单晶炉的制作方法

本技术涉及单晶炉结构，尤其涉及一种单晶炉。

背景技术：

1、单晶炉是一种在惰性气体(氮气、氦气为主)环境中，用石墨加热器将多晶硅等多晶材料熔化，用直拉法生长无错位单晶的设备。

2、单晶炉一般包括炉体，炉体内设置有主炉室和保温筒，保温筒内设置有加热器、坩埚等；炉体的底部设置有导气筒，用于散热以及排出保温筒内的气体。生产单晶硅时，坩埚内的硅料在加热器的作用下形成熔融体，然后在保护气的氛围下，采用直拉法得到单晶硅棒。

3、现有技术中，通常单晶炉主室和保温筒采用单独设计，二者之间不具有关联性，从而导致单晶炉中保温筒的拆装比较麻烦，拆装过程由于热场温度较高容易产生工伤，且拆装过程耗时长，影响单晶炉产能。

技术实现思路

1、本实用新型提供一种单晶炉，用以解决现有技术中主室与保温筒拆装困难的缺陷。

2、本实用新型提供一种单晶炉，包括：

3、主炉室；

4、保温筒，设置于所述主炉室内，所述保温筒与所述主炉室之间设置有定位连接结构，所述定位连接结构用于将所述保温筒与所述主炉室可拆卸连接。

5、根据本实用新型提供的单晶炉，所述定位连接结构包括：

6、设置于所述主炉室内壁的第一连接件，以及设置于所述保温筒外壁的第二连接件，所述第二连接件与所述第一连接件相对应，所述第一连接件用于承托所述第二连接件，以将所述保温筒与所述主炉室相连接。

7、根据本实用新型提供的单晶炉，所述第一连接件至少设置有两个，两个所述第一连接件沿周向均匀设置在所述主炉室内壁的底端；

8、所述第二连接件与所述第一连接件数量相同且一一对应。

9、根据本实用新型提供的单晶炉，所述第一连接件与所述第二连接件均设置为弧形结构，所述第一连接件沿周向与所述主炉室的内壁贴合，所述第二连接件沿周向与所述保温筒的外壁贴合。

10、根据本实用新型提供的单晶炉，所述第一连接件的两端设置有用于防止所述第二连接件沿周向移动的限位结构。

11、根据本实用新型提供的单晶炉，所述限位结构为限位挡块，所述限位挡块的内侧设置有第一导向斜面，所述第二连接件的两端分别设置有第二导向斜面，当所述限位挡块与所述第二连接件的端部接触时，所述第一导向斜面与所述第二导向斜面贴合连接。

12、根据本实用新型提供的单晶炉，所述第一连接件的上端面设置为第一凹凸结构，所述第二连接件的下端面设置为第二凹凸结构，所述第一凹凸结构和所述第二凹凸结构相适配。

13、根据本实用新型提供的单晶炉，所述第一连接件的上端面设置有卡槽，所述第二连接件嵌设在所述卡槽中。

14、根据本实用新型提供的单晶炉，所述保温筒至少包括第一保温筒和第二保温筒，所述第一保温筒与所述第二保温筒沿轴向层叠设置，所述第二连接件设置在所述第二保温筒的外壁底端。

15、根据本实用新型提供的单晶炉，所述第一保温筒的外径小于所述第二保温筒的外径。

16、本实用新型提供的单晶炉，包括主炉室和保温筒，保温筒设置于主炉室内，保温筒与主炉室之间设置有定位连接结构，当保温筒装入主炉室内时，保温筒通过定位连接结构与主炉室可拆卸连接；相较于现有技术中主炉室与保温筒相独立的结构形式，本实用新型将保温筒与主炉室设置为可拆卸的连接方式，能方便的将保温筒与主炉室进行安装及拆分，在将保温筒装入主炉室内时，保温筒与主炉室能通过设置在二者之间的定位连接结构实现连接，尤其是在进行拆炉或拆除保温筒时，仅通过吊装主炉室就能够将位于热场中的保温筒一起移动完成拆除，无需与保温筒直接接触，减少了高温的影响，也降低了对操作人员的伤害，提高了拆装效率。

技术特征：

1.一种单晶炉，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的单晶炉，其特征在于，所述定位连接结构包括：设置于所述主炉室(1)内壁的第一连接件(3)，以及设置于所述保温筒(2)外壁的第二连接件(4)，所述第二连接件(4)与所述第一连接件(3)相对应，所述第一连接件(3)用于承托所述第二连接件(4)，以将所述保温筒(2)与所述主炉室(1)相连接。

3.根据权利要求2所述的单晶炉，其特征在于，所述第一连接件(3)至少设置有两个，两个所述第一连接件(3)沿周向均匀设置在所述主炉室(1)内壁的底端；所述第二连接件(4)与所述第一连接件(3)数量相同且一一对应。

4.根据权利要求2所述的单晶炉，其特征在于，所述第一连接件(3)与所述第二连接件(4)均为弧形结构，所述第一连接件(3)沿周向与所述主炉室(1)的内壁贴合，所述第二连接件(4)沿周向与所述保温筒(2)的外壁贴合。

5.根据权利要求4所述的单晶炉，其特征在于，所述第一连接件(3)的两端设置有用于防止所述第二连接件(4)沿周向移动的限位结构(5)。

6.根据权利要求5所述的单晶炉，其特征在于，所述限位结构(5)为限位挡块，所述限位挡块的内侧设置有第一导向斜面(6)，所述第二连接件(4)的两端分别设置有第二导向斜面(7)，当所述限位挡块与所述第二连接件(4)的端部接触时，所述第一导向斜面(6)与所述第二导向斜面(7)贴合连接。

7.根据权利要求2-6任一项所述的单晶炉，其特征在于，所述第一连接件(3)的上端面设置为第一凹凸结构，所述第二连接件(4)的下端面设置为第二凹凸结构，所述第一凹凸结构和所述第二凹凸结构相适配。

8.根据权利要求2-6任一项所述的单晶炉，其特征在于，所述第一连接件(3)的上端面设置有卡槽，所述第二连接件(4)嵌设在所述卡槽中。

9.根据权利要求2所述的单晶炉，其特征在于，所述保温筒(2)至少包括第一保温筒(21)和第二保温筒(22)，所述第一保温筒(21)与所述第二保温筒(22)沿轴向层叠设置，所述第二连接件(4)设置在所述第二保温筒(22)的外壁底端。

10.根据权利要求9所述的单晶炉，其特征在于，所述第一保温筒(21)的外径小于所述第二保温筒(22)的外径。

技术总结
本技术涉及单晶炉结构技术领域，提供一种单晶炉，本技术提供的单晶炉，包括主炉室和保温筒，保温筒设置于主炉室内，保温筒与主炉室之间设置有定位连接结构，定位连接结构用于将保温筒与主炉室可拆卸连接；本技术将保温筒与主炉室设置为可拆卸的连接方式，能方便的将保温筒与主炉室进行安装及拆分，在将保温筒装入主炉室内时，保温筒与主炉室能通过设置在二者之间的定位连接结构实现连接，尤其是在进行拆炉或拆除保温筒时，仅通过吊装主炉室就能够将位于热场中的保温筒一起移动完成拆除，无需与保温筒直接接触，减少了高温的影响，也降低了对操作人员的伤害，提高了拆装效率。

技术研发人员：王林
受保护的技术使用者：株洲三一硅能技术有限公司
技术研发日：20230718
技术公布日：2024/2/1