本技术涉及单晶硅生产,更具体地说,本技术涉及一种基于直拉法生产单晶用热场分体式外导流筒。
背景技术:
1、直拉法是一种常见且成熟的单晶生长方法,广泛应用于半导体、光电子和材料科学领域。它能够实现较大尺寸和高质量的单晶生长,为高性能器件和研究提供了重要的材料基础,单晶硅生长时,通过降低温度,使熔硅液面中心温度低于硅的熔点,能够控制硅晶体的生长。
2、授权公告号为cn213652720u的实用新型公开了一种单晶炉热屏导流筒,包括导流筒本体,所述导流筒本体包括外热屏和内热屏,外热屏和内热屏之间设有保温层结构,所述内热屏内为空腔体,所述内热屏空腔体内设置有冷却装置,所述冷却装置与导流筒本体之间通过连接杆固定,采用冷却装置增大纵向温度分布并把冷却装置与保温热屏分开,增强保温性能的同时形成保护气通道,使生产单晶更加稳定,降低了加热器消耗,增加了晶体的生长速度、节约了生产成本,使增加保温性、稳定性、和生长速度三者在同一单品炉热屏导流筒中实现。
3、上述专利在使用时,冷却装置与导流筒本体之间通过连接杆固定,即通过四根连接杆将冷却装置固定在导流筒热屏上,一体式结构,在长期的使用过程中不同位置会受到不同程度腐蚀,如果更换整个导流筒,维修成本较高。
技术实现思路
1、为了克服现有技术的上述缺陷,本实用新型提供了一种基于直拉法生产单晶用热场分体式外导流筒,旨在解决上述背景技术中提出的问题。
2、为实现上述目的,本实用新型提供如下技术方案:一种基于直拉法生产单晶用热场分体式外导流筒,包括第一筒体,所述第一筒体底部设有第二筒体,所述第二筒体顶端延伸入第一筒体内部,所述第二筒体顶端固定连接有螺纹环,且所述螺纹环与第一筒体螺纹连接,所述第一筒体上设有散热组件,所述散热组件包括冷却箱、第一管道以及第二管道。
3、进一步的,所述冷却箱活动套设在第一筒体上,所述第一管道以及第二管道均与冷却箱固定连通。
4、进一步的,所述第一管道与第二管道相背的一侧均固定连通有接头。
5、进一步的,所述冷却箱顶端以及底端均固定连接有四个立杆,多个所述立杆一端均固定连接有垫块。
6、进一步的,所述冷却箱顶部设有安装板,所述安装板固定套设在第一筒体上,所述安装板上开设有四个安装槽。
7、进一步的,所述第二筒体上固定套设有支撑板,所述支撑板与第一筒体底端相接触。
8、可以看出,上述技术方案中,通过设置支撑板,支撑板对其中四个垫块进行支撑,从而对冷却箱进行支撑。
9、进一步的,所述螺纹环顶部设有限位板,所述限位板固定安装在第一筒体内部。
10、可以看出,上述技术方案中,通过设置限位板,限位板限制螺纹环向上移动的距离。
11、本实用新型的技术效果和优点:
12、1、本实用新型通过转动第二筒体并使得螺纹环延伸入第一筒体内,从而使得第二筒体与第一筒体相固定,将四个螺栓插入四个安装槽内,并通过四个螺栓对安装板进行固定,从而对第一筒体进行固定,同理对第一筒体与第二筒体进行拆卸,并对损坏的第一筒体或第二筒体进行拆卸更换,分体式结构,维修成本低;
13、2、本实用新型通过将外接水管与第一管道上的接头连接,冷却水通过第一管道进入冷却箱内,并通过第二管道流出,构成一个完整的水道,冷却水对第一筒体进行散热降温,通过设置多个立杆与多个垫块,对冷却箱进行限位,结构简单,使用方便。
1.一种基于直拉法生产单晶用热场分体式外导流筒,包括第一筒体(1),所述第一筒体(1)底部设有第二筒体(2),其特征在于:所述第二筒体(2)顶端延伸入第一筒体(1)内部,所述第二筒体(2)顶端固定连接有螺纹环(8),且所述螺纹环(8)与第一筒体(1)螺纹连接,所述第一筒体(1)上设有散热组件(4),所述散热组件(4)包括冷却箱(401)、第一管道(402)以及第二管道(403)。
2.根据权利要求1所述的一种基于直拉法生产单晶用热场分体式外导流筒,其特征在于:所述冷却箱(401)活动套设在第一筒体(1)上,所述第一管道(402)以及第二管道(403)均与冷却箱(401)固定连通。
3.根据权利要求1所述的一种基于直拉法生产单晶用热场分体式外导流筒,其特征在于:所述第一管道(402)与第二管道(403)相背的一侧均固定连通有接头(404)。
4.根据权利要求1所述的一种基于直拉法生产单晶用热场分体式外导流筒,其特征在于:所述冷却箱(401)顶端以及底端均固定连接有四个立杆(405),多个所述立杆(405)一端均固定连接有垫块(406)。
5.根据权利要求1所述的一种基于直拉法生产单晶用热场分体式外导流筒,其特征在于:所述冷却箱(401)顶部设有安装板(5),所述安装板(5)固定套设在第一筒体(1)上,所述安装板(5)上开设有四个安装槽(6)。
6.根据权利要求1所述的一种基于直拉法生产单晶用热场分体式外导流筒,其特征在于:所述第二筒体(2)上固定套设有支撑板(3),所述支撑板(3)与第一筒体(1)底端相接触。
7.根据权利要求1所述的一种基于直拉法生产单晶用热场分体式外导流筒,其特征在于:所述螺纹环(8)顶部设有限位板(7),所述限位板(7)固定安装在第一筒体(1)内部。