专利名称：金属有机化合物与乙醚配合物的解配方法
技术领域：
本方法涉及一种配合物的解配方法，尤其涉及金属有机物与乙醚配合物的解配方法。
背景技术：
化合物半导体超薄型膜材料是制备新型光电半导体化合物材料的基础源材料，广泛应用于金属有机化学气相沉积工艺和金属有机 分子束外延(简称M0MBE)等技术中。三甲基镓、三甲基铝、三甲基铟(MO源)是制造光电化合物半导体材料的主要金属源。尽管业界对制备MO源有一定研究，但是MO源的纯度是其高品质的关键。由此在提纯的方法上有待于改进。
发明内容
鉴于现有技术的不足，本发明提供了一种金属有机化合物与乙醚配合物的解配方法，其能简化工艺且易于控制。为了实现本发明的目的，本发明提供一种金属有机化合物与乙醚配合物的解配方法，包括步骤步骤一将原料置于充满惰性气体的解配釜中，所述原料含有MO源与乙醚的配合物；在搅拌条件下将选自胺类化合物或高聚醚的配体物加入解配釜中；加入配体物之后，发生置换反应，以获得配体物与MO源配合物；将解配釜置换反应形成的乙醚蒸出并冷凝回收；步骤二 将解配釜中未反应的MO源与乙醚的配合物蒸发并冷凝回收；步骤三将解配釜中的配体物与MO源配合物进行解配，解配后得到的配体物留在解配釜中，MO源以气态形式溢出，且冷凝回收；步骤四将解配后的留在解配釜中的配体物进行蒸发并冷凝回收。本发明的有益效果如下。本发明提供的金属有机化合物与乙醚配合物的解配方法，其能简化工艺且易于控制，原料易得且回收率高，产品纯度高，非常适合大规模工业化生产。
具体实施例方式首先说明根据本发明的金属有机物与乙醚配合物的解配方法。根据本发明的金属有机化合物与乙醚配合物的解配方法，包括步骤步骤一将原料置于充满惰性气体的解配釜中，所述原料含有MO源与乙醚的配合物；在搅拌条件下将选自胺类化合物或高聚醚的配体物加入解配釜中；加入配体物之后，发生置换反应，以获得配体物与MO源配合物；将解配釜置换反应形成的乙醚蒸出并冷凝回收；步骤二 将解配釜中未反应的MO源与乙醚的配合物蒸发并冷凝回收；步骤三将解配釜中的配体物与MO源配合物进行解配，解配后得到的配体物留在解配釜中，MO源以气态形式溢出，且冷凝回收；步骤四将解配后的留在解配釜中的配体物进行蒸发并冷凝回收。在根据本发明所述的金属有机化合物与乙醚配合物的解配方法中，优选地，所述惰性气体为氮气、氩气或氦气。在根据本发明所述的金属有机化合物与乙醚配合物的解配方法中，优选地，所述MO源为三甲基镓或三甲基铝或三甲基铟；所述胺类化合物为三正丁胺、乙二胺、二异丙胺；所述高聚醚为聚乙二醇二甲醚(CH3O (CH2CH2O) nCH3，n=3 8)。在根据本发明所述的金属有机化合物与乙醚配合物的解配方法中，优选地，还包括中间步骤在步骤二之后且在步骤三之前，将解配釜中未反应的配体物蒸发且冷凝回收。在根据本发明所述的金属有机化合物与乙醚配合物的解配方法中，优选地，还包括步骤在步骤四之后，重复步骤三和步骤四至少一次。在根据本发明所述的金属有机化合物与乙醚配合物的解配方法中，优选地，在步骤一中，将解配釜置换反应形成的乙醚蒸出时温度为5(T80°C且压力为常压、或者温度为5(T80°C下且真空度为50 70KPa。 在根据本发明所述的金属有机化合物与乙醚配合物的解配方法中，优选地，在步骤二中，将解配釜中未反应的MO源与乙醚的配合物蒸发时温度为6(T80°C、真空度为0.8 3KPa。在根据本发明所述的金属有机化合物与乙醚配合物的解配方法中，优选地，在步骤三中，将解配釜中的配体物与MO源配合物进行解配时温度为13(Tl7(TC、真空度为7 20KPa。在根据本发明所述的金属有机化合物与乙醚配合物的解配方法中，优选地，在步骤四中，将解配后的留在解配釜中的配体物进行蒸发时温度为6(T90°C、真空度为
0.7 lKPa。在根据本发明所述的金属有机化合物与乙醚配合物的解配方法中，优选地，在所述中间步骤中，将解配釜中未反应的配体物蒸发时温度为80°C、真空度为0. 7KPa。其次说明根据本发明所述的金属有机化合物与乙醚配合物的解配方法的实施例。实施例I往充满氮气的解配釜中加入1470g乙醚与三甲基镓的配合物，在搅拌条件下，逐步加入1620g三正丁胺,升温至70°C,抽真空减压至60KPa,蒸发冷凝回收到270g乙醚；将解配釜升温至80°C，抽真空减压至lKPa，蒸发冷凝回收到300g乙醚与三甲基镓的配合物；将解配釜升温至150°C，抽真空至为20KPa，三甲基镓经解配后以气态形式溢出并在收集罐中冷凝收集到600g三甲基镓；将解配釜的温度降至80°C，抽真空至0. 7KPa，蒸发冷凝回收到IOOOg三正丁胺；将解配釜升温至150°C，抽真空至20KPa，三甲基镓经解配后以气态形式溢出并在收集罐中冷凝收集到240g三甲基镓；将解配釜的温度降至80°C，抽真空至0. 7KPa，蒸发冷凝回收到600g三正丁胺。实施例2往充满氮气的解配釜中加入1470g乙醚与三甲基镓的配合物，在搅拌条件下，逐步加入1620g乙二胺，升温至70°C，常压下蒸发冷凝回收到220g乙醚；将解配釜升温至80°C，抽真空减压至lKPa，蒸发冷凝回收到330g乙醚与三甲基镓的配合物；
将解配釜升温至150°C，抽真空至20KPa，三甲基镓解配后以气态形式溢出并在收集罐中冷凝收集到590g三甲基镓；将解配釜的温度降至80°C，抽真空至0. 8KPa，蒸发冷凝回收IOOOg乙二胺；将解配釜升温至150°C，抽真空至为20KPa，三甲基镓经解配后以气态形式溢出并在收集罐中冷凝收集到200g三甲基镓；将解配釜的温度降至80°C，抽真空至0. 7KPa，蒸发冷凝回收到600g乙二胺。实施例3往充满氩气的解配釜中加入1250g乙醚与三甲基铝的配合物，在搅拌条件下，逐步加入1600g三正丁胺，升温至80°C，常压下蒸发冷凝回收到300g乙醚； 将解配釜保持在80°C，抽真空减压至2KPa并蒸发冷凝回收到260g乙醚与三甲基铝的配合物；将解配釜升温至160°C，抽真空至为15KPa，三甲基铝经解配后以气态形式溢出并在收集罐中冷凝收集到460g三甲基铝；将解配釜的温度降至80°C，抽真空至0. 7KPa，蒸发冷凝回收到IlOOg三正丁胺；将解配釜升温至170°C，抽真空至为lOKPa，三甲基铝经解配后以气态形式溢出并在收集罐中冷凝收集到200g三甲基铝；将解配釜的温度降至70°C，抽真空至0. 8KPa，蒸发冷凝回收到450g三正丁胺。实施例4往充满氦气的解配釜中加入1530g乙醚与三甲基铟的配合物，在搅拌条件下，逐步加入ISOOg三正丁胺，升温至50°C，常压下蒸发回收300g乙醚后；将解配釜升温至80°C，抽真空减压至lKPa，蒸发冷凝回收到300g乙醚与三甲基铟的配合物；将解配釜的温度保持在80°C，抽真空至0. 7KPa，蒸发回收230g三正丁胺。将解配釜升温至160°C，抽真空至为15KPa，三甲基铟经解配后以气态形式溢出并在收集罐中冷凝收集到600g三甲基铟；将解配釜的温度降至80°C，抽真空至0. 9KPa，蒸发冷凝回收到920g三正丁胺；将解配釜升温至170°C，抽真空至为lOKPa，三甲基铟经解配后以气态形式溢出并在收集罐中冷凝收集到130g三甲基铟；将解配釜的温度降至60°C，抽真空至I. OKPa,蒸发冷凝回收到620g三正丁胺。实施例5往充满氩气的解配釜中加入1470g乙醚与三甲基镓的配合物，在搅拌条件下，逐步加入1700g乙二胺,升温至80°C,抽真空减压至60KPa,蒸发冷凝回收到270g乙醚；将解配釜保持在80°C，抽真空减压至3KPa，蒸发冷凝回收到280g乙醚与三甲基镓的配合物；将解配釜升温至150°C，抽真空至为20KPa，三甲基镓经解配后以气态形式溢出并在收集罐中冷凝收集到530g三甲基镓；将解配爸的温度降至60°C,抽真空至IKPa,蒸发冷凝回收到IlOOg乙二胺；将解配釜升温至150°C，抽真空至为20KPa，三甲基镓经解配后以气态形式溢出并在收集罐中冷凝收集到180g三甲基镓；
将解配爸的温度降至70°C,抽真空至0. 7KPa,蒸发冷凝回收到580g乙二胺。实施例6往充满氦气的解配釜中加入1470g乙醚与三甲基镓的配合物，在搅拌条件下，逐步加入1700g 二异丙胺,升温至50°C,抽真空减压至60KPa,蒸发冷凝回收到250g乙醚；将解配釜升温至60°C，抽真空减压至3KPa，蒸发回收到300g乙醚与三甲基镓的配合物；将解配釜升温至130°C，抽真空至为20KPa，三甲基镓经解配后以气态形式溢出并在收集罐中冷凝收集到450g三甲基镓；将解配釜的温度降至60°C，抽真空至lKPa，蒸发冷凝回收到1120g 二异丙胺；将解配釜升温至140°C，抽真空至为lOKPa，三甲基镓经解配后以气态形式溢出并在收集罐中冷凝收集到190g三甲基镓；·将解配爸的温度降至70°C,抽真空至0. 7KPa,蒸发冷凝回收到540g 二异丙胺。实施例7往充满氮气的解配釜中加入1470g乙醚与三甲基镓的配合物，在搅拌条件下，逐步加入1700g聚乙二醇二甲醚(CH3O (CH2CH2O)nCH3,n=4),升温至60°C，抽真空减压至70KPa，蒸发冷凝回收到280g乙醚；将解配爸升温至70°C,抽真空减压至0. 8KPa,蒸发冷凝回收到300g乙醚与三甲基镓的配合物；将解配釜升温至130°C，抽真空至为12KPa，三甲基镓经解配后以气态形式溢出并在收集罐中冷凝收集到530g三甲基镓；将解配釜的温度降至90°C，抽真空至0. 8KPa，蒸发冷凝回收到1200g聚乙二醇二甲醚；将解配釜升温至130°C，抽真空至为lOKPa，三甲基镓经解配后以气态形式溢出并在收集罐中冷凝收集到210g三甲基镓；将解配釜的温度降至60°C，抽真空至lKPa，蒸发冷凝回收到480g聚乙二醇二甲醚。实施例8往充满氮气的解配釜中加入1500g乙醚与三甲基铟的配合物，在搅拌条件下，逐步加入1700g聚乙二醇二甲醚(CH3O (CH2CH2O)nCH3，n=3)，升温至60°C，抽真空减压至70KPa，蒸发冷凝回收到260g乙醚；将解配釜升温至70°C，抽真空减压至0. 8KPa，蒸发冷凝回收到280g乙醚与三甲基铟的配合物；将解配釜升温至130°C，抽真空至为12KPa，三甲基铟经解配后以气态形式溢出并在收集罐中冷凝收集到540g三甲基铟；将解配釜的温度降至80°C，抽真空至lKPa，蒸发冷凝回收到1180g聚乙二醇二甲醚；将解配釜升温至130°C，抽真空至为8KPa，三甲基铟经解配后以气态形式溢出并在收集罐中冷凝收集到230g三甲基铟；将解配釜的温度降至60°C，抽真空至0. 7KPa，蒸发冷凝回收到500g聚乙二醇二甲醚。实施例9往充满氮气的解配釜中加入1470g乙醚与三甲基镓的配合物，在搅拌条件下，逐步加入1700g聚乙二醇二甲醚(CH3O (CH2CH2O)nCH3，n=8)，升温至60°C，抽真空减压至50KPa，蒸发冷凝回收到260g乙醚；将解配釜保持在60°C，抽真空减压至lKPa，蒸发冷凝回收到300g乙醚与三甲基镓的配合物；将解配釜升温至130°C，抽真空至为15KPa，三甲基镓经解配后以气态形式溢出并在收集罐中冷凝收集到530g三甲基镓；
将解配釜的温度降至70°C，抽真空至lKPa，蒸发冷凝回收到1150g聚乙二醇二甲醚；将解配釜升温至130°C，抽真空至为8KPa，三甲基镓经解配后以气态形式溢出并在收集罐中冷凝收集到220g三甲基镓；将解配釜的温度降至60°C，抽真空至0. 8KPa，蒸发冷凝回收到520g聚乙二醇二甲醚。实施例10往充满氮气的解配釜中加入1500g乙醚与三甲基铝的配合物，在搅拌条件下，逐步加入1700g聚乙二醇二甲醚(CH3O (CH2CH2O)nCH3,n=4),升温至60°C，抽真空减压至60KPa，蒸发冷凝回收到270g乙醚；将解配爸升温至80°C,抽真空减压至0. 9KPa,蒸发冷凝回收到300g乙醚与三甲基铝的配合物；将解配釜升温至140°C，抽真空至为lOKPa，三甲基铝经解配后以气态形式溢出并在收集罐中冷凝收集到520g三甲基铝；将解配釜的温度降至80°C，抽真空至lKPa，蒸发冷凝回收到1150g聚乙二醇二甲醚；将解配釜升温至140°C，抽真空至为7KPa，三甲基铝经解配后以气态形式溢出并在收集罐中冷凝收集到210g三甲基铝；将解配釜的温度降至60°C，抽真空至0. 7KPa，蒸发冷凝回收到480g聚乙二醇二甲醚。最后说明实施例1-10的检测结果。通过ICP-0ES，核磁共振检测出MO源的收率。表I给出了实施例1_10的检测结果。表I实施例1-10的检测结果
权利要求
1.一种金属有机化合物与乙醚配合物的解配方法，包括步骤 步骤一将原料置于充满惰性气体的解配釜中，所述原料含有MO源与乙醚的配合物；在搅拌条件下将选自胺类化合物或高聚醚的配体物加入解配釜中；加入配体物之后，发生置换反应，以获得配体物与MO源配合物；将解配釜置换反应形成的乙醚蒸出并冷凝回收； 步骤二 将解配釜中未反应的MO源与乙醚的配合物蒸发并冷凝回收； 步骤三将解配釜中的配体物与MO源配合物进行解配，解配后得到的配体物留在解配釜中，MO源以气态形式溢出，且冷凝回收； 步骤四将解配后的留在解配釜中的配体物进行蒸发并冷凝回收。
2.根据权利要求I所述的金属有机化合物与乙醚配合物的解配方法，其特征在于，所述惰性气体为氮气、氩气或氦气。
3.根据权利要求I所述的金属有机化合物与乙醚配合物的解配方法，其特征在于， 所述MO源为三甲基镓或三甲基铝或三甲基铟； 所述胺类化合物为三正丁胺、乙二胺、二异丙胺； 所述高聚醚为聚乙二醇二甲醚(CH3O (CH2CH2O) nCH3，n=3^8)。
4.根据权利要求I所述的金属有机化合物与乙醚配合物的解配方法，其特征在于，还包括中间步骤在步骤二之后且在步骤三之前，将解配釜中未反应的配体物蒸发且冷凝回收。
5.根据权利要求I所述的金属有机化合物与乙醚配合物的解配方法，其特征在于，还包括步骤在步骤四之后，重复步骤三和步骤四至少一次。
6.根据权利要求I所述的金属有机化合物与乙醚配合物的解配方法，其特征在于，在步骤一中，将解配釜置换反应形成的乙醚蒸出时温度为5(T80°C且压力为常压、或者温度为5(T80°C下且真空度为50 70KPa。
7.根据权利要求I所述的金属有机化合物与乙醚配合物的解配方法，其特征在于，在步骤二中，将解配釜中未反应的MO源与乙醚的配合物蒸发时温度为6(T80°C、真空度为0.8 3KPa。
8.根据权利要求I所述的金属有机化合物与乙醚配合物的解配方法，其特征在于，在步骤三中，将解配釜中的配体物与MO源配合物进行解配时温度为13(Tl70°C、真空度为7 20KPa。
9.根据权利要求I所述的金属有机化合物与乙醚配合物的解配方法，在步骤四中，将解配后的留在解配釜中的配体物进行蒸发时温度为6(T90°C、真空度为0. 7 lKPa。
10.根据权利要求5所述的金属有机化合物与乙醚配合物的解配方法，其特征在于，在所述中间步骤中，将解配釜中未反应的配体物蒸发时温度为80°C、真空度为0. 7KPa。
全文摘要
本发明提供一种金属有机化合物与乙醚配合物的解配方法，包括步骤将原料置于充满惰性气体的解配釜中，所述原料含有MO源与乙醚的配合物；在搅拌条件下将选自胺类化合物或高聚醚的配体物加入解配釜中；加入配体物之后，发生置换反应，以获得配体物与MO源配合物；将解配釜置换反应形成的乙醚蒸出并冷凝回收；将解配釜中未反应的MO源与乙醚的配合物蒸发并冷凝回收；将解配釜中的配体物与MO源配合物进行解配，解配后得到的配体物留在解配釜中，MO源以气态形式溢出，且冷凝回收；将解配后的留在解配釜中的配体物进行蒸发并冷凝回收。所述解配方法能简化工艺且易于控制，原料易得且回收率高，产品纯度高，非常适合大规模工业化生产。
文档编号C07C43/06GK102718784SQ20121023265
公开日2012年10月10日 申请日期2012年7月5日 优先权日2012年7月5日
发明者刘留, 朱世会, 朱世明, 朱刘 申请人:广东先导稀材股份有限公司