专利名称：制备锍盐的方法及由此方法制备的锍盐的制作方法
技术领域：
本发明涉及制备锍盐的方法及由此方法制备的锍盐。更具体而言，本发明涉及制 备主要用在生酸剂等的制造中作为中间体的锍盐的方法，所述锍盐能够通过简化的制备工 序高产率地大量合成，还涉及由此方法制备的锍盐。
背景技术：
近年来，在使用光刻技术对半导体等进行精加工的领域中对具有较高分辨率的光 致抗蚀剂有需求。适应此需求所开发出来的化学增强光致抗蚀剂组合物含有生酸剂。为了 生成具有提高了分辨率和具有理想性能的抗蚀剂，迄今为止，已经发明了多种不同类型的 生酸剂。
例如，日本专利申请2006-257078(在下文中称为"专利文献1〃 )公开了由下式 (A)表示的生酸剂
[式A]
权利要求
1.一种制备锍盐的方法，所述方法包括使由下式(1)表示的化合物与醇和胺反应，获得铵盐；和 使所述铵盐与还原剂和无机碱反应，获得由下式( 表示的化合物 [式1]
2.如权利要求1所述的制备锍盐的方法，其中所述胺是选自伯胺、仲胺、叔胺及其组合 中的任何一种。
3.如权利要求1所述的制备锍盐的方法，其中所述醇是由下式C3)表示的化合物，且所 述胺是由下式(4)表示的化合物[式3] R3OH [式4] NR4R5R6其中在式⑶和⑷中，R3表示选自烷基、环烷基、杂环烷基、烷氧基、芳基和杂芳基中的任何一种； R4至&各独立地表示烷基、环烷基、杂环烷基、芳基和杂芳基；且 当&和&为烷基时，它们可连接在一起形成烃环。
4.如权利要求3所述的制备锍盐的方法，其中所述铵盐是由下式(5)表示的化合物 [式5]N+R3R4R5Re-O Qz其中R1表示选自卤素原子、羟基、羧基、腈基、醛基、环氧基、烷基、环烷基、杂环烷基、芳基和杂芳基中的任何一种；Q1和A各独立地表示选自氢原子、卤素原子和全氟烷基中的任何一种； R3表示选自烷基、环烷基、杂环烷基、烷氧基、芳基和杂芳基中的任何一种； R4至&各独立地表示选自烷基、环烷基、杂环烷基、芳基和杂芳基中的任何一种； 当&和&为烷基时，它们可连接在一起形成烃环，且 η是1-10的整数。
5.如权利要求1所述的制备锍盐的方法，其中所述醇是选自甲醇、乙醇、丙醇、异丙醇、 正丁醇、异丁醇、叔丁醇、氧代丁醇、十一醇、羟基癸醇、庚醇、2-甲基-1-戊醇、烯丙醇、乙氧 羰基甲醇、甲氧基乙醇、1-甲氧基-2-丙醇、苄醇、苯乙醇、环己醇、薄荷醇、四氢糠醇、四氢 吡喃醇、氰基丁醇、4-羟基-2- 丁酮及其组合中的任何一种。
6.如权利要求1所述的制备锍盐的方法，其中所述还原剂是选自(CH2)40、NaBH4、 LiAlH4, BH3-THF, NaBH4-AlCl3^ NaBH4-LiCl、LiAl (OMe) 3 及其组合中的任何一种。
7.如权利要求1所述的制备锍盐的方法，其中所述无机碱是由选自碱金属和碱土金属 中的任何一种阳离子和选自硫酸根离子、硝酸根离子、氯离子、溴离子、碘离子和硫氰酸根 离子中的任何一种阴离子形成的盐。
8.由权利要求1-7中任一项所述的制备锍盐的方法制备的锍盐。
全文摘要
本发明涉及制备锍盐的方法及由此方法制备的锍盐。所述制备锍盐的方法包括使由下式(1)表示的化合物与醇和胺反应获得铵盐的第一步骤和使所述铵盐与还原剂和无机碱反应获得由下式(2)表示的化合物的第二步骤[式1][式2]在式(1)和(2)中，R1和R2各独立地表示选自卤素原子、羟基、羧基、腈基、醛基、环氧基、烷基、环烷基、杂环烷基、芳基和杂芳基中的任何一种；Q1和Q2各独立地表示选自氢原子、卤素原子和全氟烷基中的任何一种；M表示选自Li、Na、K和Ag中的任何一种；且n是1-10的整数。该制备锍盐的方法涉及简单的反应步骤，无需纯化工序，且不产生反应中间物质在纯化工序中粘附至反应容器导致产率降低的问题。
文档编号C07C303/32GK102030686SQ201010285269
公开日2011年4月27日 申请日期2010年9月16日 优先权日2009年10月1日
发明者吴贞薰, 尹盛俊, 朴相昱, 李承宰, 韩俊熙, 高成保 申请人:锦湖石油化学株式会社