一种单晶炉的喂料装置的制作方法

本技术涉及单晶硅生产设备，具体涉及一种单晶炉的喂料装置。

背景技术：

1、为了降低单晶硅的生产成本和提升晶棒品质，行业技术人员经过大量实验和数据验证，开发出ocr及ccz（continuous czocharlski，连续拉晶）两种拉晶工艺。

2、采用以上两种工艺拉制单晶硅棒时，通常在单晶炉外增加一个喂料机构，在保持拉晶的同时将固态硅料连续地加入单晶炉的坩埚中，从而保证连续拉晶的进行。

3、目前，根据应用场景的不同，不同厂家设计出各种不同的喂料机构，要么是单级振动，要么是两级振动。但是，振动送料波动大、难以控制，其下料速度不能统一，喂料精准度偏差比较大，很难满足ocr及ccz拉晶工艺的需求。

技术实现思路

1、针对现有技术的不足，本实用新型提供一种单晶炉的喂料装置，以解决现有技术中振动送料波动大、难以控制，其下料速度不能统一，喂料精准度偏差比较大，很难满足ocr及ccz拉晶工艺的需求的问题。

2、为实现上述目的，本实用新型提供了以下技术方案：

3、一种单晶炉的喂料装置，包括：

4、料仓，用于盛装硅料；及

5、输料管，设于所述料仓下方，用于输送硅料至单晶炉内的坩埚中；

6、其中，所述料仓的下料口与所述输料管的进料口之间设有具有多个料格的输料导轮，所述输料导轮外接有带变频器的电机；通过所述电机的驱动，所述输料导轮可逆时针旋转以使得每个所述的料格上承所述下料口、下接所述进料口。

7、在本申请公开的一个实施例中，所述进料口下方对应的输料管外侧壁上安装有振动器。

8、在本申请公开的一个实施例中，所述振动器为单级振动器。

9、在本申请公开的一个实施例中，所述输料导轮包括带进、出口的外壳及转动设于所述外壳内部的轮体，所述外壳进口与所述下料口密封对接，所述外壳出口与所述进料口通过软连接密封对接，所述轮体的转轴穿过所述外壳后与所述电机的输出轴相连接；

10、所述轮体上绕其转轴设有多块l型隔板，多块所述的l型隔板圆周均匀分布以构成多个上述的料格。

11、在本申请公开的一个实施例中，每个所述的料格内衬聚四氟乙烯板。

12、在本申请公开的一个实施例中，所述料格绕所述轮体的转轴圆周均匀分布有10个。

13、在本申请公开的一个实施例中，所述输料导轮转动设于所述下料口正下方，且位于所述进料口左上方。

14、在本申请公开的一个实施例中，所述下料口与进料口均呈矩形结构；

15、其中，所述下料口通过含有弧形挡板的腔体与所述输料导轮的外壳进口密封对接。

16、与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

17、1、电机的输出转速通过变频器控制，以达到控制输料导轮旋转速度的目的，使得每个料格能够将定量的硅料送入输料管，从而精确控制和稳定统一加料速率，提高喂料的精准度和连续性，进而满足ocr及ccz拉晶工艺的需求。

18、2、振动器可对进料口处的硅料进行振动以避免堵塞管道，同时能够使得硅料持续行进，进一步提高喂料的连续性。

技术特征：

1.一种单晶炉的喂料装置，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的单晶炉的喂料装置，其特征在于，所述进料口下方对应的输料管外侧壁上安装有振动器。

3.根据权利要求2所述的单晶炉的喂料装置，其特征在于，所述振动器为单级振动器。

4.根据权利要求1～3中任意一项所述的单晶炉的喂料装置，其特征在于：

5.根据权利要求4所述的单晶炉的喂料装置，其特征在于，每个所述的料格内衬聚四氟乙烯板。

6.根据权利要求5所述的单晶炉的喂料装置，其特征在于，所述料格绕所述轮体的转轴圆周均匀分布有10个。

7.根据权利要求5或6所述的单晶炉的喂料装置，其特征在于，所述输料导轮转动设于所述下料口正下方，且位于所述进料口左上方。

8.根据权利要求7所述的单晶炉的喂料装置，其特征在于：

技术总结
本技术涉及单晶硅生产设备技术领域，提供一种单晶炉的喂料装置，包括：料仓，用于盛装硅料；输料管，设于料仓下方，用于输送硅料至单晶炉内的坩埚中；其中，料仓的下料口与输料管的进料口之间设有具有多个料格的输料导轮，输料导轮外接有带变频器的电机；通过电机的驱动，输料导轮可逆时针旋转以使得每个料格上承下料口、下接进料口。电机的输出转速通过变频器控制，以达到控制输料导轮旋转速度的目的，使得每个料格能够将定量的硅料送入输料管，从而精确控制和稳定统一加料速率，提高喂料的精准度和连续性，进而满足OCR及CCZ拉晶工艺的需求。

技术研发人员：陈浩,乃家旺,张军,马自成,王小龙,杜旭刚,刘华林
受保护的技术使用者：四川永祥光伏科技有限公司
技术研发日：20240129
技术公布日：2025/1/6