一种半导体锅炉吊渣装置的制作方法

本技术涉及半导体单晶硅生产，具体来说，涉及一种半导体锅炉吊渣装置。

背景技术：

1、半导体单晶硅生产中，熔料这一步骤结束之后由于熔炼物料使用的坩埚是石英坩埚，可能会有坩埚壁脱落导致坩埚中有料渣的情况，这时需要工人开炉使用钨棒点住料渣，这时料渣会因为固液分离状态的原因遇到其他金属会直接黏附上去，再把钨棒取出进行料渣的去除，这种步骤叫做吊渣。

2、目前，人工开炉进行吊渣的方式有很多弊端，比如开炉过程会导致炉内的温度发生变化，也可能因为开炉会掉下其他杂质，还有开炉以后再封炉需要重新进行炉内的升压操作延长了生产时间。

3、因此亟需一种半导体锅炉吊渣装置。

4、针对相关技术中的问题，目前尚未提出有效的解决方案。

技术实现思路

1、针对相关技术中的问题，本实用新型的目的是提出一种半导体锅炉吊渣装置，以克服现有相关技术所存在的上述技术问题。

2、本实用新型的技术方案是这样实现的：

3、一种半导体锅炉吊渣装置，包括：平移机构和垂直连接于所述平移机构底端的吊杆，所述吊杆的底端连接有吊锤，所述吊锤底端设有钨棒，其中；

4、所述平移机构，包括：装配板，所述装配板的底端两侧分别设有固定座，所述固定座之间固定连接有螺纹轴，所述螺纹轴上分别套设有螺纹齿轮和滑动板，所述螺纹齿轮与所述螺纹轴相啮合，所述滑动板与所述螺纹轴活动连接，所述滑动板一侧设有驱动电机，所述驱动电机的输出轴套设有传动轮，所述传动轮与所述螺纹齿轮套设有传动带。

5、进一步的，所述固定座之间还固定连接有导轨，所述导轨水平固定设置于所述装配板的底端，且所述导轨位于所述装配板和所述螺纹轴之间。

6、进一步的，所述装配板和所述螺纹轴分别水平设置。

7、进一步的，所述滑动板的顶端设有滑槽，所述滑槽与所述导轨相适配，且所述滑动板通过所述滑槽滑动于所述导轨上。

8、进一步的，所述驱动电机外套设有装配架，所述吊杆固定连接于所述装配架上。

9、进一步的，所述传动轮和所述驱动电机分别位于所述滑动板两侧，且所述传动轮和所述螺纹齿轮位于所述滑动板同一侧。

10、进一步的，所述螺纹齿轮和所述滑动板之间留有间隙。

11、本实用新型的有益效果：

12、本实用新型通过将平移机构装配于炉内的起吊装置进行下降操作，同时通过驱动电机带动传动轮工作，并通过传动带带动螺纹齿轮转动，实现螺纹齿轮协同滑动板及驱动电机沿螺纹轴进行水平方向的移动，从而调节钨棒在炉内的浸入点，实现高效去除料渣，提高生产效率，同时解决人工开炉方式存在的弊端。

13、本实用新型的其他特征和优点将在随后的说明书中阐述，并且，部分地从说明书中变得显而易见，或者通过实施本实用新型而了解。本实用新型的目的和其他优点在说明书以及附图中所特别指出的结构来实现和获得。

14、为使本实用新型的上述目的、特征和优点能更明显易懂，下文特举较佳实施例，并配合所附附图，作详细说明如下。

技术特征：

1.一种半导体锅炉吊渣装置，其特征在于，包括：平移机构(1)和垂直连接于所述平移机构(1)底端的吊杆(2)，所述吊杆(2)的底端连接有吊锤(3)，所述吊锤(3)底端设有钨棒(4)，其中；

2.根据权利要求1所述的一种半导体锅炉吊渣装置，其特征在于，所述固定座(6)之间还固定连接有导轨(13)，所述导轨(13)水平固定设置于所述装配板(5)的底端，且所述导轨(13)位于所述装配板(5)和所述螺纹轴(7)之间。

3.根据权利要求1或2所述的一种半导体锅炉吊渣装置，其特征在于，所述装配板(5)和所述螺纹轴(7)分别水平设置。

4.根据权利要求2所述的一种半导体锅炉吊渣装置，其特征在于，所述滑动板(9)的顶端设有滑槽(14)，所述滑槽(14)与所述导轨(13)相适配，且所述滑动板(9)通过所述滑槽(14)滑动于所述导轨(13)上。

5.根据权利要求1所述的一种半导体锅炉吊渣装置，其特征在于，所述驱动电机(10)外套设有装配架，所述吊杆(2)固定连接于所述装配架上。

6.根据权利要求1所述的一种半导体锅炉吊渣装置，其特征在于，所述传动轮(11)和所述驱动电机(10)分别位于所述滑动板(9)两侧，且所述传动轮(11)和所述螺纹齿轮(8)位于所述滑动板(9)同一侧。

7.根据权利要求6所述的一种半导体锅炉吊渣装置，其特征在于，所述螺纹齿轮(8)和所述滑动板(9)之间留有间隙。

技术总结
本技术公开了一种半导体锅炉吊渣装置，涉及半导体单晶硅生产技术领域，包括：平移机构和垂直连接于所述平移机构底端的吊杆，所述吊杆的底端连接有吊锤，所述吊锤底端设有钨棒，所述平移机构，包括：装配板，所述装配板的底端两侧分别设有固定座，所述固定座之间固定连接有螺纹轴，所述螺纹轴上分别套设有螺纹齿轮和滑动板，所述螺纹齿轮与所述螺纹轴相啮合，所述滑动板与所述螺纹轴活动连接。有益效果：调节钨棒在炉内的浸入点，实现高效去除料渣，提高生产效率，同时解决人工开炉方式存在的弊端。

技术研发人员：马鸿泰,马四海,马先松,丁磊,马青
受保护的技术使用者：安徽易芯半导体有限公司
技术研发日：20240131
技术公布日：2024/9/19