一种83kg级蓝宝石晶体炉长晶结构的制作方法
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及蓝宝石生产设备技术领域，尤其涉及一种用于生长蓝宝石晶体的长晶炉长晶结构。
【背景技术】
[0002]随着技术进步，人工生产蓝宝石晶体的方法越来越多，但无论哪一种好方法，只有达到蓝宝石晶体的长晶温度，蓝宝石晶体才能生长，若没有保温层，炉内2050多度的高温很难保证，要达到蓝宝石晶体生长的温度，就得不停的加热，对电的消耗巨大，能源浪费严重，更重要的是严重影响长出的蓝宝石晶体产品质量，另一方面，针对改造后的83kg级蓝宝石晶体炉，如何寻找出适合83kg级蓝宝石晶体炉长晶工艺也尤为重要，国内长晶工艺正在摸索，长出的晶体都有晶格缺陷，数值大于1000位错密度/pits, cm-2,晶体晶界多、气泡多，这会严重影响蓝宝石主导产品蓝宝石衬底片和窗口片的内部结构和质量，成品率极低，浪费巨大，成本高，效率低，难以大规模生产。蓝宝石晶体生长炉热场外采用什么保温材料及采用什么工艺使其减少为错密度，成为国内蓝宝石行业关注的技术问题。
【实用新型内容】
[0003]本实用新型克服了现有技术的不足，提供一种用于生长蓝宝石晶体的长晶炉结构，采用蓝宝石晶体的长晶炉后，确保了长晶炉密封良好及炉内温度的一致性，将热场外加侧屏保温，节约了能耗，提高了保温效果。
[0004]为解决上述技术问题，本实用新型采用的技术方案为:
[0005]一种83kg级蓝宝石晶体炉长晶结构，热交换器、加热器、籽晶夹头、坩祸、支撑轴、钨筒和籽晶杆、侧屏、锆砖、炉筒。
[0006]坩祸设置在钨筒内，支撑轴设置在坩祸与钨筒的底面之间，坩祸的顶盖上设置有通孔，籽晶杆内设置热交换器，籽晶杆的底端设置籽晶夹头，籽晶杆穿过钨筒的上盖伸入钨筒内，籽晶夹头位于坩祸的顶盖通孔的上方；钨筒的上盖内设置加热器。
[0007]鹤筒的侧面外侧设置有侧屏，鹤筒的底面下方设置有错砖，侧屏、错砖外侧设置有炉筒。
[0008]坩祸的顶面下表面、底面上表面均设置有第一密封条，坩祸的侧面的上、下面均设置有第二密封条，第一密封条和第二密封条为带有磁性的密封条，第一密封条与第二密封条磁性相反。
[0009]较优地，坩祸与钨筒之间设置有保温层。
[0010]较优地，支撑轴材质为钼钨合金。
[0011]较优地，樹祸为钼；t甘祸。
[0012]较优地，钼坩祸上方设有钼保温层。
[0013]较优地，坩祸的侧面、顶面、底面厚度均为l_2mm。
[0014]与现有技术相比，本实用新型的有益效果有:本实用新型提供的一种83kg级蓝宝石晶体炉长晶结构的热场的两侧加了侧屏，下方加了锆砖，在侧屏与锆砖外侧加了炉筒，确保了长晶炉密封良好及炉内温度的一致性；
[0015]本实用新型一种83kg级蓝宝石晶体炉长晶工艺方法节约了能耗:钨筒密封性好，热量难散出，再加上外面的侧屏、锆砖、炉筒；密封性更好，保温效果更好，用电加热省电，节约能耗。
【附图说明】
[0016]图1为本实用新型炉体结构示意图；
[0017]图2为本实用新型坩祸的顶面、侧面、底面分解结构示意图；
[0018]图3为本实用新型坩祸的侧面仰视图；
[0019]图4为本实用新型坩祸的顶面仰视图；
[0020]其中:1热交换器、2加热器、3籽晶夹头、4钼保温层、5坩祸、6晶体、7晶体与熔体之间形成固液界面、8熔体、9支撑轴、10保温层、11钨筒、12籽晶杆、13侧屏、14锆砖、15炉筒O
【具体实施方式】
[0021]下面结合附图对本实用新型作更进一步的说明。
[0022]如图1所示，一种83kg级蓝宝石晶体炉长晶结构，热交换器1、加热器2、籽晶夹头3、坩祸5、支撑轴9、保温层10、钨筒11和籽晶杆12、侧屏13、锆砖14、炉筒15 ；
[0023]坩祸5设置在钨筒11内，支撑轴9设置在坩祸5与钨筒11的底面之间，坩祸5的顶盖上设置有通孔，籽晶杆12内设置热交换器1，籽晶杆12的底端设置籽晶夹头3，籽晶杆12穿过钨筒11的上盖伸入钨筒11内，籽晶夹头3位于坩祸5的顶盖通孔的上方；
[0024]钨筒11的上盖内设置加热器2 ；
[0025]钨筒11的侧面外侧设置有侧屏13，钨筒11的底面下方设置有锆砖14，侧屏13、锆砖14外侧设置有炉筒15。
[0026]如图2、图3、图4所不，i甘祸5的顶面下表面、底面上表面均设置有第一密封条5a，坩祸5的侧面的上、下面均设置有第二密封条5b，第一密封条5a和第二密封条5b为带有磁性的密封条，第一密封条5a与第二密封条5b磁性相反。
[0027]坩祸5与钨筒11之间设置有保温层10。
[0028]支撑轴9材质为钼钨合金。坩祸5为钼坩祸。
[0029]钼坩祸上方设有钼保温层4。坩祸5的侧面、顶面、底面厚度均为l_2mm。
[0030]以上仅是本实用新型的优选实施方式，应当指出:对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型原理的前提下，还可以做出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本实用新型的保护范围。
【主权项】
1.一种83kg级蓝宝石晶体炉长晶结构，其特征在于，包括:热交换器(1)、加热器(2)、籽晶夹头(3)、坩祸(5)、支撑轴(9)、钨筒(11)和籽晶杆(12)、侧屏(13)、锆砖(14)、炉筒(15)； 所述坩祸(5 )设置在所述钨筒(11)内，支撑轴(9 )设置在坩祸(5 )与钨筒(11)的底面之间，坩祸(5)的顶盖上设置有通孔，所述籽晶杆(12)内设置热交换器(1)，籽晶杆(12)的底端设置籽晶夹头(3)，籽晶杆(12)穿过钨筒(11)的上盖伸入钨筒(11)内，籽晶夹头(3)位于坩祸(5)的顶盖通孔的上方； 所述钨筒(11)的上盖内设置加热器(2); 鹤筒(11)的侧面外侧设置有侧屏(13)，鹤筒(11)的底面下方设置有错砖(14)，侧屏(13)、锆砖(14)外侧设置有炉筒(15)； 坩祸(5)的顶面下表面、底面上表面均设置有第一密封条(5a)，所述坩祸(5)的侧面的上、下面均设置有第二密封条(5b)，所述第一密封条(5a)和第二密封条(5b)为带有磁性的密封条，所述第一密封条(5a)与第二密封条(5b)磁性相反。
2.根据权利要求1所述的83kg级蓝宝石晶体炉长晶结构，其特征在于，坩祸(5)与钨筒(11)之间设置有保温层(10 )。
3.根据权利要求1所述的83kg级蓝宝石晶体炉长晶结构，其特征在于，所述支撑轴(9)材质为钼钨合金。
4.根据权利要求1所述的83kg级蓝宝石晶体炉长晶结构，其特征在于，所述坩祸(5)为钼坩祸。
5.根据权利要求4所述的83kg级蓝宝石晶体炉长晶结构，其特征在于，所述钼坩祸上方设有钼保温层(4)。
6.根据权利要求1所述的83kg级蓝宝石晶体炉长晶结构，其特征在于，所述坩祸(5)的侧面、顶面、底面厚度均为I mm -2mm。
【专利摘要】本实用新型公开了一种83kg级蓝宝石晶体炉长晶结构，包括：热交换器（1）、加热器（2）、籽晶夹头（3）、坩埚（5）、支撑轴（9）、钨筒（11）和籽晶杆（12）、侧屏（13）、锆砖（14）、炉筒（15）；坩埚（5）设置在钨筒（11）内，支撑轴（9）设置在坩埚（5）与钨筒（11）的底面之间，籽晶杆（12）的底端设置籽晶夹头（3），籽晶杆（12）穿过钨筒（11）的上盖伸入钨筒（11）内，钨筒（11）的侧面外侧设置有侧屏（13），钨筒（11）的底面下方设置有锆砖（14），侧屏（13）、锆砖（14）外侧设置有炉筒（15）；本实用新型加了锆砖，在侧屏与锆砖外侧加了炉筒，确保了长晶炉密封良好及炉内温度的一致性。
【IPC分类】C30B15-00, C30B29-20
【公开号】CN204370041
【申请号】CN201420792321
【发明人】吉爱华, 张新峰, 徐祥奇, 钱梅仙, 袁涛, 汪传勇
【申请人】江苏苏博瑞光电设备科技有限公司
【公开日】2015年6月3日
【申请日】2014年12月15日