单晶炉浸硅预警装置的制作方法

本技术涉及单晶炉的，尤其涉及一种单晶炉浸硅预警装置。

背景技术：

1、单晶炉包括水冷屏、导流筒、炉体、提升装置和导管，提升装置设于炉体外部，水冷屏和导流筒设于炉体内部，导流筒与水冷屏连接，导管连接于导流筒，且与水冷屏连通。

2、由于水冷屏距离液面较近，而石英埚内的硅液温度较高，为了避免出现水冷屏接触硅液面的事故，需要设置相应的安全保护措施，如设置浸硅预警装置。

3、可采用导管作为预警装置回路的一部分来降低预警装置的成本，由于导管需要连接输水管路，因此，若导管本身带电，会不可避免的对输水管路造成影响，并且，电流也会自输出管路流失，严重时还会造成回路被接地，导致浸硅预警装置难以正常工作。

技术实现思路

1、(一)要解决的技术问题

2、鉴于现有技术的上述缺点、不足，本实用新型提供一种单晶炉浸硅预警装置，其解决了背景技术中存在的采用导管作为预警装置回路的一部分时存在的问题。

3、(二)技术方案

4、为了达到上述目的，本实用新型采用的主要技术方案包括：

5、第一方面，本实用新型提供一种单晶炉浸硅预警装置，包括水冷屏、导流筒、炉体、提升装置、钨丝和导管，钨丝的一端连接于水冷屏，钨丝的另一端延伸出炉体后与测试装置电连接；钨丝的一端通过连接组件连接于提升装置，且导管通过连接组件与供水管路相连；其中，连接组件包括依次竖向连接的第一法兰和第二法兰，第一法兰的上下两侧分别连接有导管和供水管路，第一法兰设置为绝缘法兰；提升装置带动第二法兰运行；当钨丝与硅液接触后，回路导通使测试装置输出报警信息。

6、在本实用新型的一个技术方案中，回路包括测试装置、钨丝、硅液、炉体、导流筒和导管；测试装置的输出电流能够经过钨丝、硅液、炉体、导流筒和导管回到测试装置。

7、在本实用新型的一个技术方案中，导流筒上设有绝缘管，钨丝连接于绝缘管内。

8、在本实用新型的一个技术方案中，第一法兰设置为绝缘法兰，第一法兰和第二法兰之间设有密封圈。

9、在本实用新型的一个技术方案中，连接组件还包括第三法兰，第三法兰连接于第二法兰的下部，第三法兰上设有线束接头，线束接头与钨丝的一端电连接；线束接头通过绝缘套与第三法兰接触。

10、在本实用新型的一个技术方案中，连接组件还包括第四法兰，导管贯穿第四法兰，且与第四法兰滑动配合以限制导管的运行轨迹；第四法兰连接于提升装置，且不被提升装置带动运行。

11、在本实用新型的一个技术方案中，钨丝沿导管的轴线排布。

12、在本实用新型的一个技术方案中，钨丝贯穿第四法兰且与第四法兰保持脱离。

13、在本实用新型的一个技术方案中，单晶炉浸硅预警装置还包括连接耳和绝缘件，连接耳连接于导管，绝缘件设于连接耳，钨丝穿过绝缘件。

14、(三)有益效果

15、本实用新型的有益效果是：本实用新型的单晶炉浸硅预警装置，能够在水冷屏和导流筒在下降至一定程度后，且未与硅液接触时，提前输出警报信息，以提醒相关人员，导流筒和水冷屏存在被硅液侵蚀熔化的风险，以使相关人员作为对应的应对手段，如控制硅液面降低，或者控制水冷屏和导流筒停止下降。

16、本实用新型中，钨丝通过连接组件与提升装置建立连接关系，连接组件还用来连接导管和供水管路，进而使导管与供水管路绝缘，如此一来，电流便不会自供水管路部分发生损失，进而有利于保证测试电流流通时的稳定性和可靠性，并提高单晶炉浸硅预警装置的使用可靠性。

技术特征：

1.一种单晶炉浸硅预警装置，其特征在于，包括水冷屏(1)、导流筒(2)、炉体(3)、提升装置(4)、钨丝(5)和导管(7)，所述钨丝(5)的一端连接于所述水冷屏(1)，所述钨丝(5)的另一端延伸出所述炉体(3)后与测试装置电连接；

2.如权利要求1所述的单晶炉浸硅预警装置，其特征在于：所述回路包括所述测试装置、所述钨丝(5)、所述硅液、所述炉体(3)、所述导流筒(2)和所述导管(7)；

3.如权利要求2所述的单晶炉浸硅预警装置，其特征在于：所述导流筒(2)上设有绝缘管(6)，所述钨丝(5)连接于所述绝缘管(6)内。

4.如权利要求1所述的单晶炉浸硅预警装置，其特征在于：所述第一法兰(101)设置为绝缘法兰，所述第一法兰(101)和所述第二法兰(102)之间设有密封圈。

5.如权利要求4所述的单晶炉浸硅预警装置，其特征在于：所述连接组件(10)还包括第三法兰(103)，所述第三法兰(103)连接于所述第二法兰(102)的下部，所述第三法兰(103)上设有线束接头(104)，所述线束接头(104)与所述钨丝(5)的一端电连接；

6.如权利要求5所述的单晶炉浸硅预警装置，其特征在于：所述连接组件(10)还包括第四法兰(106)，所述导管(7)贯穿所述第四法兰(106)，且与所述第四法兰(106)滑动配合以限制所述导管(7)的运行轨迹；

7.如权利要求6所述的单晶炉浸硅预警装置，其特征在于：所述钨丝(5)沿所述导管(7)的轴线排布。

8.如权利要求7所述的单晶炉浸硅预警装置，其特征在于：所述钨丝(5)贯穿所述第四法兰(106)且与所述第四法兰(106)保持脱离。

9.如权利要求8所述的单晶炉浸硅预警装置，其特征在于：所述单晶炉浸硅预警装置还包括连接耳(8)和绝缘件(9)，所述连接耳(8)连接于所述导管(7)，所述绝缘件(9)设于所述连接耳(8)，所述钨丝(5)穿过所述绝缘件(9)。

技术总结
本技术涉及一种单晶炉浸硅预警装置，钨丝的一端通过连接组件连接于提升装置，且导管通过连接组件与供水管路相连；其中，连接组件包括依次竖向连接的第一法兰和第二法兰，第一法兰的上下两侧分别连接有导管和供水管路，以使导管与供水管路绝缘；提升装置带动第二法兰运行；当钨丝与硅液接触后，回路导通使测试装置输出报警信息，其有益效果是钨丝通过连接组件与提升装置建立连接关系，连接组件还用来连接导管和供水管路，进而使导管与供水管路绝缘，如此一来，电流便不会自供水管路部分发生损失，进而有利于保证测试电流流通时的稳定性和可靠性，并提高单晶炉浸硅预警装置的使用可靠性。

技术研发人员：辛珊,曹玉宝,李方,李军,李锋伟,张怿
受保护的技术使用者：连城凯克斯科技有限公司
技术研发日：20230529
技术公布日：2024/1/15