本技术是关于扩散炉,特别是关于一种均匀进气的扩散炉。
背景技术:
1、扩散工艺是制备太阳电池最关键的工序之一,随着太阳能电池光电转换效率的要求越来越高,对扩散工艺的要求也就越来越高了。
2、现有的炉管通过在炉管的上部和下部设置进气管道,进气管道在炉管中喷出扩散气体,从而使硅片进行扩散。进气管道在喷出扩散气体的时。靠近进气管道出气口的一端的气体容易造成堆积,即远离进气管道的一端扩散气体的浓度低,使得扩散炉内的扩散气体不均匀,扩散气体的不均匀会直接影响电池片电性能参数的正态分布,导致低效电池片比例升高,特别是高方阻的电池片,扩散不均匀性对电池片性能的影响更加明显。
技术实现思路
1、本实用新型的目的在于提供一种均匀进气的扩散炉,其能够均匀的使扩散管喷射扩散气体,从而使扩散炉内部的扩散气体分布更加均匀,从而避免因扩散气体分布不均匀影响电池片性能的情况。
2、为实现上述目的,本实用新型提供了一种均匀进气的扩散炉,包括炉体,所述炉体的下端设置有底座,所述炉体的一端设置有第一密封门,所述第一密封门内上设置有进气管,所述第一密封门远离进气管的一端设置有扩散管,所述扩散管和进气管之间设置有旋转接头,所述炉体上设置有与旋转接头相匹配的驱动组件。
3、在一个或多个实施方式中,所述驱动组件包括固定连接在旋转接头上的螺纹圈,所述驱动组件还包括与螺纹圈相匹配的齿轮,所述齿轮上固定连接有转动杆,所述转动杆远离齿轮的一端位于炉体的外部。
4、在一个或多个实施方式中,所述转动杆远离齿轮的一端安装有第三把手。
5、在一个或多个实施方式中,所述扩散管包括第一扩散管和第二扩散管,所述第二扩散管滑动连接在第一扩散管的内部,所述第二扩散管上固定连接有第二把手。
6、在一个或多个实施方式中,所述第一扩散管上开设有第一通孔,所述第二扩散管上开设有与第一通孔相匹配的第二通孔。
7、在一个或多个实施方式中,所述炉体内转动连接有限位件,所述限位件和扩散管相匹配,所述炉体内开设有多个滑槽,所述限位件上固定连接有与滑槽相匹配的滑块。
8、在一个或多个实施方式中,所述炉体靠近第一密封门的一端设置有一对滑动杆,所述滑动杆和第一密封门之间设置有连接杆。
9、在一个或多个实施方式中,所述第一密封门上设置有一对第一把手。
10、与现有技术相比,根据本实用新型的一种均匀进气的扩散炉,具有以下优点:
11、1)、能够均匀的使扩散管喷射扩散气体,从而使扩散炉内部的扩散气体分布更加均匀,从而避免因扩散气体分布不均匀影响电池片性能的情况;
12、2)、设置单根扩散管即可均匀的喷射扩散气体,从而能够降低使用成本。
1.一种均匀进气的扩散炉,包括炉体,所述炉体的下端设置有底座,其特征在于,所述炉体的一端设置有第一密封门,所述第一密封门内上设置有进气管,所述第一密封门远离进气管的一端设置有扩散管,所述扩散管和进气管之间设置有旋转接头,所述炉体上设置有与旋转接头相匹配的驱动组件;
2.如权利要求1所述的一种均匀进气的扩散炉,其特征在于,所述驱动组件包括固定连接在旋转接头上的螺纹圈,所述驱动组件还包括与螺纹圈相匹配的齿轮,所述齿轮上固定连接有转动杆,所述转动杆远离齿轮的一端位于炉体的外部。
3.如权利要求2所述的一种均匀进气的扩散炉,其特征在于,所述转动杆远离齿轮的一端安装有第三把手。
4.如权利要求1所述的一种均匀进气的扩散炉,其特征在于,所述炉体内转动连接有限位件,所述限位件和扩散管相匹配,所述炉体内开设有多个滑槽,所述限位件上固定连接有与滑槽相匹配的滑块。
5.如权利要求1所述的一种均匀进气的扩散炉,其特征在于,所述炉体靠近第一密封门的一端设置有一对滑动杆,所述滑动杆和第一密封门之间设置有连接杆。
6.如权利要求5所述的一种均匀进气的扩散炉,其特征在于,所述第一密封门上设置有一对第一把手。