专利名称：涂敷装置的制作方法
技术领域：
本发明涉及对玻璃基板、半导体晶片等的基板涂敷显影液、清洗剂、SOG溶液及抗蚀剂等的涂敷装置。
背景技术：
在液晶(LCD)、PDP(等离子显示器)、半导体元件等的制造过程中，为了在基板上形成各种保护膜，或者涂敷清洗剂或显影液，而使用涂敷装置。
作为以往的涂敷装置，例如，如专利文献1所示，已知有如下涂敷装置从喷嘴向基板中心滴下涂敷液，然后用使基板旋转所产生的离心力在基板上均匀地涂敷涂敷液的旋转涂敷类型，或者是通过喷雾在基板上均匀地涂敷的类型。
在这样的旋转涂敷类型和喷雾类型中，被涂敷在基板上的有效的涂敷液的量较少而浪费很多。
另一方面，作为没有浪费涂敷液的涂敷装置，有在专利文献2所公开的辊涂。然而，在辊涂中存在难以均匀涂敷的问题。
于是，作为可以减小涂敷液的浪费且均匀地涂敷的装置，使用如专利文献3和专利文献4所公开的将狭缝喷嘴和旋转组合了的装置。该装置利用狭缝喷嘴在基板表面涂敷某种程度厚度的涂敷液，其后使该基板旋转，由此力求实现涂敷液厚度的均匀化。
再有，对于组装到液晶显示装置的玻璃基板而言，在较大的玻璃基板上形成保护膜，其后根据各液晶面板的大小来切割，这样对提高生产率是有利的。
从这种理由来看，近年来趋于基板的大型化(一边的长度超过1m的矩形)，但是如果基板尺寸的大型化进一步发展，则使基板旋转变得困难。
即，使一边边长超过1m的矩形的基板以数千转/分的速度旋转，这使得装置的构造变得极其复杂，且如果考虑到基板的破损等情况，则对于使大型基板进行高速旋转而言，不利之处较多。
于是，最近正在逐渐从以往的将狭缝喷嘴和旋转组合了的装置，过渡为省去使基板旋转的机构的装置，即如专利文献5～7所述，仅采用狭缝喷嘴(非旋转法)的装置。
专利文献1JP特开平4-341367号公报专利文献2JP特开昭63-246820号公报专利文献3JP特开昭61-65435号公报专利文献4JP特开昭63-156320号公报专利文献5JP特开2001-904号公报专利文献6JP特开2001-310152号公报专利文献7JP特表2002-500099号公报可是，在采用了狭缝喷嘴的非旋转法中，虽然是狭缝喷嘴在基板的上方移动的同时，向基板表面供给涂敷液，但是，狭缝喷嘴在移动时会发生振动。由于该振动而供给到基板表面的涂敷液的量会发生变动，由于这个原因而发生膜厚不均匀。
于是，为了消除涂敷元件(狭缝喷嘴)的振动引起的膜厚的不均匀，尝试通过采用直线电动机，使支撑涂敷部件的部分相对底座处于非接触状态。
这样，虽然通过使安装涂敷元件的部件以相对底座非接触的方式移动，可以消除起因于振动的涂敷不均，但是不能说仅此就足够了。
即，在以往，向涂敷元件(狭缝喷嘴)供给涂敷液的送液泵被固定在基座等不移动的位置上，该送液泵和涂敷元件之间用挠性管连接。因此，如果涂敷元件移动，则在送液泵和涂敷元件之间的挠性管也随之变形，使得配管内容积发生变化，从而从涂敷元件排出的涂敷液的量发生微妙的变化。于是，其成为膜厚不均匀的原因。
直到最近，如专利文献5及6所述，正在开发将送液泵安装在涂敷元件的移动部件上，伴随涂敷元件的移动送液泵也移动的技术。然而，由于从送液泵到狭缝喷嘴的配管(管)较长，所以，由于管的伸缩等原因难以确保涂敷量的定量性。
另外，虽然在专利文献7中记载有和狭缝喷嘴一体地设置送液泵的发明，但是这样的话，在更换狭缝喷嘴时也必须取出送液泵。因此有必要提高作业精度，增加了作业负担，且到重新开始涂敷为止须等待较长时间。
发明内容
有鉴于此，本发明提供一种确保涂敷液的定量供给，并减少狭缝喷嘴移动时发生的振动的涂敷装置。
本发明涉及的涂敷装置构成为在一对平行的轨道之间配置基板载置平台，将具有狭缝喷嘴的门形移动机构，以跨越该基板载置平台的方式可移动地架设在轨道之间，其中，门形移动机构具有与一对平行的轨道分别卡合的移动体；连接这些移动体间的连接梁，此外，在连接梁的略中央部安装有涂敷液送液泵。
根据本发明涉及的涂敷装置，由于设为在连接梁的略中央部安装有涂敷液送液泵的构成，因此例如在涂敷中送液泵和涂敷元件之间的距离总是保持一定。而且，由于距离较短，所以连接送液泵和涂敷元件的挠性管的配管内容积不发生变化。由此，从涂敷元件所具有的狭缝喷嘴的排出量也为一定，可以得到均匀膜厚的涂膜。
再有，由于送液泵被安装于连接梁的略中央部，所以容易调整左右门柱的平衡。由此，可以降低移动时发生的振动和起伏。
作为涂敷液送液泵优选是，通过非压缩流体对管的外周部施加均匀的压力而使其工作的隔管泵(チユ一ブフラムポンプ；tube phragm pump)。再有，从前述涂敷液送液泵到前述涂敷元件为止的配管，为了避免管的伸缩影响，优选最长到1m为止。
再有，作为涂敷液送液泵，为了保持较低的重心而减小移动部件的振动，优选是，沿横向倾斜方向被安装于前述升降框中央部附近的侧面。
此时，如果沿横向倾斜方向安装，则在隔管泵内的进出口附近的卡合部易于发生液体滞留，所以优选设置为消除其的结构。
根据本发明的涂敷装置，例如可以将从涂敷元件所具有的狭缝喷嘴的排出量设为一定，由此能够得到均匀厚度的涂膜。
再有，容易调整左右门柱的平衡，可降低移动时发生的振动和起伏。
从而，可以实现高性能且可靠性得到提高的涂敷装置。
图1是放大表示本发明一个实施方式的涂敷装置的局部的俯视图。
图2是图1中的A方向的向视图。
图3是图1中的B方向的向视图。
图4是说明狭缝喷嘴的安装状态的放大侧视图。
符号说明如下1基座2轨道3门形移动机构4基板载置平台5龙门框 6气垫7连接梁 8喷嘴升降机构9喷嘴底座10狭缝喷嘴 11激光传感器 12隔管泵13楔部件 14、15挠性管 W被处理基板具体实施方式
以下，基于附图对本发明的实施方式进行说明。
图1是放大表示本发明一实施方式涉及的涂敷装置的局部的俯视图。再有，图2是图1的A方向向视图，图3是图1的B方向向视图，图4是说明狭缝喷嘴的安装状态的放大侧视图。
如图1～图3所示，本实施方式涉及的涂敷装置通过基座1被支撑。
在基座1上沿水平方向且平行地设有一对轨道2、2，在这些一对轨道2上卡合有门形移动机构3，在基座1上设有用于载置玻璃基板W等的基板载置平台4。
门形移动机构3具有呈环抱轨道2的形状的作为移动体的龙门框5，在该龙门框5的内侧面具有在与轨道2之间形成间隙的气垫6。
左右的龙门框5、5通过两根连接梁7、7被一体地连接，且俯视时呈框形。通过形成这样的框形可以减少移动中的变形。
另外，关于连接梁7、7也可以设为仅用一根的构成。
再有，左右的龙门框5分别被连接于未图示的直线电动机的可动部(芯部)，通过同步驱动左右的直线电动机，而使门形移动机构3沿轨道2无振动地移动。
在此，虽然连接梁7、7被安装在龙门框5的上面，但是该位置是在移动时连接梁7、7与基板(基板载置平台4)不发生缓和冲击的范围内最低的位置。
通过这样降低连接梁7、7的高度，可以抑制移动时的起伏。
在左右的龙门框5的上面固定设置有由气缸单元等构成的喷嘴升降机构8，在左右的喷嘴升降机构8、8之间沿水平且可自由升降地架设有喷嘴底座9，在该喷嘴底座9上安装有狭缝喷嘴10。
这样，通过驱动升降机构8、8来一体地升降移动喷嘴底座9和狭缝喷嘴10。
在喷嘴底座9的局部安装有测定狭缝喷嘴10的下端和基板W的间隔的激光传感器11。
在本实施方式的涂敷装置中，特别是，以涂敷方向为基准，在前方的连接梁7的宽度方向的中央部，作为涂敷液送液泵，配置有隔管泵12，该隔管泵12通过非压缩流体对管的外周部施加均匀的压力而工作。
该隔管泵12被固定于安装在连接梁7上面的楔部件13。
在本实施方式中，如图2及图3所示，该楔部件13是向一侧倾斜的形状(从垂直于纸面的方向看)，因此隔管泵12被倾斜地配置。该场合，隔管泵12被固定成出口侧(出)在上方而入口侧(进)在下方。
通过这样倾斜地配置隔管泵12，可以防止咬入空气。
而且，在隔管泵12中，出口侧和入口侧的构成设为不发生液体滞留的构造，这有利于防止滴落等。
再有，出口和狭缝喷嘴10通过挠性管14连接，入口和未图示的容器通过挠性管15连接。
在此，隔管泵12被安装于与狭缝喷嘴10一体移动的连接梁7，挠性管14只要富裕出狭缝喷嘴10升降移动的长度即可。
因此，在本实施方式的场合下，将挠性管14的长度设为小于或等于1m，来避免由于管的伸缩而造成的涂敷液供给量的微妙增减。
对将隔管泵12安装于龙门框5的场合(A)和安装于连接梁7的场合(B)，进行了门形移动机构3的振幅稳定性的比较，结果如表1所示。
表1
(在表中，移动速度表示门形移动机构3沿轨道2移动的速度，稳定距离表示龙门的振幅到稳定为止的距离。)通过表1所示可知，将隔管泵12安装于连接梁7的中央部附近的B场合与安装于龙门框的A场合相比，提前大于或等于20mm时龙门稳定。
根据本实施方式的涂敷装置，如前所述，由于构成为将隔管泵安装于连接梁的中央部，所以涂敷中送液泵和涂敷元件之间的距离总是被保持一定。而且，由于该距离较短，连接送液泵和涂敷元件的挠性管的配管内容积不发生变动。由此，从涂敷元件所具有的狭缝喷嘴的排出量也为一定，可以得到均匀的保护膜膜厚。
再有，由于在连接梁的中央部安装有送液泵，所以容易调整左右门柱的平衡，可以降低移动时发生的振动和起伏。
另外，本发明不仅限于前述的实施方式，在不脱离本发明的宗旨的范围内，可以采取其他各种各样的构成。
权利要求
1.一种涂敷装置，在一对平行的轨道之间配置基板载置平台，将具有狭缝喷嘴的门形移动机构，以跨越该基板载置平台的方式可移动地架设在前述轨道之间，该涂敷装置的特征在于，前述门形移动机构具有与前述一对平行的轨道分别卡合的移动体；连接这些移动体间的连接梁，在前述连接梁的略中央部安装有涂敷液送液泵。
2.根据权利要求1所述的涂敷装置，其特征在于，前述涂敷液送液泵是隔管泵。
3.根据权利要求2所述的涂敷装置，其特征在于，从前述隔管泵到前述狭缝喷嘴为止的配管长度小于1m。
4.根据权利要求2所述的涂敷装置，其特征在于，前述隔管泵是以出口侧在上方的方式被倾斜地安装。
全文摘要
本发明提供一种可以确保涂敷液的定量供给且减少狭缝喷嘴移动时发生的振动的涂敷装置。以涂敷方向为基准，在前方的连接梁(7)的宽度方向的中央部，作为涂敷液送液泵配置有隔管泵(12)，该隔管泵(12)通过非压缩流体对管的外周部施加均匀的压力而使其工作。该隔管泵(12)以出口向上入口向下的方式被倾斜地固定在安装于连接梁(7)上面的楔部件(13)上。通过这样倾斜地配置，可以防止咬入空气。而且，设为在出口和入口不发生液体滞留的构造，这有利于防止滴落等。
文档编号B05B13/04GK1919476SQ20061011129
公开日2007年2月28日 申请日期2006年8月21日 优先权日2005年8月23日
发明者升芳明, 熊泽博嗣, 山口和伸 申请人:东京应化工业株式会社