一种真空检漏活化装置的制作方法

本技术涉及mbe设备维护领域，具体涉及一种真空检漏活化装置。

背景技术：

1、分子束外延(简称“mbe”)是一种化合物半导体多层薄膜的物理淀积技术，mbe设备包括分子束炉和冷泵等多种复杂的精密仪器，mbe设备具有超高真空生长腔。在半导体外延生长技术领域中，mbe设备的生长腔的真空度决定了薄膜生长的质量，因此，为实现高真空的生长环境，一般在mbe设备抽真空生长薄膜的过程中，会同时使用冷泵来吸附生长腔中的杂质，还会在抽真空结束后使用真空检漏设备来维护mbe系统，修正生长腔中存在的漏点，从而提高生长腔的真空度。其中，冷泵由于长时间吸附各类杂质，其吸附效果会减弱，为确保冷泵的吸附效果，在抽真空结束后还会使用冷泵活化设备对冷泵进行保养，而冷泵活化后需要再次抽真空排出活化后的气体。

2、然而现有的冷泵活化设备与真空检漏设备一般为两套独立的设备，且无法同时使用，因此，冷泵活化设备与真空检漏设备两套设备先后运行，耗时较长，导致mbe设备的维护效率低。

技术实现思路

1、(一)解决的技术问题

2、本实用新型提供了一种真空检漏活化装置，至少能够解决的技术问题是：如何提高mbe设备的维护效率。

3、(二)技术方案

4、为解决上述技术问题，本实用新型提供如下技术方案：一种真空检漏活化装置，包括：

5、抽真空装置，抽真空装置用于与mbe设备的生长腔连通，且抽真空装置和生长腔之间设有真空隔离阀，真空隔离阀用于控制抽真空装置和生长腔连通或截止；

6、加热装置用于与活化气源和mbe设备的冷泵连接，以加热活化气体并输出给冷泵，且加热装置和冷泵之间设有活化隔离阀，活化隔离阀用于控制加热装置和冷泵连通或截止；

7、检漏装置，检漏装置用于与生长腔连通，并对生长腔进行检漏，检漏装置和生长腔之间设有检漏隔离阀，检漏隔离阀用于控制检漏装置和生长腔连通或截止。

8、进一步设置，真空检漏活化装置还包括：

9、异常检测装置，异常检测装置与抽真空装置连接；

10、控制装置，控制装置与异常检测装置和真空隔离阀电连接；

11、其中，抽真空装置包括正常工作状态、无法启动状态、意外断电状态和反向抽真空状态；

12、抽真空装置在正常工作状态时，异常检测装置生成正常信号发送给控制装置，控制装置控制真空隔离阀打开，连通抽真空装置与生长腔；

13、抽真空装置在无法启动状态、意外断电状态或反向抽真空状态时，异常检测装置生成隔离信号发送给控制装置，控制装置控制真空隔离阀关闭，截止抽真空装置与生长腔。

14、进一步设置，前述的抽真空装置包括分子泵和放气阀，分子泵的抽气端与生长腔通过抽气管路连通，放气阀安装于分子泵的放气端，用于控制分子泵的放气端的开关；

15、真空隔离阀连接于抽气管路上，用于控制抽气管路的开关，以连通或截止抽真空装置和生长腔。

16、进一步设置，前述的异常检测装置包括第一真空计，第一真空计连接于抽气管路上，并位于真空隔离阀与分子泵的抽气端之间，用于检测真空隔离阀与分子泵之间的真空度；

17、其中，控制装置与第一真空计和真空隔离阀电连接，在抽气管路的真空度达到预设真空阈值时，控制装置控制真空隔离阀打开。

18、进一步设置，前述的抽真空装置还包括涡旋泵和涡旋泵阀，涡旋泵与分子泵通过分支管路连通，涡旋泵阀连接于分支管路上，用于控制分支管路的开关；

19、异常检测装置还包括第二真空计，第二真空计连接于分支管路上，位于涡旋泵阀与分子泵之间，用于检测涡旋泵阀与分子泵之间的真空度；

20、其中，控制装置还与第二真空计、分子泵和涡旋泵阀电连接，在分支管路的真空度达到预设真空阈值时，控制装置控制分子泵启动。

21、进一步设置，前述的异常检测装置包括第三真空计，第三真空计用于检测生长腔的真空度；

22、其中，控制装置还与第三真空计、检漏装置、检漏隔离阀、加热装置和活化隔离阀电连接，在生长腔的真空度达到预设真空阈值时，控制装置控制检漏装置启动，以及检漏隔离阀打开，或者控制装置控制加热装置启动，以及活化隔离阀打开。

23、(三)有益效果

24、与现有技术相比，本实用新型提供的一种真空检漏活化装置，具备以下

25、有益效果：

26、本实用新型提供的真空检漏活化装置使用时，首先启动抽真空装置对生长腔进行抽真空作业，抽真空结束后，关闭真空隔离阀，同时停止抽真空，再依次启动检漏装置和加热装置，对mbe设备依次进行检漏和冷泵活化作业，无论检漏和冷泵活化哪个先进行作业，结束后均无需再次进行抽真空，即可直接进行下一个作业，大大节省了抽真空的时间。可以看出，该真空检漏活化装置兼具冷泵活化和检漏两项功能，通过抽真空装置和加热装置配合能够对冷泵进行活化作业，通过抽真空装置和检漏装置配合能够对生长腔进行检漏作业，冷泵活化作业和检漏作业共用一个抽真空装置，节省了抽真空的设备成本，且无论检漏和冷泵活化哪个先进行作业，结束后均无需再次进行抽真空，即可直接进行下一个作业，大大节省了抽真空的时间，从而提高mbe设备的维护效率。

技术特征：

1.一种真空检漏活化装置，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的一种真空检漏活化装置，其特征在于，还包括：

3.根据权利要求2所述的一种真空检漏活化装置，其特征在于，所述抽真空装置包括分子泵和放气阀，所述分子泵的抽气端与所述生长腔通过抽气管路连通，所述放气阀安装于所述分子泵的放气端，用于控制所述分子泵的放气端的开关；

4.根据权利要求3所述的一种真空检漏活化装置，其特征在于，所述异常检测装置包括第一真空计，所述第一真空计连接于所述抽气管路上，并位于所述真空隔离阀与所述分子泵的抽气端之间，用于检测所述真空隔离阀与所述分子泵之间的真空度；

5.根据权利要求4所述的一种真空检漏活化装置，其特征在于，所述抽真空装置还包括涡旋泵和涡旋泵阀，所述涡旋泵与所述分子泵通过分支管路连通，所述涡旋泵阀连接于所述分支管路上，用于控制所述分支管路的开关；

6.根据权利要求2所述的一种真空检漏活化装置，其特征在于，所述异常检测装置包括第三真空计，所述第三真空计用于检测所述生长腔的真空度；

技术总结
本技术涉及MBE设备维护领域，公开了一种真空检漏活化装置，包括抽真空装置、加热装置和检漏装置；抽真空装置用于与MBE设备的生长腔连通，且抽真空装置和生长腔之间设有真空隔离阀，真空隔离阀用于控制抽真空装置和生长腔连通或截止；加热装置用于与活化气源和MBE设备的冷泵连接，以加热活化气体并输出给冷泵，且加热装置和冷泵之间设有活化隔离阀，活化隔离阀用于控制加热装置和冷泵连通或截止；检漏装置用于与生长腔连通，并对生长腔进行检漏，检漏装置和生长腔之间设有检漏隔离阀，检漏隔离阀用于控制检漏装置和生长腔连通或截止。本技术提供的真空检漏活化装置能够解决如何提高MBE设备的维护效率的问题。

技术研发人员：张伟,张权,段海龙,王望南,蔡晓玲
受保护的技术使用者：粒芯科技（厦门）股份有限公司
技术研发日：20231227
技术公布日：2024/8/16