专利名称：超净高纯级三氯乙烯提取装置的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种超净高纯级三氯乙烯提取装置，属于电子化学品生产设备技 术领域。
背景技术：
三氯乙烯在电子化学品领域，作为清洗去油剂使用，是油脂、腊、松香的良好溶剂。 使用时，需要对市售的工业级三氯乙烯进行提纯。一般的三氯乙烯提纯是采用电或蒸汽加 热常压蒸馏。这种加热常压蒸馏的方法，容易使物质在共沸腾温度时分解。因三氯乙烯是 极易分解的化学品，受热分解产生氯化氢，且分解后迅速氧化产生氯化醛和大量的氯离子， 对电子工业半导体集成电路工艺的质量造成很大的影响。
发明内容本实用新型的目的在于克服上述不足，提供一种能减少三氯乙烯受热分解的超净
高纯级三氯乙烯提取装置。本实用新型的目的是这样实现的一种超净高纯级三氯乙烯提取装置，其特征在 于它包括原料罐、精馏釜塔、第一冷凝器、第二冷凝器、第三冷凝器、残液接收罐、成品罐、 缓冲罐和真空泵；所述原料罐出口与精馏釜塔的釜身进口相连，所述精馏釜塔的塔身顶端出口依次 串联有第一冷凝器和第二冷凝器，所述第二冷凝器出口与缓冲罐进口相连，所述缓冲罐出 口与真空泵相连；所述精馏釜塔的塔身上方侧出口与第三冷凝器进口相连，所述第三冷凝器出口分 别与残液接收罐和成品罐进口相连，所述残液接收罐和成品罐顶端气体出口分别与所述缓 冲罐进口相连；所述残液接收罐底端出口与所述精馏釜塔的塔身下方侧进口相连。本实用新型的有益效果是本实用新型超净高纯级三氯乙烯提取装置，采用真空减压蒸馏的方式进行提纯，有 效避免了三氯乙烯因过热分解，制备的超净高纯级三氯乙烯可满足微电子领域使用要求。
图1为本实用新型超净高纯级三氯乙烯提取装置的结构示意图。其中原料罐1、精馏釜塔2、第一冷凝器3、第二冷凝器4、第三冷凝器5、残液接收罐6、 成品罐7、缓冲罐8、真空泵9。
具体实施方式
参见图1，本实用新型涉及的一种超净高纯级三氯乙烯提取装置，主要由原料罐1、精馏釜塔2、第一冷凝器3、第二冷凝器4、第三冷凝器5、残液接收罐6、成品罐7、缓冲罐 8和真空泵9组成；所述精馏釜塔2包括下部的釜身和上部的塔身；所述原料罐1出口与所述精馏釜塔2的釜身进口相连，所述精馏釜塔2的塔身顶 端出口依次串联有第一冷凝器3和第二冷凝器4，所述第二冷凝器4出口与缓冲罐8进口相 连，所述缓冲罐8出口与真空泵9相连；所述精馏釜塔2的塔身上方侧出口与第三冷凝器5进口相连，所述第三冷凝器5 出口分别与残液接收罐6和成品罐7进口相连，所述残液接收罐6和成品罐7顶端气体出 口分别与所述缓冲罐8进口相连；所述残液接收罐6底端出口与所述精馏釜塔2的塔身下方侧进口相连。采用本实用新型装置制备的超净高纯级三氯乙烯，纯度可达99. 5%以上。
权利要求一种超净高纯级三氯乙烯提取装置，其特征在于它包括原料罐(1)、精馏釜塔(2)、第一冷凝器(3)、第二冷凝器(4)、第三冷凝器(5)、残液接收罐(6)、成品罐(7)、缓冲罐(8)和真空泵(9)；所述原料罐(1)出口与精馏釜塔(2)的釜身进口相连，所述精馏釜塔(2)的塔身顶端出口依次串联有第一冷凝器(3)和第二冷凝器(4)，所述第二冷凝器(4)出口与缓冲罐(8)进口相连，所述缓冲罐(8)出口与真空泵(9)相连；所述精馏釜塔(2)的塔身上方侧出口与第三冷凝器(5)进口相连，所述第三冷凝器(5)出口分别与残液接收罐(6)和成品罐(7)进口相连，所述残液接收罐(6)和成品罐(7)顶端气体出口分别与所述缓冲罐(8)进口相连；所述残液接收罐(6)底端出口与所述精馏釜塔(2)的塔身下方侧进口相连。
专利摘要本实用新型涉及一种超净高纯级三氯乙烯提取装置，其特征在于它包括原料罐(1)、精馏釜塔(2)、第一冷凝器(3)、第二冷凝器(4)、第三冷凝器(5)、残液接收罐(6)、成品罐(7)、缓冲罐(8)和真空泵(9)；原料罐(1)出口与精馏釜塔(2)的釜身进口相连，精馏釜塔(2)的塔身顶端出口依次串联有第一冷凝器(3)和第二冷凝器(4)，第二冷凝器(4)出口与缓冲罐(8)进口相连，缓冲罐(8)出口与真空泵(9)相连；精馏釜塔(2)的塔身上方侧出口与第三冷凝器(5)进口相连，第三冷凝器(5)出口分别与残液接收罐(6)和成品罐(7)进口相连，残液接收罐(6)和成品罐(7)顶端气体出口分别与缓冲罐(8)进口相连。它采用真空减压蒸馏的方式进行提纯，有效避免了三氯乙烯因过热分解。
文档编号C07C21/10GK201768391SQ201020281590
公开日2011年3月23日 申请日期2010年8月2日 优先权日2010年8月2日
发明者戈士勇 申请人:江阴市润玛电子材料有限公司