一种碳化硅外延炉生长单元的制作方法

本技术涉及碳化硅外延炉，具体为一种碳化硅外延炉生长单元。

背景技术：

1、碳化硅具有高临界击穿电场、高电子迁移率的优势，是制造高压、高温、抗辐照功率半导体器件的优良半导体材料。碳化硅外延生长已经实现了商业化，其中德国aixtrong5ww是目前常用的大尺寸、多片式生长碳化硅外延设备。

2、现有的碳化硅外延炉设备体积较大，大多都是直接放置在地面上，想要将其移动十分不便，大大提高了维护成本，实用性较差，由此我们提出该新型来解决以上问题。

技术实现思路

1、针对现有技术的不足，本实用新型提供了一种碳化硅外延炉生长单元，具备方便移动等优点，解决了现有的碳化硅外延炉设备体积较大，大多都是直接放置在地面上，想要将其移动十分不便，大大提高了维护成本，实用性较差的问题。

2、为实现上述方便移动的目的，本实用新型提供如下技术方案：一种碳化硅外延炉生长单元，包括安装罩和碳化硅外延炉本体，所述安装罩的内顶壁转动安装有套筒，所述套筒的内壁螺纹安装有移动块，所述移动块的底部固定安装有延伸到套筒下方的支撑杆，所述支撑杆的底部固定安装有活动板，所述活动板的底部四角均固定安装有移动轮，所述安装罩的左侧固定安装有电机，所述电机的输出端固定安装有延伸到安装罩内部的转杆，所述转杆的右端固定安装有锥形齿轮，所述套筒的表面固定安装有与锥形齿轮相啮合的锥形齿环，所述安装罩的底部固定安装有防滑垫。

3、进一步，所述安装罩的左侧固定安装有固定罩，所述电机固定安装在固定罩左侧的内壁，所述电机通过固定罩固定安装在安装罩的左侧。

4、进一步，所述安装罩左右两侧的内壁均开设有滑槽，所述活动板的左右两侧分别延伸到对应的滑槽内部。

5、进一步，两个所述滑槽的内顶壁均固定安装有第一开关，所述活动板的顶部且位于两个第一开关的正下方均固定安装有第一触块。

6、进一步，两个所述滑槽的内底壁均固定安装有第二开关，所述活动板的底部且位于两个第二开关的正上方均固定安装有第二触块。

7、进一步，所述安装罩的右侧固定安装有配电箱，所述配电箱的内底壁固定安装有蓄电池，所述安装罩的右侧且位于配电箱的上方固定安装有控制器。

8、进一步，所述碳化硅外延炉本体的左右两侧均固定安装有安装块，所述安装块通过螺栓与安装罩相固定，所述碳化硅外延炉本体通过两个安装块和螺栓固定安装在安装罩的顶部。

9、与现有技术相比，本实用新型提供了一种碳化硅外延炉生长单元，具备以下有益效果：

10、1、该碳化硅外延炉生长单元，启动电机带动锥形齿轮旋转，从而通过锥形齿环使得套筒旋转，套筒在旋转的时候会使得移动块向下移动，进而使得活动板带动四个移动轮将装置顶起，从而方便碳化硅外延炉本体进行移动，反之启动电机带动锥形齿轮反向转动，使得四个移动轮收进安装罩的内部，防滑垫的设置使得装置在放置的时候更加稳定，由此大大提高了该装置的实用性。

11、2、该碳化硅外延炉生长单元，通过设置的安装块和螺栓，方便拆卸碳化硅外延炉本体进行更换或维护，由此进一步提高了该装置的实用性。

技术特征：

1.一种碳化硅外延炉生长单元，包括安装罩(1)和碳化硅外延炉本体(2)，其特征在于：所述安装罩(1)的内顶壁转动安装有套筒(3)，所述套筒(3)的内壁螺纹安装有移动块(4)，所述移动块(4)的底部固定安装有延伸到套筒(3)下方的支撑杆(5)，所述支撑杆(5)的底部固定安装有活动板(6)，所述活动板(6)的底部四角均固定安装有移动轮(7)，所述安装罩(1)的左侧固定安装有电机(8)，所述电机(8)的输出端固定安装有延伸到安装罩(1)内部的转杆(9)，所述转杆(9)的右端固定安装有锥形齿轮(10)，所述套筒(3)的表面固定安装有与锥形齿轮(10)相啮合的锥形齿环(11)，所述安装罩(1)的底部固定安装有防滑垫(12)。

2.根据权利要求1所述的一种碳化硅外延炉生长单元，其特征在于：所述安装罩(1)的左侧固定安装有固定罩(13)，所述电机(8)固定安装在固定罩(13)左侧的内壁，所述电机(8)通过固定罩(13)固定安装在安装罩(1)的左侧。

3.根据权利要求1所述的一种碳化硅外延炉生长单元，其特征在于：所述安装罩(1)左右两侧的内壁均开设有滑槽(18)，所述活动板(6)的左右两侧分别延伸到对应的滑槽(18)内部。

4.根据权利要求3所述的一种碳化硅外延炉生长单元，其特征在于：两个所述滑槽(18)的内顶壁均固定安装有第一开关(19)，所述活动板(6)的顶部且位于两个第一开关(19)的正下方均固定安装有第一触块(17)。

5.根据权利要求3所述的一种碳化硅外延炉生长单元，其特征在于：两个所述滑槽(18)的内底壁均固定安装有第二开关(20)，所述活动板(6)的底部且位于两个第二开关(20)的正上方均固定安装有第二触块(14)。

6.根据权利要求1所述的一种碳化硅外延炉生长单元，其特征在于：所述安装罩(1)的右侧固定安装有配电箱(16)，所述配电箱(16)的内底壁固定安装有蓄电池，所述安装罩(1)的右侧且位于配电箱(16)的上方固定安装有控制器。

7.根据权利要求1所述的一种碳化硅外延炉生长单元，其特征在于：所述碳化硅外延炉本体(2)的左右两侧均固定安装有安装块(15)，所述安装块(15)通过螺栓与安装罩(1)相固定，所述碳化硅外延炉本体(2)通过两个安装块(15)和螺栓固定安装在安装罩(1)的顶部。

技术总结
本技术涉及一种碳化硅外延炉生长单元，包括安装罩和碳化硅外延炉本体，所述安装罩的内顶壁转动安装有套筒，所述套筒的内壁螺纹安装有移动块，所述移动块的底部固定安装有延伸到套筒下方的支撑杆，所述支撑杆的底部固定安装有活动板，所述活动板的底部四角均固定安装有移动轮，所述安装罩的左侧固定安装有电机，所述电机的输出端固定安装有延伸到安装罩内部的转杆，所述转杆的右端固定安装有锥形齿轮，所述套筒的表面固定安装有与锥形齿轮相啮合的锥形齿环。该碳化硅外延炉生长单元，方便碳化硅外延炉本体进行移动，防滑垫的设置使得装置在放置的时候更加稳定，由此大大提高了该装置的实用性。

技术研发人员：沈恒文,程宣林,金修领,郝小峰,刘彤辉,高月华
受保护的技术使用者：江苏艾匹克半导体设备有限公司
技术研发日：20230602
技术公布日：2024/1/15