树脂组合物、树脂片、多层印刷电路板和半导体装置的制作方法

本发明涉及树脂组合物、树脂片、多层印刷电路板和半导体装置。

背景技术：

1、由于多层印刷电路板的小型化和高密度化，正在积极研究对多层印刷电路板中使用的层叠板进行薄型化。伴随薄型化，对绝缘层也要求薄型化，寻求不含玻璃布的树脂片。关于成为绝缘层的材料的树脂组合物，热固性树脂是主流，用于在绝缘层间获得导通的开孔通常通过激光加工来进行。

2、另一方面，利用激光加工的开孔具有如下问题：越是孔数多的高密度基板，加工时间越长。因此，近年来，要求如下的树脂片：使用能通过光线等的照射使曝光部固化(曝光工序)并且去除未曝光部(显影工序)的树脂组合物，从而能够通过曝光和显影工序来一次性进行开孔加工。

3、作为曝光的方法，使用以汞灯为光源且隔着光掩模进行曝光的方法，要求能够在该汞灯的光源下适宜地曝光的材料。该以汞灯为光源的曝光法使用ghi混合射线(g射线的波长436nm、h射线的波长405nm、i射线的波长365nm)等，可以选择通用的光固化引发剂。另外，近年来，作为曝光法，基于图案的数字数据以不隔着光掩模的方式直接描绘于感光性树脂组合物层的直接描绘曝光法的引入也正在推进。该直接描绘曝光法与隔着光掩模的曝光法相比，位置对准精度良好且可得到高精细的图案，因此在需要进行高密度的布线形成的基板中，其导入尤其得以推进。该光源使用激光等单色光，其中在能形成高精细的抗蚀图案的dmd(数字微镜设备；digital micro mirror device)方式的装置中，使用波长405nm(h射线)的光源。

4、作为显影方法，从得到高精细的图案的方面出发，使用了碱显影。

5、专利文献1中，作为在层叠板、树脂片中使用的感光性的树脂组合物，记载了包含双马来酰亚胺化合物(固化性树脂)和光自由基聚合引发剂(固化剂)的树脂组合物。

6、另外，专利文献2中有关于如下的树脂组合物的记载，即，所述树脂组合物包含：在使双马来酰亚胺与单胺反应后使酸酐反应而得到的含多元羧基化合物、以及环氧树脂等固化性树脂。此外，专利文献2中有关于能够得到具有碱显影性的固化物的含多元羧基化合物的记载。

7、现有技术文献

8、专利文献

9、专利文献1：wo2018/56466a1

10、专利文献2：日本特开2015-229734公报

技术实现思路

1、发明要解决的问题

2、然而，专利文献1中，使用了双马来酰亚胺化合物作为固化性树脂，但通常马来酰亚胺化合物的透光性差，因此若包含马来酰亚胺化合物，则光无法充分到达至光固化引发剂，光固化引发剂难以产生自由基，其反应性非常低。因此，专利文献1中，通过在显影前进行追加加热而使马来酰亚胺化合物固化，但是，由于伴有加热，因而得不到高精细的抗蚀图案。另外，专利文献1中记载的树脂组合物原本碱显影性就不充分，因此在显影后也残留未曝光的树脂组合物。因此，从这一点出发，专利文献1中也得不到高精细的抗蚀图案，无法用于制造高密度印刷电路板。

3、另外，专利文献2中记载的含多元羧基化合物必须在使双马来酰亚胺与单胺反应后使酸酐反应来获得，因此工序繁杂。另外，使用芳香族胺化合物作为单胺，因此该含多元羧基化合物在其结构中包含具有芳香环的酰胺基。因此，该含多元羧基化合物由于透光性差、妨碍光固化反应，因此实际上难以用于感光性树脂组合物。

4、于是，本发明是鉴于这种现有技术的课题而做出的，提供在用于制作多层印刷电路板时在曝光工序中不妨碍光固化反应，在显影工序中能够赋予优异碱显影性的树脂组合物、树脂片、多层印刷电路板和半导体装置。

5、用于解决问题的方案

6、本发明人等进行了深入研究，结果发现：通过在制作多层印刷电路板的曝光工序和显影工序中，使用含有特定的包含羧基的化合物(a)和除化合物(a)之外的包含1个以上羧基的化合物(b)的树脂组合物，从而能够适合地获得固化物而不妨碍光固化反应，且能够对树脂组合物赋予优异的碱显影性，由此完成了本发明。

7、即，本发明包括以下的内容。

8、[1]一种树脂组合物，其包含：

9、下述式(1)所示的化合物(a)；以及

10、除下述式(1)所示的化合物(a)之外的包含1个以上羧基的化合物(b)。

11、

12、(式(1)中，r1各自独立地表示下述式(2)所示的基团或氢原子。r2各自独立地表示氢原子、或者碳原子数1～6的直链状烷基或支链状烷基。其中，至少1个r1为下述式(2)所示的基团。)

13、

14、(式(2)中，-*表示原子键。)。

15、[2]根据[1]所述的树脂组合物，其中，前述式(1)中，至少1个前述r1为下述式(3)所示的基团。

16、

17、(式(3)中，-*表示原子键。)。

18、[3]根据[1]或[2]所述的树脂组合物，其还包含马来酰亚胺化合物(c)。

19、[4]根据[1]～[3]中任一项所述的树脂组合物，其还包含光固化引发剂(d)。

20、[5]根据[1]～[4]中任一项所述的树脂组合物，其中，前述包含1个以上羧基的化合物(b)包含选自由芳香族多羧酸的完全氢化物的酸酐、芳香族多羧酸的部分氢化物的酸酐和酸改性环氧(甲基)丙烯酸酯组成的组中的至少1种。

21、[6]根据[3]所述的树脂组合物，其中，前述马来酰亚胺化合物(c)包含双马来酰亚胺化合物(c1)，所述双马来酰亚胺化合物(c1)包含下述式(4)所示的结构单元和位于分子链的两末端的马来酰亚胺基。

22、

23、(式(4)中，r3表示碳原子数1～16的直链状亚烷基或支链状亚烷基、或者碳原子数2～16的直链状亚烯基或支链状亚烯基。r4表示碳原子数1～16的直链状亚烷基或支链状亚烷基、或者碳原子数2～16的直链状亚烯基或支链状亚烯基。r5各自独立地表示氢原子、碳原子数1～16的直链状烷基或支链状烷基、或者碳原子数2～16的直链状烯基或支链状烯基。n1各自独立地表示1～10的整数。)

24、[7]一种树脂片，其具有支承体和配置在前述支承体的单面或两面上的树脂层，前述树脂层包含[1]～[6]中任一项所述的树脂组合物。

25、[8]根据[7]所述的树脂片，其中，前述树脂层的厚度为1～50μm。

26、[9]一种多层印刷电路板，其具有绝缘层和形成在前述绝缘层的单面或两面上的导体层，前述绝缘层包含[1]～[6]中任一项所述的树脂组合物。

27、[10]一种半导体装置，其包含[1]～[6]中任一项所述的树脂组合物。

28、发明的效果

29、根据本发明的树脂组合物，在制作多层印刷电路板的曝光工序和显影工序中，能够适合地获得固化物而不妨碍光固化反应，且能够赋予优异的碱显影性。

技术特征：

1.一种树脂组合物，其包含：

2.根据权利要求1所述的树脂组合物，其中，所述式(1)中，至少1个所述r1为下述式(3)所示的基团，

3.根据权利要求1所述的树脂组合物，其还包含马来酰亚胺化合物(c)。

4.根据权利要求1所述的树脂组合物，其还包含光固化引发剂(d)。

5.根据权利要求1所述的树脂组合物，其中，所述包含1个以上羧基的化合物(b)包含选自由芳香族多羧酸的完全氢化物的酸酐、芳香族多羧酸的部分氢化物的酸酐和酸改性环氧(甲基)丙烯酸酯组成的组中的至少1种。

6.根据权利要求3所述的树脂组合物，其中，所述马来酰亚胺化合物(c)包含双马来酰亚胺化合物(c1)，所述双马来酰亚胺化合物(c1)包含下述式(4)所示的结构单元和位于分子链的两末端的马来酰亚胺基，

7.一种树脂片，其具有支承体和配置在所述支承体的单面或两面上的树脂层，

8.根据权利要求7所述的树脂片，其中，所述树脂层的厚度为1～50μm。

9.一种多层印刷电路板，其具有绝缘层和形成在所述绝缘层的单面或两面上的导体层，

10.一种半导体装置，其包含权利要求1所述的树脂组合物。

技术总结
提供在用于制作多层印刷电路板时在曝光工序中不妨碍光固化反应，在显影工序中能够赋予优异碱显影性的树脂组合物、树脂片、多层印刷电路板和半导体装置。本发明的树脂组合物包含下述式(1)所示的化合物(A)、以及除下述式(1)所示的化合物(A)之外的包含1个以上羧基的化合物(B)。(式(1)中，R1各自独立地表示下述式(2)所示的基团或氢原子。R2各自独立地表示氢原子、或者碳原子数1～6的直链状烷基或支链状烷基。其中，至少1个R1为下述式(2)所示的基团。)(式(2)中，‑*表示原子键。)。

技术研发人员：熊泽优音,片桐俊介,铃木卓也
受保护的技术使用者：三菱瓦斯化学株式会社
技术研发日：
技术公布日：2024/2/6