石英晶锭炉回旋升降机构的制作方法

文档序号:8219118阅读:208来源:国知局
石英晶锭炉回旋升降机构的制作方法
【技术领域】
[0001]本发明属于器械领域,特别是一种石英晶锭炉回旋升降机构。
【背景技术】
[0002]石英晶锭炉通过可调整流量大小的送料机构,将石英砂慢慢地流入氢氧火焰进行熔融,熔融的石英液体滴在可升降和旋转的转盘中,根椐石英液体流入量、旋转盘旋转的速度及升降速度来控制生成晶锭的直径。但是目前的送料机构无法实现升降的功能。

【发明内容】

[0003]本发明的目的在于提供一种实现升降的功能的石英晶锭炉回旋升降机构。
[0004]为解决上述技术问题,本发明石英晶锭炉回旋升降机构,包括:基座,所述基座为中空结构;蜗轮丝杆升降机,所述蜗轮丝杆升降机通过丝杠支撑固定在所述基座内,在所述蜗轮丝杆升降机上设有滑块;驱动结构,所述驱动结构设置在所述基座底部,所述驱动结构与所述蜗轮丝杆升降机连接;支撑滑块,所述支撑滑块与所述滑块连接、并卡接在位于所述基座侧面的导轨上;支撑座,所述支撑座与所述支撑滑块连接,在所述支撑座上设有回旋机构。
[0005]所述回旋机构包括:回旋调速电机,所述回旋调速电机设置在所述支撑座上,在所述回旋调速电机的工作端上设有第一多楔带轮;回旋轴,所述回旋轴通过支撑单元设置在所述支撑座上,在所述回旋轴的工作端上设有第二多楔带轮;所述第一多楔带轮与所述第二多楔带轮通过多楔带连接。
[0006]在所述支撑座上还设有调节板,所述调节板与所述第一多楔带轮连接。
[0007]在所述支撑座上设有防护罩,所述防护罩罩设在所述回旋机构外侧,通过工装固定架固定。
[0008]所述驱动结构包括依次连接的调速电机、第一联轴器、减速机及第二联轴器,所述第二联轴器与所述蜗轮丝杆升降机连接。
[0009]在所述蜗轮丝杆升降机上设有检测机构,所述检测机构包括:近接开关支架,所述近接开关支架设置在所述丝杠支撑上;感应块及近接开关,所述感应块及所述近接开关设置在所述近接开关支架上。
[0010]在所述基座上设有防护板。
[0011]在所述基座底部设有支撑板。
[0012]在所述基座上设有挡块。
[0013]本发明石英晶锭炉回旋升降机构可实现同时升降运动和旋转运动,满足生长石英晶锭工艺要求,可慢速升降(长晶过程0.1毫米/分钟?10毫米/分钟)和快速升降(长晶过程之外10毫米/分钟?1000毫米/分钟)切换;特殊防护结构设计替代伸缩式钢板防护罩,安装方便,成本低;同时具有限位功能,安全性能高。
【附图说明】
[0014]图1为本发明石英晶锭炉回旋升降机构结构示意图;
[0015]图2为本发明石英晶锭炉回旋升降机构剖视图。
[0016]本发明石英晶锭炉回旋升降机构附图中附图标记说明:
[0017]1-工装固定架 2-挡块3-支撑滑块
[0018]4-支撑座5-导轨6-调速电机
[0019]7-基座8-支撑板9-防护板
[0020]10-滑块11-防护罩12-回旋调速电机
[0021]13-支撑单元14-回旋轴15-感应块
[0022]16-近接开关支架 17-近接开关18-丝杠支撑
[0023]19-第二多楔带轮 20-多楔带21-第一多楔带轮
[0024]22-调节板23-蜗轮丝杆升降机24-第二联轴器
[0025]25-减速机26-第一联轴器
【具体实施方式】
[0026]下面结合附图对本发明石英晶锭炉回旋升降机构作进一步详细说明。
[0027]如图1、图2所示,本发明石英晶锭炉回旋升降机构,基座7通过支撑板8支撑,蜗轮丝杆升降机23通过丝杠支撑18固定在基座7内。降调速电机6通过第一联轴器26带动减速机25旋转,减速机25通过第二联轴器24驱动蜗轮丝杆升降机23的滑块10升降,减速机25具有两种减速比,切换减速比,可实现滑块10慢速升降(长晶过程)和快速升降(长晶过程之外)。
[0028]回旋部件安装在支撑座4上,支撑座4紧固在支撑滑块3上,支撑滑块3与蜗轮丝杆升降机23的螺母和导轨5及滑块10连接,跟随滑块10升降可实现回旋部件整体上下运动,在回旋部件外侧罩有防护罩11并通过工装固定架I固定,实现对回旋部件的保护。
[0029]回旋调速电机12通过多楔带20传动方式,驱动回旋轴14在回旋支撑单元13的支撑下做旋转运动(转速:0.I?20rpm);
[0030]调节板22可调节第一多楔带轮21和第二多楔带轮19之间距离,保证多楔带20的张力。
[0031]近接开关支架16装有两个近接开关17,通过感应块15,实现升降过程中的上、下限位。挡块2为硬限位。
[0032]防护板9穿过支撑滑块3和支撑滑块4之间空隙,安装在基座7上,防护基座7内部的蜗轮丝杆升降机、油路系统和线缆。
[0033]本发明石英晶锭炉回旋升降机构可实现同时升降运动和旋转运动,满足生长石英晶锭工艺要求,可慢速升降(长晶过程0.1毫米/分钟?10毫米/分钟)和快速升降(长晶过程之外10毫米/分钟?1000毫米/分钟)切换;特殊防护结构设计替代伸缩式钢板防护罩,安装方便,成本低;同时具有限位功能,安全性能高。
[0034]以上已对本发明创造的较佳实施例进行了具体说明,但本发明创造并不限于所述实施例,熟悉本领域的技术人员在不违背本发明创造精神的前提下还可作出种种的等同的变型或替换,这些等同的变型或替换均包含在本申请权利要求所限定的范围内。
【主权项】
1.石英晶锭炉回旋升降机构,其特征在于,包括: 基座,所述基座为中空结构; 蜗轮丝杆升降机,所述蜗轮丝杆升降机通过丝杠支撑固定在所述基座内,在所述蜗轮丝杆升降机上设有滑块; 驱动结构,所述驱动结构设置在所述基座底部,所述驱动结构与所述蜗轮丝杆升降机连接; 支撑滑块,所述支撑滑块与所述滑块连接、并卡接在位于所述基座侧面的导轨上; 支撑座,所述支撑座与所述支撑滑块连接,在所述支撑座上设有回旋机构。
2.根据权利要求1所述的石英晶锭炉回旋升降机构,其特征在于,所述回旋机构包括: 回旋调速电机,所述回旋调速电机设置在所述支撑座上,在所述回旋调速电机的工作端上设有第一多楔带轮; 回旋轴,所述回旋轴通过支撑单元设置在所述支撑座上,在所述回旋轴的工作端上设有第二多楔带轮; 所述第一多楔带轮与所述第二多楔带轮通过多楔带连接。
3.根据权利要求2所述的石英晶锭炉回旋升降机构,其特征在于,在所述支撑座上还设有调节板,所述调节板与所述第一多楔带轮连接。
4.根据权利要求1或2所述的石英晶锭炉回旋升降机构,其特征在于,在所述支撑座上设有防护罩,所述防护罩罩设在所述回旋机构外侧,通过工装固定架固定。
5.根据权利要求1所述的石英晶锭炉回旋升降机构,其特征在于,所述驱动结构包括依次连接的调速电机、第一联轴器、减速机及第二联轴器,所述第二联轴器与所述蜗轮丝杆升降机连接。
6.根据权利要求1所述的石英晶锭炉回旋升降机构,其特征在于,在所述蜗轮丝杆升降机上设有检测机构,所述检测机构包括: 近接开关支架,所述近接开关支架设置在所述丝杠支撑上; 感应块及近接开关,所述感应块及所述近接开关设置在所述近接开关支架上。
7.根据权利要求1所述的石英晶锭炉回旋升降机构,其特征在于,在所述基座上设有防护板。
8.根据权利要求1所述的石英晶锭炉回旋升降机构,其特征在于,在所述基座底部设有支撑板。
9.根据权利要求1所述的石英晶锭炉回旋升降机构,其特征在于,在所述基座上设有挡块。
【专利摘要】本发明石英晶锭炉回旋升降机构,包括:基座,基座为中空结构;蜗轮丝杆升降机,蜗轮丝杆升降机通过丝杠支撑固定在基座内,在蜗轮丝杆升降机上设有滑块;驱动结构,驱动结构设置在基座底部,驱动结构与蜗轮丝杆升降机连接;支撑滑块,支撑滑块与滑块连接、并卡接在位于基座侧面的导轨上;支撑座,支撑座与支撑滑块连接,在支撑座上设有回旋机构。本发明石英晶锭炉回旋升降机构可实现同时升降运动和旋转运动,满足生长石英晶锭工艺要求,可慢速升降和快速升降切换;特殊防护结构设计替代伸缩式钢板防护罩,安装方便,成本低;同时具有限位功能,安全性能高。
【IPC分类】C30B29-18, C30B35-00
【公开号】CN104532358
【申请号】CN201410838170
【发明人】刘海, 贺贤汉, 夏孝平
【申请人】上海汉虹精密机械有限公司
【公开日】2015年4月22日
【申请日】2014年12月24日
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