一种带有渣滓收集功能的单晶炉的制作方法

：本技术涉及单晶炉，具体为一种带有渣滓收集功能的单晶炉。

背景技术

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背景技术：

1、单晶炉是一种在惰性气体(氮气、氦气为主)环境中，用石墨加热器将多晶硅等多晶材料熔化，用直拉法生长无错位单晶的设备。而单晶炉使用完成后内部残留渣滓，为避免渣滓对单晶炉的使用造成影响，于是使用收集装置对渣滓进行回收。

2、而收集装置于使用过程中，将集物箱放置于单晶炉出料口处，并对渣滓进行收集，而现有收集装置于使用过程中坩埚开口朝上，从而不便将渣滓排出单晶炉，且收集装置无法对固、液状态的渣滓进行分离，从而对渣滓的处理造成困难。

技术实现思路

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技术实现要素：

1、本实用新型的目的在于提供一种带有渣滓收集功能的单晶炉，以解决上述背景技术中提出现有的收集装置于使用过程中坩埚开口朝上，从而不便将渣滓排出单晶炉，且收集装置无法对固、液状态的渣滓进行分离，从而对渣滓的处理造成困难的问题。

2、本实用新型由如下技术方案实施：一种带有渣滓收集功能的单晶炉，包括底座，所述底座内固定设有坩埚传动装置，且坩埚传动装置上方设有坩埚旋转轴，所述底座上端面固定设有单晶炉，且坩埚旋转轴于单晶炉内部连接碳坩埚，所述碳坩埚上方固定设有石英坩埚，且石英坩埚内放置有硅溶液，所述碳坩埚外围对应设有加热器，所述石英坩埚底部开设有出料口，且出料口处卡合有堵块，所述堵块正下方于碳坩埚内部设有置物盒，且置物盒内壁固定设有隔热板，所述置物盒内固定设有微型电动推杆，且微型电动推杆上方设有伸缩臂，所述伸缩臂上端连出料斗，且出料斗一端于上方固定连接堵块，所述出料斗于堵块外围固定设有环形挡板，且环形挡板对应穿插于石英坩埚底部，所述单晶炉于左侧外壁开设有滑槽，且出料斗穿插于滑槽内；

3、所述出料斗于单晶炉外部一端的正下方设有集物箱，且集物箱内部于两侧分别设有支撑杆，所述支撑杆上放置有滤网，且滤网上端面于支撑杆处分别设有固定杆，所述两组固定杆上端面于中间位置分别开设有螺旋槽，且螺旋槽内螺旋有拉杆，所述拉杆穿插于置物斗上；

4、所述集物箱于一侧外壁分别设有两组盒体，且其中一组盒体内固定设有电机，所述电机的输出轴一端通过联轴器连接转轴，且转轴上套设驱动齿轮，所述驱动齿轮一侧于另一组盒体内对应设有从动齿轮，且驱动齿轮、从动齿轮外壁套有传动带，所述从动齿轮内同样穿插有转轴，且转轴上均匀穿插有多组偏心轮，所述集物箱内部于下方设有抽水口，且抽水口一端设有抽水管，所述抽水管另一端于集物箱外部连接抽水泵，且抽水泵上方设有出水管。

5、优选的，所述出料斗在微型电动推杆的驱动下通过伸缩臂与石英坩埚构成竖直升降结构，且出料斗于滑槽内与石英坩埚构成上下滑动结构。

6、优选的，所述两组转轴在电机的驱动下通过驱动齿轮、从动齿轮、传动带构成联动结构，且滤网通过偏心轮与支撑杆构成抖动结构。

7、优选的，所述拉杆下端于外壁设有与螺旋槽相契合的螺纹，且置物斗反向放置于滤网上方，置物斗通过拉杆于螺旋槽内与滤网构成螺旋锁紧结构。

8、优选的，所述集物箱在抽水泵的驱动下通过抽水口、抽水管与出水管构成抽吸结构。

9、本实用新型的优点：该带有渣滓收集功能的单晶炉的出料斗在微型电动推杆的驱动下通过伸缩臂与石英坩埚构成竖直升降结构，且出料斗于滑槽内与石英坩埚构成上下滑动结构，从而通过移动堵块与出料斗，使石英坩埚内的渣滓自出料口、出料斗落入集物箱内进行集中收集，该装置两组转轴在电机的驱动下通过驱动齿轮、从动齿轮、传动带构成联动结构，且滤网通过偏心轮与支撑杆构成抖动结构，从而通过抖动滤网对集物箱内渣滓进行固液分离，进而便于对固态、液态的废渣进行单独处理。

技术特征：

1.一种带有渣滓收集功能的单晶炉，包括底座(1)，所述底座(1)内固定设有坩埚传动装置，且坩埚传动装置上方设有坩埚旋转轴，所述底座(1)上端面固定设有单晶炉(2)，且坩埚旋转轴于单晶炉(2)内部连接碳坩埚(3)，所述碳坩埚(3)上方固定设有石英坩埚(4)，且石英坩埚(4)内放置有硅溶液，所述碳坩埚(3)外围对应设有加热器(5)，其特征在于：所述石英坩埚(4)底部开设有出料口，且出料口处卡合有堵块(6)，所述堵块(6)正下方于碳坩埚(3)内部设有置物盒，且置物盒内壁固定设有隔热板，所述置物盒内固定设有微型电动推杆(7)，且微型电动推杆(7)上方设有伸缩臂(8)，所述伸缩臂(8)上端连出料斗(9)，且出料斗(9)一端于上方固定连接堵块(6)，所述出料斗(9)于堵块(6)外围固定设有环形挡板，且环形挡板对应穿插于石英坩埚(4)底部，所述单晶炉(2)于左侧外壁开设有滑槽，且出料斗(9)穿插于滑槽内；

2.根据权利要求1所述的一种带有渣滓收集功能的单晶炉，其特征在于：所述出料斗(9)在微型电动推杆(7)的驱动下通过伸缩臂(8)与石英坩埚(4)构成竖直升降结构，且出料斗(9)于滑槽内与石英坩埚(4)构成上下滑动结构。

3.根据权利要求1所述的一种带有渣滓收集功能的单晶炉，其特征在于：两组所述转轴(20)在电机(16)的驱动下通过驱动齿轮(17)、从动齿轮(18)、传动带(19)构成联动结构，且滤网(12)通过偏心轮(21)与支撑杆(11)构成抖动结构。

4.根据权利要求1所述的一种带有渣滓收集功能的单晶炉，其特征在于：所述拉杆(14)下端于外壁设有与螺旋槽相契合的螺纹，且置物斗(15)反向放置于滤网(12)上方，置物斗(15)通过拉杆(14)于螺旋槽内与滤网(12)构成螺旋锁紧结构。

5.根据权利要求1所述的一种带有渣滓收集功能的单晶炉，其特征在于：所述集物箱(10)在抽水泵(23)的驱动下通过抽水口(22)、抽水管与出水管构成抽吸结构。

技术总结
本技术公开了一种带有渣滓收集功能的单晶炉，包括底座，所述底座内固定设有坩埚传动装置，且坩埚传动装置上方设有坩埚旋转轴，所述碳坩埚上方固定设有石英坩埚，且石英坩埚内放置有硅溶液。该带有渣滓收集功能的单晶炉的出料斗在微型电动推杆的驱动下通过伸缩臂与石英坩埚构成竖直升降结构，且出料斗于滑槽内与石英坩埚构成上下滑动结构，从而通过移动堵块与出料斗，使石英坩埚内的渣滓自出料口、出料斗落入集物箱内进行集中收集，该装置两组转轴在电机的驱动下通过驱动齿轮、从动齿轮、传动带构成联动结构，且滤网通过偏心轮与支撑杆构成抖动结构，从而通过抖动滤网对集物箱内渣滓进行固液分离，进而便于对固态、液态的废渣进行单独处理。

技术研发人员：凌继贝,付辉阳,任超
受保护的技术使用者：内蒙古豪安能源科技有限公司
技术研发日：20230504
技术公布日：2024/1/14