一种加热器及单晶炉的制作方法

本技术涉及单晶硅制备设备，尤其涉及一种加热器及单晶炉。

背景技术：

1、目前，单晶拉制的主要方法为直拉法，其设备主要包括保温筒、加热器以及坩埚，其中，加热器设计是热场设计的核心之一。

2、加热器分为边部加热器和底部加热器，边部加热器又称主加热器，设置在坩埚的侧面，底部加热器设置在坩埚的底部。其中，主加热器承担着单晶炉的主要热量输出，在多晶硅料熔化阶段和后期晶棒生长阶段都起着重要的作用，其形状及加热区域的大小直接影响着晶棒的品质。相关技术中通常采用发热瓣组合拼接的形式形成加热器，通过发热瓣的槽型结构形成电流通路。

3、采用发热瓣组合拼接的形式，电流均匀性难以保证。

技术实现思路

1、本实用新型实施例提供一种加热器及单晶炉，以解决现有加热器电流均匀性难以保证的问题。

2、为了解决上述问题，本实用新型是这样实现的：

3、第一方面，本实用新型实施例提供一种加热器，包括发热件；

4、所述发热件的横截面为直线与曲线相切连接形成的封闭图形，或，曲线连接形成的封闭图形，所述横截面垂直于所述发热件的延伸方向；

5、所述发热件包括至少一个弯曲部。

6、可选地，所述发热件包括相互连接的弯头及连接柱，所述弯头包括至少一个所述弯曲部；

7、至少一个所述连接柱的两端连接于不同所述发热件的弯头；

8、至少一个所述弯头的两端连接于不同所述发热件的连接柱；

9、相邻两个所述发热件的弯曲部朝向曲率中心的方向相反。

10、可选地，所述弯头的横截面为直线及与所述直线两端相切连接的曲线形成的封闭图形。

11、可选地，所述连接柱的横截面为圆形。

12、可选地，不同所述发热件的连接柱的长度相同或不同。

13、可选地，所述弯头包括一个所述弯曲部，所述弯曲部呈弧形；

14、不同所述发热件的弯曲部的曲率半径相同或不同。

15、可选地，所述弯头的端部设置有第一凸起部或第一插孔中的一个，所述连接柱的端部设置有所述第一凸起部或所述第一插孔中的另一个，所述第一凸起部可拆卸插接于所述第一插孔内。

16、可选地，所述弯头的两端均设置有所述第一插孔，所述连接柱的两端均设置有所述第一凸起部；

17、所述连接柱两端的第一凸起部插接于不同所述弯头的第一插孔内，所述弯头的第一插孔内插接有不同所述连接柱的第一凸起部。

18、可选地，所述加热器还包括支撑件；

19、所述支撑件与至少一个所述发热件的连接柱可拆卸连接。

20、可选地，所述支撑件靠近所述发热件的一端设置有第二插孔；

21、所述连接柱的第一凸起部可拆卸插接于所述第二插孔内。

22、可选地，所述第二插孔的数量为至少两个；

23、一个所述第二插孔内插接有一个所述发热件的连接柱的第一凸起部，另一个所述第二插孔内插接有另一个所述发热件的连接柱的第一凸起部。

24、可选地，与所述支撑件连接的所述连接柱的长度小于其他所述连接柱的长度。

25、可选地，所述加热器为石墨或碳碳加热器。

26、第二方面，本实用新型实施例提供一种单晶炉，包括上述任一项实施例所述的加热器。

27、在本实用新型实施例中，加热器包括发热件。发热件包括至少一个弯曲部，弯曲部增加了电流在加热器上的流通路径。不同发热件之间首尾连接形成筒体结构，形成了封闭的电流流通路径。发热件的横截面为直线与曲线相切封闭连接，或，至少一个曲线封闭连接形成的封闭图形。即发热件横截面的主体由圆弧形构成，发热件整体呈圆柱形或接近圆柱形，加热器通电时，由于发热件形状的一致性和均匀性较好，直线与曲线相切连接，使得直线与曲线段过渡平缓，减少对于电流的扰动，使得电流在发热件内部各处得以均匀流动。相比于采用发热瓣组合拼接的现有技术而言，本实用新型实施例的发热件内部电流流动的均匀性得到了提升，电流的发热量得到了充分的利用，有利于提升晶棒的品质。

技术特征：

1.一种加热器，其特征在于，包括发热件；

2.根据权利要求1所述的加热器，其特征在于，所述发热件包括相互连接的弯头及连接柱，所述弯头包括至少一个所述弯曲部；

3.根据权利要求2所述的加热器，其特征在于，所述弯头的横截面为直线及与所述直线两端相切连接的曲线形成的封闭图形。

4.根据权利要求2所述的加热器，其特征在于，所述连接柱的横截面为圆形。

5.根据权利要求2所述的加热器，其特征在于，不同所述发热件的连接柱的长度相同或不同。

6.根据权利要求2所述的加热器，其特征在于，所述弯头包括一个所述弯曲部，所述弯曲部呈弧形；

7.根据权利要求2所述的加热器，其特征在于，所述弯头的端部设置有第一凸起部或第一插孔中的一个，所述连接柱的端部设置有所述第一凸起部或所述第一插孔中的另一个，所述第一凸起部可拆卸插接于所述第一插孔内。

8.根据权利要求7所述的加热器，其特征在于，所述弯头的两端均设置有所述第一插孔，所述连接柱的两端均设置有所述第一凸起部；

9.根据权利要求8所述的加热器，其特征在于，所述加热器还包括支撑件；

10.根据权利要求9所述的加热器，其特征在于，所述支撑件靠近所述发热件的一端设置有第二插孔；

11.根据权利要求10所述的加热器，其特征在于，所述第二插孔的数量为至少两个；

12.根据权利要求9所述的加热器，其特征在于，与所述支撑件连接的所述连接柱的长度小于其他所述连接柱的长度。

13.根据权利要求1至12任一项所述的加热器，其特征在于，所述加热器为石墨或碳碳加热器。

14.一种单晶炉，其特征在于，包括权利要求1至13任一项所述的加热器。

技术总结
本技术实施例提供了一种加热器及单晶炉，加热器包括发热件，发热件的横截面为直线与曲线相切连接形成的封闭图形，或，曲线连接形成的封闭图形，横截面垂直于发热件的延伸方向；发热件包括至少一个弯曲部。本实施例中发热件横截面各段过渡平缓，可减少对于电流的扰动，使得电流在发热件内部各处得以均匀流动，电流的发热量得到了充分的利用，有利于提升晶棒的品质。

技术研发人员：梁马利,张龙龙,牛卓孝
受保护的技术使用者：隆基绿能科技股份有限公司
技术研发日：20231110
技术公布日：2024/6/30