无碱玻璃板的制作方法

本发明涉及无碱玻璃板，尤其涉及以下的无碱玻璃板，即、适合于在液晶显示器、有机el显示器等平板显示器中用于形成tft电路的基板、或保持用于形成tft电路的树脂基板的载体玻璃。

背景技术：

1、众所周知，为了实现驱动控制，液晶面板或有机el面板具备薄膜晶体管(tft)。

2、关于对显示器进行驱动的薄膜晶体管，已知有非晶硅、低温多晶硅、高温多晶硅等。近年来，伴随大型液晶显示器、智能手机、平板pc等的普及，显示器的高分辨率化的需求提高。低温多晶硅tft可满足该需求，但经过500～600℃的高温成膜工艺。然而，现有的玻璃板在高温成膜工艺的前后热收缩变大，因此会引起薄膜晶体管的图案偏移。因此，为了显示器的高分辨率化，要求低热收缩的玻璃板。近年来，正在研究显示器的进一步高精细化，在此情况下，需要使玻璃板进一步低热收缩化。

3、现有技术文献

4、专利文献

5、专利文献1：日本专利第5769617号公报

技术实现思路

1、发明所要解决的课题

2、作为使玻璃板的热收缩降低的方法，主要可列举两种方法。第一种方法是预先在成膜工艺的热处理温度附近保持玻璃板并进行退火的方法。该方法中，在退火时，玻璃结构松弛而收缩，因此可抑制之后的高温成膜工艺中的热收缩量。但是，该方法会导致制造工序数或制造时间的增加，因此玻璃板的制造成本会高涨。

3、第二种方法是提高玻璃板的应变点的方法。溢流下拉法通常以相对较短的时间从熔融温度向成形温度冷却。受其影响，玻璃板的假想温度变高，玻璃板的热收缩变大。因此，若提高玻璃板的应变点，则成膜工艺的热处理温度下的玻璃板的粘度变大，难以进行结构松弛。其结果是，可抑制玻璃板的热收缩。而且，成膜工艺的热处理温度越高，高应变点化对减少热收缩的效果越大。因此，在低温多晶硅tft的情况下，理想的是尽可能使玻璃板高应变点化。

4、例如，专利文献1中公开了减少玻璃组成中的b2o3的含量，使玻璃板高应变点化的情况。此外，专利文献1中公开了导入玻璃组成中的y2o3和/或la2o3来避免低b2o3量相伴的耐失透性的降低。但是，由于y2o3和la2o3为稀土元素，因此原料成本高，使玻璃板的制造成本高涨。

5、本发明是鉴于上述情况而成的，其技术课题在于提供应变点高且可使制造成本低廉化的无碱玻璃板。

6、用于解决课题的手段

7、本发明人等进行了潜心研究，结果发现，通过对各成分的含量进行严格限制，并且将应变点限制为规定值以上，可解决上述技术课题，从而作为本发明提出。即，本发明的无碱玻璃板的特征在于，作为玻璃组成，以摩尔％计含有sio2 60～74％、al2o3 6～20％、b2o30～9％、mgo 1～13％、cao 1～13％、sro 0～7％、bao 0～8％、y2o3+la2o3 0％以上且小于1.0％，实质上不含碱金属氧化物，且应变点为650℃以上。此处，“y2o3+la2o3”是指y2o3与la2o3的合计量。所谓“实质上不含碱金属氧化物”，是指玻璃组成中的碱金属氧化物(li2o、na2o、k2o)的含量小于0.5摩尔％(理想的是小于0.1摩尔％)的情况。“应变点”是指基于astmc336的方法进行测定而得的值。

8、另外，本发明的无碱玻璃板优选sro+bao的含量为0～3摩尔％。此处，“sro+bao”是指sro与bao的合计量。

9、另外，本发明的无碱玻璃板优选应变点为700℃以上。

10、另外，本发明的无碱玻璃板优选杨氏模量为79gpa以上。此处，“杨氏模量”可通过弯曲共振法而进行测定。

11、另外，本发明的无碱玻璃板优选热膨胀系数为30×10-7～45×10-7/℃。若按照这样，则可抑制因高温成膜工艺中的温度不均而在玻璃板中产生局部尺寸变化的情况。

12、另外，本发明的无碱玻璃板优选高温粘度102.5dpa·s下的温度为1600℃以下。若按照这样，则可使熔融成本低廉化。

技术特征：

1.一种无碱玻璃板，其特征在于，作为玻璃组成，以摩尔％计含有sio260％～74％、al2o3 6％～20％、b2o3 0％～9％、mgo 1％～13％、cao 1％～13％、sro 0％～7％、bao 0％～8％、y2o3+la2o3 0％以上且小于1.0％，实质上不含碱金属氧化物，且应变点为650℃以上。

2.如权利要求1所述的无碱玻璃板，其特征在于，sro+bao的含量为0摩尔％～3摩尔％。

3.如权利要求1或2所述的无碱玻璃板，其特征在于，应变点为700℃以上。

4.如权利要求1～3中任一项所述的无碱玻璃板，其特征在于，杨氏模量为79gpa以上。

5.如权利要求1～4中任一项所述的无碱玻璃板，其特征在于，热膨胀系数为30×10-7/℃～45×10-7/℃。

6.如权利要求1～5中任一项所述的无碱玻璃板，其特征在于，高温粘度102.5dpa·s下的温度为1600℃以下。

技术总结
本发明的无碱玻璃板的特征在于，作为玻璃组成，以摩尔％计含有SiO2 60～74％、Al2O3 6～20％、B2O3 0～9％、MgO 1～13％、CaO 1～13％、SrO 0～7％、BaO 0～8％、Y2O3+La2O3 0％以上且小于1.0％，实质上不含碱金属氧化物，且应变点为650℃以上。

技术研发人员：虫明笃,齐藤敦己,林昌宏,村田隆
受保护的技术使用者：日本电气硝子株式会社
技术研发日：
技术公布日：2024/5/29