一种酸腐机搬运系统的制作方法
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及一种酸腐机搬运系统。
【背景技术】
[0002]随着半导体硅片行业竞争的日益加大，产品质量的提升成为必然的趋势，常用的AWE-65402型酸腐机所配套的主搬运系统远远不能满足实际生产的需要，老式搬运系统气缸传动，连续运行时会出现气缸无法达到指定位置的情况，严重时设备内的产品将全部报废，损失严重。这就需要一种新的搬运系统，可以提高设备的精度，保障生产。
【实用新型内容】
[0003]本实用新型的目的是提供一种结构简单、精度高的酸腐机搬运系统。
[0004]本实用新型的技术方案是:一种酸腐机搬运系统，包括控制器、相互啮合的大齿轮和小齿轮，所述小齿轮通过穿过其中心的主轴控制机械臂的转动，所述大齿轮的中心穿过传动轴，所述传动轴的一端与减速机连接，所述减速机与电机连接，所述传动轴的另一端设置有一个拨块，所述拨块的下方设置有传感器底座，所述传感器底座上分布有若干传感器，所述传感器、电机同时与所述控制器电连接。
[0005]优选地，所述传感器底座的上缘为圆弧形，所述若干传感器均匀分布在圆弧上。
[0006]本实用新型具有的优点和积极效果是:
[0007]由于采用上述技术方案，有效避免了由于气缸老化造成的气缸无法运动到指定位置的情况，提高了工作精度，并实现摇动功能。电机控制能够有效的减少噪音，减少设备的维护和维修难度，提高效率。使用电机传动后，设备实现了硅片腐蚀中的抛动功能，硅片酸腐更加充分，品质得到了提高。
【附图说明】
[0008]为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0009]图1是本实用新型的俯视图；
[0010]图2是本实用新型的主视图。
【具体实施方式】
[0011 ] 下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
[0012]在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本实用新型，但是本实用新型还可以采用其他不同于在此描述的其它方式来实施，本领域技术人员可以在不违背本实用新型内涵的况下做类似推广，因此本实用新型不受下面公开的具体实施例的限制。
[0013]其次，本实用新型结合示意图进行详细描述，在详述本实用新型实施例时，为便于说明，表示装置件结构的剖面图会不依一般比例作局部放大，而且所述示意图只是示例，其在此不应限制本实用新型保护的范围。此外，在实际制作中应包含长度、宽度及高度的三维空间尺寸。
[0014]如图1和图2所示，本实用新型包括相互啮合的大齿轮I和小齿轮2，所述小齿轮2通过穿过其中心的主轴控制机械臂5的转动，所述大齿轮I的中心穿过传动轴，所述传动轴的一端与减速机3连接，所述减速机3与电机4连接，所述传动轴的另一端设置有一个拨块6，所述拨块6的下方设置有圆弧形上缘的传感器底座6，所述传感器底座6的上缘均匀分布有若干传感器7，所述传感器7、电机4同时与控制器8电连接。
[0015]使用时，电机4带动减速机3，减速机3带动大齿轮1，大齿轮I带动小齿轮2，小齿轮2带动机械臂5转动。当需要机械臂5摆动时，若干传感器7可以感应到大齿轮I上的拨块的转动角度，将感应信号传递给控制器8，控制器8通过计算，得到机械臂5的转动角度，再控制电机4的转动方向和转动速度，从而可以控制机械臂5的摆动。
[0016]由于采用上述技术方案，有效避免了由于气缸老化造成的气缸无法运动到指定位置的情况，提高了工作精度，并实现摇动功能。电机控制能够有效的减少噪音，减少设备的维护和维修难度，提高效率。使用电机传动后，设备实现了硅片腐蚀中的抛动功能，硅片酸腐更加充分，品质得到了提高。
[0017]以上实施例对本实用新型进行了详细说明，但所述内容仅为本实用新型的较佳实施例，不能被认为用于限定本实用新型的实施范围。凡依本实用新型申请范围所作的均等变化与改进等，均应仍归属于本实用新型的专利涵盖范围之内。
【主权项】
1.一种酸腐机搬运系统，其特征在于:包括控制器(8)、相互啮合的大齿轮(I)和小齿轮(2)，所述小齿轮(2)通过穿过其中心的主轴控制机械臂(5)的转动，所述大齿轮(I)的中心穿过传动轴，所述传动轴的一端与减速机(3)连接，所述减速机(3)与电机(4)连接，所述传动轴的另一端设置有一个拨块￠)，所述拨块￠)的下方设置有传感器底座￠)，所述传感器底座(6)上分布有若干传感器(7)，所述传感器(7)、电机(4)同时与所述控制器(8)电连接。
2.根据权利要求1所述的酸腐机搬运系统，其特征在于:所述传感器底座￠)的上缘为圆弧形，所述若干传感器(7)均匀分布在圆弧上。
【专利摘要】本实用新型提供一种酸腐机搬运系统，包括相互啮合的大齿轮和小齿轮，所述小齿轮通过穿过其中心的主轴控制机械臂的转动，所述大齿轮的中心穿过传动轴，所述传动轴的一端与减速机连接，所述减速机与电机连接，所述传动轴的另一端设置有一个拨块，所述拨块的下方设置有传感器底座，所述传感器底座上分布有若干传感器，所述传感器、电机同时与控制器电连接。本实用新型的有益效果是：由于采用上述技术方案，有效避免了由于气缸老化造成的气缸无法运动到指定位置的情况，提高了工作精度，并实现摇动功能。使用电机传动后，设备实现了硅片腐蚀中的抛动功能，硅片酸腐更加充分，品质得到了提高。
【IPC分类】C23F1-08, C30B33-10
【公开号】CN204325551
【申请号】CN201420694638
【发明人】靳立辉, 孙希凯, 刘振福, 严政先, 王俊朋
【申请人】天津中环领先材料技术有限公司
【公开日】2015年5月13日
【申请日】2014年11月18日