固定连接，所述阻尼防滑圈与阻尼防滑垫活动连接。

8、有益效果

9、与现有技术相比，本实用新型提供了一种坩埚下护板结构，具备以下有益效果：

10、1、该一种坩埚下护板结构，通过设置有嵌入式可拆卸结构，在需要对第一护板和第二护板进行拆装时，将第一护板下端外表面的两组嵌入块卡入第二护板上端外表面中部的两组嵌入槽内，使得嵌入块上的连接螺纹槽与定位螺纹槽的位置对准，使用固定螺栓转入定位螺纹槽内后与嵌入块的连接螺纹槽进行螺纹固定，完成嵌入块与嵌入槽的固定，结构简单，操作便捷，可以提高第一护板和第二护板的拆装的便捷性，提高更换维护便捷性。

11、2、该一种坩埚下护板结构，通过设置有防滑结构，阻尼防滑圈与嵌入块的外表面固定，阻尼防滑圈与嵌入槽的内表面固定，在嵌入块与嵌入槽嵌入固定时，阻尼防滑圈和阻尼防滑垫可以提高嵌入块与嵌入槽固定的稳固性，提高第一护板和第二护板安装的稳固性。

技术特征：

1.一种坩埚下护板结构，包括第一护板(1)和第二护板(2)，其特征在于：所述第一护板(1)和第二护板(2)之间设有用于提高拆装便捷性的嵌入式可拆卸结构(3)，所述嵌入式可拆卸结构(3)包括嵌入块(4)和嵌入槽(5)，所述嵌入块(4)的两侧内表面中部开设有连接螺纹槽(6)，所述嵌入槽(5)的一侧内表面中部开设有定位螺纹槽(7)，所述定位螺纹槽(7)的内部设有固定螺栓(8)，所述嵌入块(4)和嵌入槽(5)之间设有用于提高固定稳固性的防滑结构(9)。

2.根据权利要求1所述的一种坩埚下护板结构，其特征在于：所述嵌入块(4)与第一护板(1)的下端外表面固定连接，所述嵌入槽(5)贯穿第二护板(2)的上端内表面中部，所述连接螺纹槽(6)贯穿嵌入块(4)的两侧内表面中部，所述定位螺纹槽(7)贯穿嵌入槽(5)的一侧内表面中部，所述嵌入块(4)与嵌入槽(5)的内部活动连接，所述固定螺栓(8)与定位螺纹槽(7)和连接螺纹槽(6)的内圈螺纹连接。

3.根据权利要求1所述的一种坩埚下护板结构，其特征在于：所述第一护板(1)通过嵌入式可拆卸结构(3)与第二护板(2)可拆卸连接。

4.根据权利要求1所述的一种坩埚下护板结构，其特征在于：所述防滑结构(9)包括阻尼防滑圈(10)和阻尼防滑垫(11)。

5.根据权利要求4所述的一种坩埚下护板结构，其特征在于：所述阻尼防滑圈(10)与嵌入块(4)的外表面固定连接，所述阻尼防滑垫(11)与嵌入槽(5)的内表面固定连接，所述阻尼防滑圈(10)与阻尼防滑垫(11)活动连接。

技术总结
本技术公开了一种坩埚下护板结构，包括第一护板和第二护板，所述第一护板和第二护板之间设有用于提高拆装便捷性的嵌入式可拆卸结构，所述嵌入式可拆卸结构包括嵌入块和嵌入槽。本技术所述的一种坩埚下护板结构通过设置有嵌入式可拆卸结构，在需要对第一护板和第二护板进行拆装时，将第一护板下端外表面的两组嵌入块卡入第二护板上端外表面中部的两组嵌入槽内，使得嵌入块上的连接螺纹槽与定位螺纹槽的位置对准，使用固定螺栓转入定位螺纹槽内后与嵌入块的连接螺纹槽进行螺纹固定，完成嵌入块与嵌入槽的固定，结构简单，操作便捷，可以提高第一护板和第二护板的拆装的便捷性，提高更换维护便捷性。

技术研发人员：齐轶
受保护的技术使用者：上海晶驰炭素有限公司
技术研发日：20230418
技术公布日：2024/1/15