坩埚结构和晶体生长设备的制作方法

本技术涉及晶体生长，特别涉及坩埚结构和晶体生长设备。

背景技术：

1、碳化硅（sic）作为第三代宽禁带半导体材料，相比于其他材料（si和gaas）由于其优异的热导率、禁带宽度大、优异的化学稳定性、优异临界击穿电场强度以及优异的抗辐射等特性。这些特性使其成为未来高功率电子电力器件、微波器件和光电子器件的不可或缺的材料、目前已在新能源汽车、5 g通信以及航空航天领域充分展现出其优异的特性，以高质量的sic单晶材料已经成为了研究热点。

2、申请人在申请本发明时，经过检索，发现中国专利公开了一种“坩埚结构和晶体生长设备”，其申请号为“cn218621129 u”，该专利主要通过坩埚盖盖设于坩埚体；以及环状装置，环状装置包括沿轴线方向连接的筒状腔体和延伸腔体；筒状腔体贴合在坩埚体的内壁上，筒状腔体从坩埚体底壁延伸至靠近籽晶台的位置；延伸腔体设置在筒状腔体的顶部，且径向延伸至籽晶台。其至少能够改善晶体生产初期因为坩埚 体受到侵蚀而使得坩埚 体上的碳脱落，在温度梯度和气氛对流作用下，碳颗粒会传输到籽晶表面而造成晶体初期缺陷的技术问题。但是装置并未延伸至坩埚的加热装置，普通的加热装置不易对坩埚进行拿取，存在烫伤的风险。

技术实现思路

1、本实用新型，提供坩埚结构和晶体生长设备，能够通过电机向上运动带动圆盘与十字凸块将坩埚放置板托起，进而在对坩埚本体进行夹取的时候更加安全方便，增加了装置的安全性与便捷性，同时十字凸块具有隔热作用，避免圆盘的损伤，延长了装置的使用寿命，转动环的转动使得在不触碰坩埚本体的情况下，拉扯短杆即可使得坩埚本体转动，增加了坩埚本体的受热效果，短杆对坩埚本体的位置进行限制，避免了燃烧产生的热浪，使得坩埚本体的位置发生变动，进而影响后期将坩埚本体取出，增加了装置的稳定性。

2、为实现上述目的，提供坩埚结构和晶体生长设备，包括顶起机构，所述顶起机构包括电机、齿轮、齿条、圆盘、十字凸块、限制块、坩埚放置板、转动环、短杆，所述电机的底部固定连接有支撑板，所述齿轮固定连接在电机的右侧输出端，所述齿条啮合在齿轮的外壁，所述齿条滑动连接在支撑板的内壁，所述圆盘固定连接在齿条的顶部，所述十字凸块固定连接在圆盘的顶部，所述支撑板的外壁固定连接有支腿，所述支腿的顶部固定连接有装置面板，所述限制块固定连接在装置面板的内壁，所述坩埚放置板活动连接在装置面板的顶部，所述转动环活动连接在坩埚放置板的外壁，所述短杆固定连接在转动环的顶部。通过电机向上运动带动圆盘与十字凸块将坩埚放置板托起，进而在对坩埚本体进行夹取的时候更加安全方便，增加了装置的安全性与便捷性，同时十字凸块具有隔热作用，避免圆盘的损伤，延长了装置的使用寿命，转动环的转动使得在不触碰坩埚本体的情况下，拉扯短杆即可使得坩埚本体转动，增加了坩埚本体的受热效果，短杆对坩埚本体的位置进行限制，避免了燃烧产生的热浪，使得坩埚本体的位置发生变动，进而影响后期将坩埚本体取出，增加了装置的稳定性。

3、根据所述的坩埚结构和晶体生长设备，所述支腿的底部固定连接有装置底座，所述装置面板的顶部固定连接有加热炉。装置底座使得装置放置得更加稳固，降低装置因受到外界的风险而导致的晃动，增加了装置的稳固性。

4、根据所述的坩埚结构和晶体生长设备，所述转动环转动连接在加热炉的内壁，所述装置面板的顶部固定连接有支架。支架支撑起夹取机构，在夹取机构不用的时候，提供放置区域，避免夹取机构随意放置，导致的机构丢失或者是损坏的后果，增加了装置的安全性。

5、根据所述的坩埚结构和晶体生长设备，所述支架的外壁固定连接有连接杆，所述连接杆的外壁活动连接有弯钩。连接杆外壁开设有一端凹槽，使得弯钩更易放置在连接杆上，且放置的横街的稳定，增姐了装置的稳定性。

6、根据所述的坩埚结构和晶体生长设备，所述弯钩的底部固定连接有方板，所述方板的底部滑动连接有第一长杆。方板减少加热炉加热导致的小颗粒物质等附着在伸缩杆上，进而减少导致伸缩杆受损的程度，延长了伸缩杆的使用寿命。

7、根据所述的坩埚结构和晶体生长设备，所述支撑板的底部滑动连接有第二长杆，所述第二长杆的外壁固定连接有伸缩杆，所述伸缩杆固定连接在第一长杆的外壁，所述第二长杆的底部固定连接有第一钩块，所述第一长杆的底部固定连接有第二钩块。第一长杆与第二长杆的长度使得在对坩埚本体进行夹取的时候，避免高温灼伤手，且其底部固定连接的第一钩块与第二钩块使得在拨动短杆与夹取坩埚本体的时候都更加的方便与稳固。

8、根据所述的坩埚结构和晶体生长设备，包括：

9、加热装置，所述加热装置包括顶起机构，所述顶起机构包括电机、齿轮、齿条、圆盘、十字凸块、限制块、坩埚放置板、转动环、短杆，所述电机的底部固定连接有支撑板，所述齿轮固定连接在电机的右侧输出端，所述齿条啮合在齿轮的外壁，所述齿条滑动连接在支撑板的内壁，所述圆盘固定连接在齿条的顶部，所述十字凸块固定连接在圆盘的顶部，所述支撑板的外壁固定连接有支腿，所述支腿的顶部固定连接有装置面板，所述限制块固定连接在装置面板的内壁，所述坩埚放置板活动连接在装置面板的顶部，所述转动环固定连接在坩埚放置板的外壁，所述短杆固定连接在转动环的顶部，所述支腿的底部固定连接有装置底座，所述装置面板的顶部固定连接有加热炉，所述转动环转动连接在加热炉的内壁，所述装置面板的顶部固定连接有支架，所述支架的外壁固定连接有连接杆，所述连接杆的外壁活动连接有弯钩，所述弯钩的底部固定连接有方板，所述方板的底部滑动连接有第一长杆，所述支撑板的底部滑动连接有第二长杆，所述第二长杆的外壁固定连接有伸缩杆，所述伸缩杆固定连接在第一长杆的外壁，所述第二长杆的底部固定连接有第一钩块，所述第一长杆的底部固定连接有第二钩块；

10、坩埚结构，所述坩埚结构包括坩埚本体，所述坩埚本体活动连接在坩埚放置板的顶部，所述坩埚本体的外壁固定连接有方块，所述方块的底部开设有凹槽；

11、保温毡，设置在所述坩埚结构的外侧，用于包裹所述坩埚结构。

12、这样的晶体生长设备使得在对坩埚进行放置与拿取的过程都更加地容易与安全。

13、本实用新型的有益效果：通过电机向上运动带动圆盘与十字凸块将坩埚放置板托起，进而在对坩埚本体进行夹取的时候更加安全方便，增加了装置的安全性与便捷性，同时十字凸块具有隔热作用，避免圆盘的损伤，延长了装置的使用寿命，转动环的转动使得在不触碰坩埚本体的情况下，拉扯短杆即可使得坩埚本体转动，增加了坩埚本体的受热效果，短杆对坩埚本体的位置进行限制，避免了燃烧产生的热浪，使得坩埚本体的位置发生变动，进而影响后期将坩埚本体取出，增加了装置的稳定性。

14、本实用新型的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本实用新型的实践了解到。

技术特征：

1.坩埚结构和晶体生长设备，包括顶起机构(4)，其特征在于，所述顶起机构(4)包括电机(41)、齿轮(42)、齿条(43)、圆盘(44)、十字凸块(45)、限制块(46)、坩埚放置板(47)、转动环(48)、短杆(49)，所述电机(41)的底部固定连接有支撑板(3)，所述齿轮(42)固定连接在电机(41)的右侧输出端，所述齿条(43)啮合在齿轮(42)的外壁，所述齿条(43)滑动连接在支撑板(3)的内壁，所述圆盘(44)固定连接在齿条(43)的顶部，所述十字凸块(45)固定连接在圆盘(44)的顶部，所述支撑板(3)的外壁固定连接有支腿(2)，所述支腿(2)的顶部固定连接有装置面板(5)，所述限制块(46)固定连接在装置面板(5)的内壁，所述坩埚放置板(47)活动连接在装置面板(5)的顶部，所述转动环(48)活动连接在坩埚放置板(47)的外壁，所述短杆(49)固定连接在转动环(48)的顶部。

2.根据权利要求1所述的坩埚结构和晶体生长设备，其特征在于，所述支腿(2)的底部固定连接有装置底座(1)，所述装置面板(5)的顶部固定连接有加热炉(6)。

3.根据权利要求1所述的坩埚结构和晶体生长设备，其特征在于，所述转动环(48)转动连接在加热炉(6)的内壁，所述装置面板(5)的顶部固定连接有支架(7)。

4.根据权利要求3所述的坩埚结构和晶体生长设备，其特征在于，所述支架(7)的外壁固定连接有连接杆(8)，所述连接杆(8)的外壁活动连接有弯钩(9)。

5.根据权利要求4所述的坩埚结构和晶体生长设备，其特征在于，所述弯钩(9)的底部固定连接有方板(13)，所述方板(13)的底部滑动连接有第一长杆(14)。

6.根据权利要求1所述的坩埚结构和晶体生长设备，其特征在于，所述支撑板(3)的底部滑动连接有第二长杆(15)，所述第二长杆(15)的外壁固定连接有伸缩杆(16)，所述伸缩杆(16)固定连接在第一长杆(14)的外壁，所述第二长杆(15)的底部固定连接有第一钩块(17)，所述第一长杆(14)的底部固定连接有第二钩块(18)。

7.一种晶体生长设备，其特征在于，包括：

技术总结
本技术公开了坩埚结构和晶体生长设备，其，包括顶起机构，所述顶起机构包括电机、齿轮、齿条、圆盘、十字凸块、限制块、坩埚放置板、转动环、短杆，所述电机的底部固定连接有支撑板，所述齿轮固定连接在电机的右侧输出端，所述齿条啮合在齿轮的外壁。通过上述结构，通过电机向上运动带动圆盘与十字凸块将坩埚放置板托起，进而在对坩埚本体进行夹取的时候更加安全方便，十字凸块具有隔热作用，避免圆盘的损伤，延长了装置的使用寿命，转动环的转动使得在不触碰坩埚本体的情况下，拉扯短杆即可使得坩埚本体转动，增加了坩埚本体的受热效果，短杆避免坩埚本体的位置发生变动，影响后期将坩埚本体取出，增加了装置的稳定性。

技术研发人员：李充,李震
受保护的技术使用者：内蒙古科晟科技有限公司
技术研发日：20230725
技术公布日：2024/2/29