双面减反膜玻璃的制作方法
【专利摘要】本实用新型公开了一种双面减反膜玻璃，其包括玻璃基体，该双面减反膜玻璃还包括形成在该玻璃基体两侧的由高折射率介质膜和低折射率介质膜依次层叠的形成的多层减反膜；在该多层减反膜中，最靠近该玻璃基体的为高折射率介质膜，远离该玻璃基体的最外层为低折射率介质膜。上述双面减反膜玻璃具有较低的反射率。
【专利说明】
双面减反膜玻璃
技术领域
[0001] 本实用新型涉及特种玻璃制备领域，特别是涉及一种双面减反膜玻璃。
【背景技术】
[0002] 众所周知光在两种介质的界面上会发生反射现象，当光垂直照射到未镀膜的玻璃 表面时，其反射光约占到入射光的8%。在很多光学元件的应用中，其表面的反射不仅影响光 学元件的通光能量，而且这些反射光还会在仪器中形成杂散光，从而影响光学仪器的成像 质量。为了解决这些问题，通常在光学元件的表面镀上一定厚度的单层或多层薄膜，目的是 为了减少元件表面的反射光，这样的光学膜就是减反膜(Anti-reflection film)。
[0003] 减反膜玻璃是利用等厚干涉的原理:从同一点发出的光，在光学元件不同位置的 反射光线会发生干涉现象，当干涉相消时反射光线会减少或消失。
[0004] 光在双层膜中的反射示意图如图4所示：
[0005] 其中no是空气的折射率，m是薄膜a的折射率，n2是薄膜b的折射率，ng是镀膜基体 的折射率。当入射光照射到空气与薄膜a的界面上时会产生反射光0和折射光，折射光到 达薄膜 a与薄膜b的界面上也会产生反射，并且该反射光在薄膜a与空气的界面折射出去形 成元件的反射光〇)，同理在薄膜b与基体介质的表面反射的光学折射出元件后形成反射(D ，这三束反射光形成相干干涉满足一定条件时会使得反射光量降低或减少，如当满足条件
时，可在中心波长实现反射率为〇。
[0006] 为了能在更宽的波长范围内实现减反射，人们通常在光学元件上镀多层减反膜来 实现。当前市场上的多层减反膜很多，如宜昌南玻显示器件有限公司设计的减反膜（申请号 201410816930.4)，它的结构为Si〇2/Nb2〇5/Si〇2/Nb2〇5/Si〇2/Nb2〇5/Si〇2/Nb2〇 5/Si〇2/ Si3N4， 这种减反膜具有单面全波段平均反射率低、硬度高，适合后续加工的特征。张家港康得新光 电材料有限公司设计的减反膜（申请号201410042064.8)在介质层中增加导电金属层和抗 氧化金属层，在工艺上实现卷绕镀的方法。
[0007] 单面减反膜通常只能减少约3%的反射光量，即还有约5%的反射光量无法减少或消 除。 【实用新型内容】
[0008] 基于此，本实用新型的目的在于提供一种新的双面减反膜玻璃。
[0009] -种双面减反膜玻璃，其包括玻璃基体，该双面减反膜玻璃还包括形成在该玻璃 基体两侧的由高折射率介质膜和低折射率介质膜依次层叠的形成的多层减反膜;在该多层 减反膜中，最靠近该玻璃基体的为高折射率介质膜，远离该玻璃基体的最外层为低折射率 介质膜。
[0010] 该多层减反膜为两层减反膜、四层减反膜或六层减反膜。
[0011] 该双面减反膜玻璃依次层叠如下结构:第一低折射率介质膜、第一高折射率介质 膜、玻璃基体、第二高折射率介质膜、第二低折射率介质膜。
[0012] 该双面减反膜玻璃依次层叠如下结构:第一低折射率介质膜、第一高折射率介质 膜、第二低折射率介质膜、第二高折射率介质膜、玻璃基体、第三高折射率介质膜、第三低折 射率介质膜、第四高折射率介质膜、第四低折射率介质膜。
[0013] 该双面减反膜玻璃依次层叠如下结构:第一低折射率介质膜、第一高折射率介质 膜、第二低折射率介质膜、第二高折射率介质膜、第三低折射率介质膜、第三高折射率介质 膜、玻璃基体、第四高折射率介质膜、第四低折射率介质膜、第五高折射率介质膜、第五低折 射率介质膜、第六高折射率介质膜、第六低折射率介质膜。
[0014] -种双面减反膜玻璃，其包括玻璃基体，该双面减反膜玻璃还包括形成在该玻璃 基体的两侧表面的第一复合减反膜及第二复合减反膜，该第一复合减反膜及第二复合减反 膜分别由高折射率介质膜和低折射率介质膜依次层叠的形成;在该第一复合减反膜及第二 复合减反膜中，最靠近该玻璃基体的为高折射率介质膜，远离该玻璃基体的最外层为低折 射率介质膜。
[0015] 该第一复合减反膜及第二复合减反膜分别为两层减反膜、四层减反膜或六层减反 膜。
[0016] 该双面减反膜玻璃依次层叠如下结构:第一低折射率介质膜、第一高折射率介质 膜、玻璃基体、第二高折射率介质膜、第二低折射率介质膜，该第一低折射率介质膜与第一 高折射率介质膜构成该第一复合减反膜，该第二高折射率介质膜与该第二低折射率介质膜 构成该第二复合减反膜。
[0017] 该双面减反膜玻璃依次层叠如下结构:第一低折射率介质膜、第一高折射率介质 膜、第二低折射率介质膜、第二高折射率介质膜、玻璃基体、第三高折射率介质膜、第三低折 射率介质膜、第四高折射率介质膜、第四低折射率介质膜，该第一低折射率介质膜、该第一 高折射率介质膜、该第二低折射率介质膜与该第二高折射率介质膜构成该第一复合减反 膜、该第三高折射率介质膜、该第三低折射率介质膜、该第四高折射率介质膜与该第四低折 射率介质膜构成该第二复合减反膜。
[0018] 该双面减反膜玻璃依次层叠如下结构:第一低折射率介质膜、第一高折射率介质 膜、第二低折射率介质膜、第二高折射率介质膜、第三低折射率介质膜、第三高折射率介质 膜、玻璃基体、第四高折射率介质膜、第四低折射率介质膜、第五高折射率介质膜、第五低折 射率介质膜、第六高折射率介质膜、第六低折射率介质膜，该第一低折射率介质膜、该第一 高折射率介质膜、该第二低折射率介质膜、该第二高折射率介质膜、该第三低折射率介质膜 与第三高折射率介质膜构成该第一复合减反膜，该第四高折射率介质膜、该第四低折射率 介质膜、该第五高折射率介质膜、该第五低折射率介质膜、该第六高折射率介质膜与该第六 低折射率介质膜构成该第二复合减反膜。
[0019] 上述双面减反膜玻璃具有比单面减反膜更低的反射率，而且在双面各减反膜玻璃 中能使反射色在全角度呈中性。
【附图说明】
[0020] 图1为一实施方式的双面高折射率介质膜和低折射率介质膜为四层交替层叠的减 反膜玻璃剖视图；
[0021]图2为一实施方式的双面高折射率介质膜和低折射率介质膜为两层交替层叠的减 反膜玻璃剖视图；
[0022]图3为一实施方式的双面高折射率介质膜和低折射率介质膜为六层交替层叠的减 反膜玻璃剖视图；
[0023]图4为光在双层膜中反射的示意图。
【具体实施方式】
[0024] 为了便于理解本实用新型，下面对本实用新型进行更全面的描述。但是，本实用新 型可以以许多不同的形式来实现，并不限于本文所描述的实施例。相反地，提供这些实施例 的目的是使对本实用新型的公开内容的理解更加透彻全面。
[0025] 如图1所示的一实施方式的双面高折射率介质膜和低折射率介质膜为四层交替层 叠的减反膜玻璃，包括依次层叠的如下结构:第一低折射率介质膜50'、第一高折射率介质 膜40'、第二低折射率介质膜30'、第二高折射率介质膜20'，玻璃基体10、第三高折射率介质 膜20、第三低折射率介质膜30、第四高折射率介质膜40、第四低折射率介质膜50。其中，第一 低折射率介质膜50'、第一高折射率介质膜40'、第二低折射率介质膜30'与第二高折射率介 质膜20'构成第一复合减反膜;第三高折射率介质膜20、第三低折射率介质膜30、第四高折 射率介质膜40与第四低折射率介质膜50构成第二复合减反膜。
[0026] 所有的高折射率介质膜材料可选择相同，所有的低折射率介质膜材料可选择相 同。
[0027] 玻璃基体10可以为0.5mm以上厚的钠钙普通平板无色玻璃或低铁超白平板玻璃。 [0028]高折射率介质膜层40'、20'、20、40可以为氮化硅、氧化钛或氧化铌。
[0029]低折射率介质膜层50'、30'、30、50可以为氧化硅。
[0030]上述双面减反膜玻璃，通过控制各层介质膜的折射率及厚度搭配来满足相干干涉 条件，从而可达到降低反射率到小于1%，减反膜玻璃正面反射色a*值介于(_3，1)，反射色b* 值介于(-3，1)。
[0031]如图2所示的一实施方式的双面高折射率介质膜和低折射率介质膜为2层交替层 叠的减反膜玻璃，包括依次层叠的如下结构:第一低折射率介质膜3'、第一高折射率介质膜 2'、玻璃基体10、第二高折射率介质膜2、第二低折射率介质膜3。其中，第一低折射率介质膜 3'与第一高折射率介质膜2'构成第一复合减反膜;第二高折射率介质膜2与第二低折射率 介质膜3构成第二复合减反膜。
[0032]所有的高折射率介质膜材料可选择相同，所有的低折射率介质膜材料可选择相 同。
[0033] 玻璃基体10可以为0.5mm以上厚的钠钙普通平板无色玻璃或低铁超白平板玻璃。
[0034] 高折射率介质膜层2'、2可以为氮化硅、氧化钛或氧化铌。
[0035] 低折射率介质膜层3'、3可以为氧化硅。
[0036] 通过控制各层介质膜的折射率及厚度搭配来满足相干干涉条件，从而可达到降低 反射率到小于1.5%。
[0037] 如图3所示的一实施方式的双面高折射率介质膜和低折射率介质膜为6层交替层 叠的减反膜玻璃，包括依次层叠的如下结构:第一低折射率介质膜700'、第一高折射率介质 膜600'、第二低折射率介质膜500'、第二高折射率介质膜400'、第三低折射率介质膜300'、 第三高折射率介质膜200'，玻璃基体10、第四高折射率介质膜200、第四低折射率介质膜 300、第五高折射率介质膜400、第五低折射率介质膜500、第六高折射率介质膜600、第六低 折射率介质膜700。其中，第一低折射率介质膜700'、第一高折射率介质膜600'、第二低折射 率介质膜500'、第二高折射率介质膜400'、第三低折射率介质膜300'与第三高折射率介质 膜200 '构成第一复合减反膜;第四高折射率介质膜200、第四低折射率介质膜300、第五高折 射率介质膜400、第五低折射率介质膜500、第六高折射率介质膜600与第六低折射率介质膜 700构成第二复合减反膜。
[0038] 所有的高折射率介质膜材料可选择相同，所有的低折射率介质膜材料可选择相 同。
[0039] 玻璃基体10可以为0.5mm以上厚的钠钙普通平板无色玻璃或低铁超白平板玻璃。
[0040] 高折射率介质膜层600'、400'、200'、200、400、600可以为氮化硅、氧化钛或氧化 铌。
[0041 ] 低折射率介质膜700'、500'、300'、300、500、700可以为氧化硅。
[0042] 通过控制各层介质膜的折射率及厚度搭配来满足相干干涉条件，从而可达到降低 反射率到小于1%，减反膜玻璃全角度(从〇°到180°)反射色a*值介于(_3，1)，反射色b*值介 于(_3，1)〇
[0043] 上述双面减反膜玻璃具有比单面减反膜更低的反射率，而且在双面各减反膜玻璃 中能使反射色在全角度呈中性。
[0044] 以上所述，仅是本实用新型的较佳实施例而已，并非对本实用新型作任何形式上 的限制，虽然本实用新型已以较佳实施例揭露如上，然而并非用以限定本实用新型，任何熟 悉本专业的技术人员，在不脱离本实用新型技术方案范围内，当可利用上述揭示的技术内 容做出些许更动或修饰为等同变化的等效实施例，但凡是未脱离本实用新型技术方案内 容，依据本实用新型的技术实质对以上实施例所作的任何简单修改、等同变化与修饰，均仍 属于本实用新型技术方案的范围内。
【主权项】
1. 一种双面减反膜玻璃，其包括玻璃基体，其特征在于，该双面减反膜玻璃还包括形成 在该玻璃基体两侧的由高折射率介质膜和低折射率介质膜依次层叠的形成的多层减反膜； 在该多层减反膜中，最靠近该玻璃基体的为高折射率介质膜，远离该玻璃基体的最外层为 低折射率介质膜。2. 根据权利要求1所述的双面减反膜玻璃，其特征在于，该多层减反膜为两层减反膜、 四层减反膜或六层减反膜。3. 根据权利要求1所述的双面减反膜玻璃，其特征在于，该双面减反膜玻璃依次层叠如 下结构:第一低折射率介质膜、第一高折射率介质膜、玻璃基体、第二高折射率介质膜、第二 低折射率介质膜。4. 根据权利要求1所述的双面减反膜玻璃，其特征在于，该双面减反膜玻璃依次层叠如 下结构:第一低折射率介质膜、第一高折射率介质膜、第二低折射率介质膜、第二高折射率 介质膜、玻璃基体、第三高折射率介质膜、第三低折射率介质膜、第四高折射率介质膜、第四 低折射率介质膜。5. 根据权利要求1所述的双面减反膜玻璃，其特征在于，该双面减反膜玻璃依次层叠如 下结构:第一低折射率介质膜、第一高折射率介质膜、第二低折射率介质膜、第二高折射率 介质膜、第三低折射率介质膜、第三高折射率介质膜、玻璃基体、第四高折射率介质膜、第四 低折射率介质膜、第五高折射率介质膜、第五低折射率介质膜、第六高折射率介质膜、第六 低折射率介质膜。6. -种双面减反膜玻璃，其包括玻璃基体，其特征在于，该双面减反膜玻璃还包括形成 在该玻璃基体的两侧表面的第一复合减反膜及第二复合减反膜，该第一复合减反膜及第二 复合减反膜分别由高折射率介质膜和低折射率介质膜依次层叠的形成;在该第一复合减反 膜及第二复合减反膜中，最靠近该玻璃基体的为高折射率介质膜，远离该玻璃基体的最外 层为低折射率介质膜。7. 根据权利要求6所述的双面减反膜玻璃，其特征在于，该第一复合减反膜及第二复合 减反膜分别为两层减反膜、四层减反膜或六层减反膜。8. 根据权利要求6所述的双面减反膜玻璃，其特征在于，该双面减反膜玻璃依次层叠 如下结构:第一低折射率介质膜、第一高折射率介质膜、玻璃基体、第二高折射率介质膜、第 二低折射率介质膜，该第一低折射率介质膜与第一高折射率介质膜构成该第一复合减反 膜，该第二高折射率介质膜与该第二低折射率介质膜构成该第二复合减反膜。9. 根据权利要求6所述的双面减反膜玻璃，其特征在于，该双面减反膜玻璃依次层叠如 下结构:第一低折射率介质膜、第一高折射率介质膜、第二低折射率介质膜、第二高折射率 介质膜、玻璃基体、第三高折射率介质膜、第三低折射率介质膜、第四高折射率介质膜、第四 低折射率介质膜，该第一低折射率介质膜、该第一高折射率介质膜、该第二低折射率介质膜 与该第二高折射率介质膜构成该第一复合减反膜、该第三高折射率介质膜、该第三低折射 率介质膜、该第四高折射率介质膜与该第四低折射率介质膜构成该第二复合减反膜。10. 根据权利要求6所述的双面减反膜玻璃，其特征在于，该双面减反膜玻璃依次层叠 如下结构:第一低折射率介质膜、第一高折射率介质膜、第二低折射率介质膜、第二高折射 率介质膜、第三低折射率介质膜、第三高折射率介质膜、玻璃基体、第四高折射率介质膜、第 四低折射率介质膜、第五高折射率介质膜、第五低折射率介质膜、第六高折射率介质膜、第 六低折射率介质膜，该第一低折射率介质膜、该第一高折射率介质膜、该第二低折射率介质 膜、该第二高折射率介质膜、该第三低折射率介质膜与第三高折射率介质膜构成该第一复 合减反膜，该第四高折射率介质膜、该第四低折射率介质膜、该第五高折射率介质膜、该第 五低折射率介质膜、该第六高折射率介质膜与该第六低折射率介质膜构成该第二复合减反 膜。
【文档编号】C03C17/34GK205653344SQ201620103213
【公开日】2016年10月19日
【申请日】2016年2月2日 公开号201620103213.1, CN 201620103213, CN 205653344 U, CN 205653344U, CN-U-205653344, CN201620103213, CN201620103213.1, CN205653344 U, CN205653344U
【发明人】苏华, 于思远
【申请人】深圳新晶泉技术有限公司