一种单晶炉热场新型热屏固毡的制作方法

本技术涉及单晶硅生产，更具体地说，本技术涉及一种单晶炉热场新型热屏固毡。

背景技术：

1、目前，单晶炉的热屏在内热屏层和外热屏层之间增设了保温层，该保温层的材料为软毡，使得内热屏层的温度不易传到外热屏层上，从而提高了热屏的保温性能，热屏上放置固毡，固毡为一体式，且在热屏固毡上放置石英环。

2、经检索，公开号为cn220503270u的中国专利公开了一种拼接式热场固毡及单晶炉，针对层叠软毡的上部与下部常常不与保温筒上下沿平齐，需要人工用裁剪工具修平，但是人工裁修做不到百分百平整，在使用过程中，不平整的连接会使热量不必要的从细缝中散失，同时，在其裁修过程中耗费了大量人工成本的问题，通过分体设置的上保温固毡和下保温固毡，其中，上保温固毡镶嵌设置于下保温固毡；不用人工介入裁剪，保证了毡上下沿的平齐性和密闭性，增加了热场的保温性。

3、但是在实际使用过程中一些热屏石英环抗冲击性能较差，受到外力冲击时容易破裂，同时上述采用固毡的方式在使用过程中，固毡厚度不足，固毡不便拼接，容易导致固毡在高温环境下的变形和损坏，在损坏时需要更换整个固毡，不便维护。

技术实现思路

1、为了克服现有技术中的问题缺陷，本实用新型提供一种单晶炉热场新型热屏固毡，以解决上述背景技术中提出的问题。

2、为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种单晶炉热场新型热屏固毡，包括上热屏固毡，所述上热屏固毡底部设置有下热屏固毡，所述上热屏固毡与下热屏固毡之间设置有拼接机构；

3、所述拼接机构包括加厚热屏固毡，所述加厚热屏固毡底部与下热屏固毡顶部之间固定连接，所述上热屏固毡和下热屏固毡内部均固定连接有密封毡，所述上热屏固毡底部两侧均固定连接有固毡卡块，所述固毡卡块两侧表面均开设有连接滑槽，所述加厚热屏固毡顶部表面开设有固毡卡槽，所述固毡卡槽内壁两侧均固定连接有连接滑杆。

4、优选地，所述固毡卡块与固毡卡槽之间相匹配，所述连接滑杆与连接滑槽之间滑动连接。

5、优选地，所述上热屏固毡与下热屏固毡的厚度相同，所述连接滑杆和连接滑槽的数量均设置为多个。

6、优选地，所述上热屏固毡和下热屏固毡内部由上往下均依次包括有第一隔热外层、热传导层、耐高温层、抗氧化层和第二隔热外层，所述第一隔热外层和热传导层的厚度相同。

7、优选地，所述第一隔热外层为高温耐烧结陶瓷材质，所述第二隔热外层为高温耐高分子复合材料材质。

8、优选地，所述热传导层为碳化硅材质，所述耐高温层为石墨材质，所述抗氧化层为氧化铝材质。

9、优选地，所述上热屏固毡、下热屏固毡和加厚热屏固毡均采用软毡含浸树脂后进行叠层石墨化成型。

10、本实用新型的技术效果和优点：

11、1、通过设置拼接机构，使固毡卡槽内壁两侧固定的连接滑杆对准固毡卡块两侧表面的连接滑槽，从而推动上热屏固毡，使上热屏固毡底部的两个固毡卡块插入到固毡卡槽内部，同时连接滑杆在连接滑槽内部滑动，使上热屏固毡、下热屏固毡和加厚热屏固毡之间完成拼接，与现有技术相比，拼接式固毡可以增加固毡整体的稳定性和结构强度，减少固毡在高温环境下的变形和损坏，在损坏时，可以单独更换其中的一块固毡，而不需要更换整个固毡结构，方便维护和管理，同时使用固毡代替热屏石英环，解决了热屏石英环受到外力冲击时容易破裂的问题；

12、2、通过第一隔热外层和第二隔热外层减少热场向外传导，降低能量损失，通过热传导层传导热量至整个单晶生长区域，确保热场均匀性，通过耐高温层使整体固毡能够承受高温环境，通过抗氧化层起到防止材料氧化和腐蚀的作用，能够有效地防止热场固毡在高温环境中的氧化和腐蚀。

技术特征：

1.一种单晶炉热场新型热屏固毡，包括上热屏固毡（1），其特征在于：所述上热屏固毡（1）底部设置有下热屏固毡（2），所述上热屏固毡（1）与下热屏固毡（2）之间设置有拼接机构；

2.根据权利要求1所述的一种单晶炉热场新型热屏固毡，其特征在于：所述固毡卡块（5）与固毡卡槽（7）之间相匹配，所述连接滑杆（8）与连接滑槽（6）之间滑动连接。

3.根据权利要求1所述的一种单晶炉热场新型热屏固毡，其特征在于：所述上热屏固毡（1）与下热屏固毡（2）的厚度相同，所述连接滑杆（8）和连接滑槽（6）的数量均设置为多个。

4.根据权利要求1所述的一种单晶炉热场新型热屏固毡，其特征在于：所述上热屏固毡（1）和下热屏固毡（2）内部由上往下均依次包括有第一隔热外层（9）、热传导层（10）、耐高温层（11）、抗氧化层（12）和第二隔热外层（13），所述第一隔热外层（9）和热传导层（10）的厚度相同。

5.根据权利要求4所述的一种单晶炉热场新型热屏固毡，其特征在于：所述第一隔热外层（9）为高温耐烧结陶瓷材质，所述第二隔热外层（13）为高温耐高分子复合材料材质。

6.根据权利要求4所述的一种单晶炉热场新型热屏固毡，其特征在于：所述热传导层（10）为碳化硅材质，所述耐高温层（11）为石墨材质，所述抗氧化层（12）为氧化铝材质。

7.根据权利要求1所述的一种单晶炉热场新型热屏固毡，其特征在于：所述上热屏固毡（1）、下热屏固毡（2）和加厚热屏固毡（3）均采用软毡含浸树脂后进行叠层石墨化成型。

技术总结
本技术公开了一种单晶炉热场新型热屏固毡，具体涉及单晶硅生产技术领域，包括上热屏固毡，上热屏固毡底部设置有下热屏固毡，上热屏固毡与下热屏固毡之间设置有拼接机构；拼接机构包括加厚热屏固毡，加厚热屏固毡底部与下热屏固毡顶部之间固定连接，上热屏固毡和下热屏固毡内部均固定连接有密封毡，上热屏固毡底部两侧均固定连接有固毡卡块。本技术通过设置拼接机构，拼接式固毡可以增加固毡整体的稳定性和结构强度，减少固毡在高温环境下的变形和损坏，在损坏时，可以单独更换其中的一块固毡，而不需要更换整个固毡结构，方便维护和管理，同时使用固毡代替热屏石英环，解决了热屏石英环受到外力冲击时容易破裂的问题。

技术研发人员：王子豪,郭嘉伟,王建利,董智慧
受保护的技术使用者：乌海市京运通新材料科技有限公司
技术研发日：20240422
技术公布日：2025/1/16