一种具有自我保护功能的单晶炉放气阀的制作方法
【专利摘要】本实用新型涉及一种具有自我保护功能的单晶炉放气阀，包括阀筒、阀芯、弹簧和阀盖，所述的阀芯活动连接在阀筒内的一侧，所述的阀盖连接在阀筒的另一侧，所述的阀芯通过弹簧与阀盖相连，所述的阀芯还与平移机构相连，所述的阀筒是由第一阀筒和第二阀筒左右连接组成，所述第二阀筒的侧壁上开设有出气孔，所述第二阀筒的左端与阀盖相连。本设计具有自我保护的功能，能够在单晶炉内压强过大时进行自动放弃，防止过大的压强对单晶炉的自身结构造成损坏，从而减少了不必要的损失。
【专利说明】
一种具有自我保护功能的单晶炉放气阀
技术领域
[0001]本实用新型涉及单晶炉装置技术领域，特别是一种具有自我保护功能的单晶炉放气阀。
【背景技术】
[0002]单晶炉是一种在惰性气体(氮气、氦气为主)环境中，用石墨加热器将多晶硅等多晶材料熔化，用直拉法生长无错位单晶的设备。其中生产出的而单晶硅又是光伏发电和半导体行业中的基础原料。单晶硅目前世界上最重要的单晶材料之一，它不但是集成电路的主要材料，更是太阳能电池的的主要材料。因此单晶炉的质量好坏直接关系着晶硅的质量。现有的单晶硅的放气装置是直接将密封螺母密封后，放气时直接将螺母旋下进行放气，这种放气装置容易发生惰性气体的泄漏，影响惰性气体的质量。并且随着不断放气单晶炉内的压强会不断增大，超过单晶炉的承受极限，从而造成不必要的损失。
【发明内容】
[0003]本实用新型需要解决的技术问题是设计一种具有自我保护功能的单晶炉放气阀，使其不仅能够实现对单晶炉进行主动放气，而且使其在单晶炉内压强过大时能够自动进行放气，对单晶炉起到自我保护的功能。
[0004]为解决上述的技术问题，本实用新型的结构包括阀筒、阀芯、弹簧和阀盖，所述的阀芯活动连接在阀筒内的一侧，所述的阀盖连接在阀筒的另一侧，所述的阀芯通过弹簧与阀盖相连，所述的阀芯还与平移机构相连，所述的阀筒是由第一阀筒和第二阀筒左右连接组成，所述第二阀筒的侧壁上开设有出气孔，所述第二阀筒的左端与阀盖相连。
[0005]进一步:所述的平移机构包括活塞杆、活塞、挡块和气缸，所述的活塞杆水平连接在阀筒内，所述的活塞和阀芯活动套装在活塞杆上，所述的阀芯通过活塞与弹簧相连，所述的气缸穿过阀盖与活塞杆的一端相连，所述的挡块固定连接在活塞杆的另一端。
[0006]又进一步:所述第二阀筒的左端设置有外接螺纹，所述的阀盖上开设有与外接螺纹相匹配的螺纹孔，所述的第二阀筒通过左端的外接螺纹连接在阀盖上的螺纹孔内。
[0007]采用上述结构后，本实用新型具有自我保护的功能，能够在单晶炉内压强过大时进行自动放弃，防止过大的压强对单晶炉的自身结构造成损坏，从而减少了不必要的损失；并且其还具有结构简单、易于制造和实用高效的优点。
【附图说明】
[0008]下面结合附图和【具体实施方式】对本实用新型作进一步详细的说明。
[0009]图1为本实用新型的结构示意图。
【具体实施方式】
[0010]如图1所示的一种具有自我保护功能的单晶炉放气阀，包括阀筒、阀芯4、弹簧10和阀盖3，所述的阀芯4活动连接在阀筒内的一侧，所述的阀盖3连接在阀筒的另一侧，所述的阀芯4通过弹簧10与阀盖3相连，所述的阀芯4还与平移机构相连，所述的阀筒是由第一阀筒I和第二阀筒2左右连接组成，所述第二阀筒2的侧壁上开设有出气孔9，所述第二阀筒2的左端与阀盖3相连。当需要进行主动放气时，启动平移机构使其带着阀芯4向阀盖3运动，使第二阀筒2上的出气孔9与单晶炉的内部空间相连通，从而使单晶炉的气体从出气孔9排放出去，做到主动排气，当单晶炉内的压强过高时，单晶炉内的气体会推动阀芯4挤压弹簧10，使阀芯4向着阀盖3运动，使第二阀筒2上的出气孔9与单晶炉的内部空间相连通，从而使单晶炉的气体从出气孔9排放出去，从而降低单晶炉内的压强，当单晶炉内的压强降低后，此时弹簧10的弹力要大于单晶炉内气体提供的压力，此时弹簧10会推着阀芯4向反方向运动，重新堵死出气孔9，使单晶炉内的压强不在发生改变。本设计不仅能够做到主动排气，而且其还具有自我保护的功能，能够有效防止过大的压强对单晶炉的自身结构造成破坏，从而减少了不必要的损失。
[0011]如图1所示的平移机构包括活塞杆6、活塞5、挡块8和气缸7，所述的活塞杆6水平连接在阀筒内，所述的活塞5和阀芯4活动套装在活塞杆6上，所述的阀芯4通过活塞5与弹簧10相连，所述的气缸7穿过阀盖3与活塞杆6的一端相连，所述的挡块8固定连接在活塞杆6的另一端。当需要进行主动排气时，启动气缸7使其拉着活塞杆6向左侧运动，阀芯4和活塞5在挡块8的作用下也会向着左侧运动，使第二阀筒2上的出气孔9与单晶炉的内部空间相连通，从而使单晶炉的气体从出气孔9排放出去，做到主动排气。本设计具有结构简单、易于制造和实用高效的优点。
[0012]如图1所示的第二阀筒2的左端设置有外接螺纹，所述的阀盖3上开设有与外接螺纹相匹配的螺纹孔，所述的第二阀筒2通过左端的外接螺纹连接在阀盖3上的螺纹孔内。本设计通过转动第二阀筒2调节第二阀筒2伸入阀盖3的长度，来改变阀芯4到出气孔9的距离，从而对放气阀自动排气的极限进行调节。
【主权项】
1.一种具有自我保护功能的单晶炉放气阀，其特征在于:包括阀筒、阀芯(4)、弹簧(10)和阀盖(3)，所述的阀芯(4)活动连接在阀筒内的一侧，所述的阀盖(3)连接在阀筒的另一侦U，所述的阀芯(4)通过弹簧(10)与阀盖(3)相连，所述的阀芯(4)还与平移机构相连，所述的阀筒是由第一阀筒(I)和第二阀筒(2)左右连接组成，所述第二阀筒(2)的侧壁上开设有出气孔(9)，所述第二阀筒(2)的左端与阀盖(3)相连。2.根据权利要求1所述的一种具有自我保护功能的单晶炉放气阀，其特征在于:所述的平移机构包括活塞杆(6)、活塞(5)、挡块(8)和气缸(7)，所述的活塞杆(6)水平连接在阀筒内，所述的活塞(5)和阀芯(4)活动套装在活塞杆(6)上，所述的阀芯(4)通过活塞(5)与弹簧(10)相连，所述的气缸(7)穿过阀盖(3)与活塞杆(6)的一端相连，所述的挡块(8)固定连接在活塞杆(6)的另一端。3.根据权利要求1所述的一种具有自我保护功能的单晶炉放气阀，其特征在于:所述第二阀筒(2)的左端设置有外接螺纹，所述的阀盖(3)上开设有与外接螺纹相匹配的螺纹孔，所述的第二阀筒(2)通过左端的外接螺纹连接在阀盖(3)上的螺纹孔内。
【文档编号】C30B15/00GK205556846SQ201520789815
【公开日】2016年9月7日
【申请日】2015年10月13日
【发明人】潘清跃, 王平
【申请人】江苏华盛天龙光电设备股份有限公司