一种氮化镓生长加热炉的制作方法

本技术主要涉及氮化镓生产领域，具体涉及一种氮化镓生长加热炉。

背景技术：

1、以氮化镓为代表的第三代半导体材料，由于具有宽的禁带，可以发射波长比红外更短的蓝光。同时，氮化镓还具有高电子迁移率、高击穿电压、化学性质稳定、耐高温、耐腐蚀等特点，非常适合制作抗辐射、高频、大功率和高密度集成的电子器件以及蓝、绿光和紫外光电子器件。因此，氮化镓在半导体发光二极管、激光二极管、紫外探测器以及高能高频电子器件等方面有广阔的应用前景。

2、在申请号cn202020361644.4，公布日2020.11.06，名称为《一种氮化镓生长加热炉》的发明专利申请中，所述氮化镓生长加热炉包括炉体和支撑座，所述炉体设置于支撑座上，所述炉体的最内层为石英炉胆，所述石英炉胆的外侧为加热装置和保温隔热层；所述支撑座包括底板和两端的侧板，所述侧板的底部固定在底板上，所述侧板上开有穿孔，所述石英炉胆的两端分别位于支撑座两端的侧板的穿孔中并通过法兰固定，所述石英炉胆的两端分别为进气端和生长杆插入端，所述进气端连接有进气法兰，所述生长杆插入端连接有封口法兰，所述封口法兰的中部固定有生长杆，并开有排气口，该装置通过设置了多段功率不同的加热电阻对石英炉胆进行加热，使炉体的炉膛内形成多个温区，不同的温区可更好的满足氮化镓生产过程中不同阶段及炉体内不同位置对温度的要求。

3、但该加热炉在实际使用过程中，存在生产完毕后，需要在设备内壁进行氮化镓在采取，采取过程较为繁琐，且通过生产杆进行氮化镓的附着，氮化镓的附着量较小，导致氮化镓的产量较小。

技术实现思路

1、1.实用新型要解决的技术问题：

2、本实用新型的提供了一种氮化镓生长加热炉，用以解决在生产完毕后，需要在设备内壁进行氮化镓在采取，采取过程较为繁琐，且通过生产杆进行氮化镓的附着，氮化镓的附着量较小，导致氮化镓的产量较小的问题。

3、2.技术方案：

4、为达到上述目的，本实用新型提供的技术方案为：一种氮化镓生长加热炉，包括有外炉壁，所述外炉壁内部固定连接有石英炉胆，所述石英炉胆一侧表面设置有安装挂槽，所述石英炉胆一侧安装有旋转套柄机构，所述石英炉胆内壁下方设置有物料盒，所述安装挂槽表面活动连接有采集机构，所述石英炉胆开口端通过螺杆设置密封盖。

5、进一步的，所述石英炉胆开口一侧设置有安装螺孔，通过密封盖一侧的螺杆安装与石英炉胆一侧表面，所述密封盖表面设置有输送高度气体以及排放废气的管道，所述采集机构与旋转套柄机构活动连接。

6、进一步的，所述旋转套柄机构包括有设置于石英炉胆一侧的传动电机，所述传动电机表面传动连接有传动齿轮，所述传动齿轮表面啮合连接有旋转齿轮盘，所述旋转齿轮盘一侧于石英炉胆内部设置有套柄插管，所述套柄插管表面设置有限位插槽，所述套柄插管内部设置有对齐孔。

7、进一步的，所述套柄插管通过旋转齿轮盘与传动电机构成传动结构，所述限位插槽在套柄插管两侧均有设置，所述采集机构活动连接于套柄插管表面，所述旋转齿轮盘以及套柄插管在石英炉胆底部构成活动结构。

8、进一步的，所述采集机构包括有嵌合连接于安装挂槽表面的支撑挂杆，所述支撑挂杆下方固定连接有轴承旋转座，所述轴承旋转座一侧表面活动连接有旋转内杆，所述旋转内杆另一端表面设置有对齐短柱，所述旋转内杆两侧表面固定连接有突出插条，所述突出插条一侧表面固定连接有旋转生产板。

9、进一步的，所述旋转内杆在轴承旋转座表面活动连接并构成旋转结构，所述旋转内杆通过支撑挂杆安装于石英炉胆内壁，且活动连接于套柄插管内部，所述旋转内杆通过其两侧的突出插条安装于套柄插管内部，且通过套柄插管与传动电机构成传动结构，所述对齐短柱与对齐孔对齐安装。

10、3.有益效果：

11、本实用新型设计合理，在进行氮化镓生产作业时，将采集机构中的支撑挂杆安装在安装挂槽表面，使轴承旋转座以及旋转内杆安装在石英炉胆内部，将密封盖通过螺杆安装于石英炉胆的开口处，实现对石英炉胆内部进行封闭，由于旋转内杆两侧表面固定连接有旋转生产板若干旋转生产板，从而实现了提升氮化镓附着量提升氮化镓产量的目的，

12、同时在此过程中，启动传动电机，传动电机带动传动齿轮以及旋转齿轮盘在石英炉胆表面旋转，带动套柄插管以及套柄插管内部的旋转内杆、突出插条在轴承旋转座表面旋转，使旋转内杆两侧的旋转生产板两侧均可以附着氮化镓，在进行采集取料时将密封盖取下，将采集机构从安装挂槽以及套柄插管表面取出，避免在石英炉胆内部采集不便的情况。

技术特征：

1.一种氮化镓生长加热炉，其特征在于:包括有外炉壁（1），所述 外炉壁（1）内部固定连接有石英炉胆（2），所述石英炉胆（2）一侧表面设置有安装挂槽（3），所述石英炉胆（2）一侧安装有旋转套柄机构（4），所述石英炉胆（2）内壁下方设置有物料盒（5），所述安装挂槽（3）表面活动连接有采集机构（6），所述石英炉胆（2）开口端通过螺杆设置密封盖（7）。

2.根据权利要求1所述的一种氮化镓生长加热炉，其特征在于：所述石英炉胆（2）开口一侧设置有安装螺孔，通过密封盖（7）一侧的螺杆安装与石英炉胆（2）一侧表面，所述密封盖（7）表面设置有输送高度气体以及排放废气的管道，所述采集机构（6）与旋转套柄机构（4）活动连接。

3.根据权利要求1所述的一种氮化镓生长加热炉，其特征在于：所述旋转套柄机构（4）包括有设置于石英炉胆（2）一侧的传动电机（401），所述传动电机（401）表面传动连接有传动齿轮（402），所述传动齿轮（402）表面啮合连接有旋转齿轮盘（403），所述旋转齿轮盘（403）一侧于石英炉胆（2）内部设置有套柄插管（404），所述套柄插管（404）表面设置有限位插槽（405），所述套柄插管（404）内部设置有对齐孔（406）。

4.根据权利要求3所述的一种氮化镓生长加热炉，其特征在于：所述套柄插管（404）通过旋转齿轮盘（403）与传动电机（401）构成传动结构，所述限位插槽（405）在套柄插管（404）两侧均有设置，所述采集机构（6）活动连接于套柄插管（404）表面，所述旋转齿轮盘（403）以及套柄插管（404）在石英炉胆（2）底部构成活动结构。

5.根据权利要求1所述的一种氮化镓生长加热炉，其特征在于：所述采集机构（6）包括有嵌合连接于安装挂槽（3）表面的支撑挂杆（601），所述支撑挂杆（601）下方固定连接有轴承旋转座（602），所述轴承旋转座（602）一侧表面活动连接有旋转内杆（603），所述旋转内杆（603）另一端表面设置有对齐短柱（604），所述旋转内杆（603）两侧表面固定连接有突出插条（605），所述突出插条（605）一侧表面固定连接有旋转生产板（606）。

6.根据权利要求5所述的一种氮化镓生长加热炉，其特征在于：所述旋转内杆（603）在轴承旋转座（602）表面活动连接并构成旋转结构，所述旋转内杆（603）通过支撑挂杆（601）安装于石英炉胆（2）内壁，且活动连接于套柄插管（404）内部，所述旋转内杆（603）通过其两侧的突出插条（605）安装于套柄插管（404）内部，且通过套柄插管（404）与传动电机（401）构成传动结构，所述对齐短柱（604）与对齐孔（406）对齐安装。

技术总结
本技术提供一种氮化镓生长加热炉，包括有外炉壁，所述外炉壁内部固定连接有石英炉胆，所述石英炉胆一侧表面设置有安装挂槽，所述石英炉胆一侧安装有旋转套柄机构，所述石英炉胆内壁下方设置有物料盒，所述安装挂槽表面活动连接有采集机构，所述石英炉胆开口端通过螺杆设置密封盖，用以解决在生产完毕后，需要在设备内壁进行氮化镓在采取，采取过程较为繁琐，且通过生产杆进行氮化镓的附着，氮化镓的附着量较小，导致氮化镓的产量较小的问题。

技术研发人员：谢自力
受保护的技术使用者：南京集芯光电技术研究院有限公司
技术研发日：20240425
技术公布日：2024/12/17