成膜方法及取向膜形成方法

专利名称：成膜方法及取向膜形成方法
技术领域：
本发明涉及成膜方法及取向膜形成方法。
技术背景液晶显示装置在元件基板和对置基板之间隔着密封件封入液晶。并 且，在元件基板及对置基板的液晶相接的面上形成有用于对液晶进行取向 的取向膜。取向膜形成在元件基板及对置基板的大致整个面上，其形成方 法之一包括喷墨法。喷墨法是将喷出到基板上的液滴彼此相互结合，在基 板上形成取向膜的图案。然而，喷出到基板上的液滴有时不能在基板上均 匀扩展，例如，收縮而产生条纹，或者靠向其他液滴而产生凸起等，难以 形成均匀的取向膜。为此，提出了一种利用由喷墨法喷出的液滴，形成均匀的薄膜的成膜 方法(专利文献l)。专利文献l具备喷墨法所使用的具有多个喷嘴的头，沿Y方向驱动基板时，在基板上，以X方向上分别4r的间隔在Y方向上 分别连续涂敷直径为r的溶液点。从所述头与最初涂敷的一方的第一点邻 接地涂敷第二点，接着与第二点邻接地涂敷第三点，然后与第三点邻接地 涂敷第四点，并使第四点与另一方的第一点邻接，由此涂敷溶液。此时， 使第一点的大小为小、第二点的大小为中、第三点的大小为大，并且使第 四点的大小为中，从而能够实现沿X方向膜厚的均匀化。即，能够防止如 果是相同大小的点，则相邻的点彼此牵连，先前与点邻接而涂敷的一侧相 比后来涂敷点的一侧膜厚容易变厚。专利文献l:特开2005 — 721号公报可是，专利文献1无法防止先前在Y方向上连续涂敷的点彼此相互在 Y方向上牵连、在X方向上收縮的情况。另外，也无法防止后来与先前的 点邻接地涂敷的点靠向先前的点的情况。进而，在X方向上需要改变所涂敷的点的大小，无法避免头的构造及控制装置的复杂化。 发明内容本发明为了解决上述问题而实现，其目的在于提供一种使喷出到基板 上的多个液滴恰当地结合来形成均匀的膜厚的液状膜的成膜方法及取向 膜形成方法。本发明的成膜方法，通过液滴喷出单元使功能液状体成为液滴并将其 喷出到相对移动的基板上，在所述基板上形成液状膜，在所述基板上在所 述液滴不相互接触的多个第一位置分别滴落配置了第一液滴后，在所述滴 落配置的各第一液滴之间的第二位置滴落配置第二液滴，使所述第二液滴 与邻接的多个第一液滴接触，形成液状膜。根据本发明的成膜方法，将第二液滴配置在邻接的多个第一液滴之 间，使第二液滴与邻接的多个第一液滴接触。因此，在基板上先行滴落配 置的第一液滴不相互接触地配置，所以不会产生第一液滴彼此牵连、收縮 而产生条纹、或被引靠而产生凸起。进而，由于第一液滴之间配置的第二 液滴与周围的第一液滴大致均匀地相接，所以只与任一方的第一液滴牵 连、收缩而产生条纹、或被引靠而产生凸起的顾虑很少。因此，能够在基 板上恰当地形成均匀膜厚的液状膜。该成膜方法适宜为，所述第一位置等间隔设置，所述第二位置设置在 由邻接的四个第一位置形成的四角形状的范围内，在该第二位置配置第二 液滴。根据该成膜方法，在由第一位置形成的四角形状的范围内设置第二位 置。因此，能够按照可以补充完整配置在第一位置的第一液滴所形成的间 隙的方式，设置第二位置。其结果，配置在第二位置的第二液滴能够与邻 接的第一液滴恰当地接触结合，在基板上形成均匀膜厚的液状膜。该成膜方法可以为，所述第二液滴在由邻接的四个第一位置形成的四 角形状的范围内配置多个。根据该成膜方法，第二液滴在由邻接的四个第一位置形成的四角形状 的范围内配置多个。因此，第二液滴的液量增加，能够容易地使第一液滴 和第二液滴接触。另外，能够减少液滴喷出单元在基板上相对移动的次数，所以能够快速成膜。该成膜方法可以为，形成第一液滴的液滴和形成第二液滴的液滴为相 同喷出量。根据该成膜方法，形成第一液滴和第二液滴的液滴为相同喷出量。因 此，能够简化形成第一液滴和第二液滴的液滴喷出单元的构成。本发明的取向膜形成方法，通过液滴喷出单元使取向膜形成材料成为 液滴并将其喷出到相对移动的液晶显示装置用基板上，在所述液晶显示装 置用基板上形成取向膜，所述取向膜形成方法具有如下工序在所述液晶 显示装置用基板上在所述液滴不相互接触的多个第一位置分别滴落配置 了第一液滴后，在所述滴落配置的各第一液滴之间的第二位置滴落配置第 二液滴，使所述第二液滴与邻接的多个第一液滴接触，形成取向膜。根据本发明的取向膜形成方法，不会产生第一液滴彼此牵连、收缩而 产生条纹、或被引靠而产生凸起。进而，第二液滴只与任一方的第一液滴 牵连、收縮而产生条纹、或被引靠而产生凸起的顾虑很少。因此，能够在 液晶显示装置用基板上恰当地形成均匀膜厚的取向膜。本发明的成膜方法，从按照通过与基板的相对扫描对该基板描绘规定 间距的扫描轨迹的方式配置的多个喷嘴，喷出功能液状体作为液滴，从而 在所述基板上形成液状膜，所述成膜方法具有以在所述基板上不相互接 触的方式从所述喷嘴喷出多个所述液滴的第一喷出工序；和对所述第一喷 出工序中配置的液滴之间的位置，从所述喷嘴喷出与该液滴相互接触的其 他所述液滴的第二喷出工序，在所述第一喷出工序中从各所述喷嘴喷出的 所述液滴在扫描方向上以规定间隔配置，在所述第二喷出工序中从相互邻 接的扫描轨迹所涉及的喷嘴喷出的所述液滴，配置在相互相对于扫描方向 不同的位置。根据本发明的成膜方法，第一喷出工序中喷出的液滴不相互接触地配 置，所以不会产生液滴彼此牵连、收缩而产生条纹、或被引靠而产生凸起。 进而，由于第二喷出工序中喷出的液滴与周围的液滴相接，所以只与任一 个液滴牵连的顾虑很少。因此，能够在基板上恰当地形成均匀膜厚的液状 膜。该成膜方法适宜为，在所述第二喷出工序中从相互邻接的扫描轨迹所涉及的喷嘴喷出的所述液滴，配置在相互相对于扫描方向相差所述规定间 隔的大致一半间隔量的位置。根据该成膜方法，第二喷出工序中喷出的液滴与周围的液滴大致均匀 地相接，所以能够在基板上更恰当地形成均匀膜厚的液状膜。该成膜方法可以为，所述规定间距及所述规定间隔是配置在所述基板上的状态下的所述液滴的直径的1 2倍。根据该成膜方法，规定间距及间隔是第一喷出工序中喷出的液滴的 1 2倍以下，所以第二喷出工序中喷出的液滴与邻接的液滴恰当地接触， 能够在基板上形成均匀膜厚的液状膜。本发明的取向膜形成方法，从按照通过与液晶显示装置用基板的相对 扫描对该基板描绘规定间距的扫描轨迹的方式配置的多个喷嘴，喷出取向 膜形成材料作为液滴，从而在所述液晶显示装置用基板上形成取向膜，所述取向膜形成方法具有以在所述液晶显示装置用基板上不相互接触的方式从所述喷嘴喷出多个所述液滴的第一喷出工序；和对所述第一喷出工序 中配置的液滴之间的位置，从所述喷嘴喷出与该液滴相互接触的其他所述 液滴的第二喷出工序，在所述第一喷出工序中从各所述喷嘴喷出的所述液 滴在扫描方向上以规定间隔配置，在所述第二喷出工序中从相互邻接的扫 描轨迹所涉及的喷嘴喷出的所述液滴，配置在相互相对于扫描方向不同的 位置。根据本发明的取向膜形成方法，第一喷出工序中喷出的液滴不相互接 触地配置，所以不会产生液滴彼此牵连、收縮而产生条纹、或被引靠而产 生凸起。进而，由于第二喷出工序中喷出的液滴与周围的液滴相接，所以 只与任一个液滴牵连的顾虑很少。因此，能够在液晶显示装置用基板上恰 当地形成均匀膜厚的取向膜。


图1是表示液晶显示装置的立体图；图2是表示从图1的A-A线观察的液晶显示装置的剖视图； 图3是表示滴喷出装置的立体图； 图4是表示液滴喷头的立体图；7图5是表示液滴喷头的侧视图；图6是用于说明目标位置的说明图；图7是表示为了形成图案而在基板表面对应附设的区块的示意图； 图8是对第一实施方式的对置基板上配置的液滴进行说明的图，(a) 是表示在往动的扫描中第一喷嘴列配置了液滴的状态的图，(b)是表示在往动的扫描中第二喷嘴列配置了液滴的状态的图，(c)是表示在复动的扫描中第二喷嘴列配置了液滴的状态的图，(d)是表示在复动的扫描中第一喷嘴列配置了液滴的状态的图；图9是第一实施方式中配置的取向膜形成材料的示意图； 图IO是用于说明液滴喷出装置的电气构成的电气框图；图11是对第二实施方式的对置基板上配置的液滴进行说明的图，(a) 是表示第一喷嘴列配置了液滴的状态的图，(b)是表示第二喷嘴列配置了 液滴的状态的图，(c)是表示第二喷嘴列配置的液滴扩展的状态的图。图中Fb， Fbl， Fb2， Fb3， Fb4 —液滴；Z—液状膜； IO —液晶显示装置；13 —液晶面板；14一元件基板；15 —对置基板；17 — 液晶；24、 27 —取向膜；26 —对置电极；30 —液滴喷出配置；31 —基座； 33 —基板载置台；34 —载置面；37 —滑架；38 —墨罐；41 —液滴喷头；51 一控制装置。
具体实施方式
(第一实施方式)以下，结合图1 图10，对将本发明具体化的第一实施方式进行说明。 首先，对具有通过本发明的成膜方法形成的取向膜的液晶显示装置10进 行说明。图1是液晶显示装置IO的立体图，图2是图1的A-A线剖视图。图1中，在液晶显示装置10的下侧，具备边缘照明型背光灯12，该 背光灯12具有LED等光源11且形成为四角板状。在背光灯12的上方， 具备形成为与背光灯12大致相同尺寸的四角板状的液晶面板13。而且， 从光源11射出的光朝向液晶面板13照射。液晶面板13具备相对置的作为液晶显示装置用基板的元件基板14和 作为液晶显示装置用基板的对置基板15。这些元件基板14和对置基板15如图2所示，通过由光硬化性树脂构成的四角框状的密封件16贴合。而 且，在这些元件基板14和对置基板15之间的间隙中封入有液晶17。在元件基板14的下面(背光灯12侧的侧面)贴合有偏光板或相位差 板等光学基板18。光学基板18将来自背光灯12的光转换成直线偏光并射 向液晶17。在元件基板14的上面(对置基板15侧的侧面元件形成面 14a)排列形成有在一方向(X箭头方向)大致全宽上延伸的多个扫描线 Lx。各扫描线Lx分别与元件基板14的一侧配置的扫描线驱动电路19电 连接，并且来自扫描线驱动电路19的扫描信号以规定的定时输入。另外， 在元件形成面14a上排列形成有在Y箭头方向大致全宽上延伸的多个数据 线Ly。各数据线Ly分别与元件基板14的另一侧配置的数据线驱动电路 21电连接，并且来自数据线驱动电路21的基于显示数据的数据信号以规 定的定时输入。在元件形成面14a上扫描线Lx与数据线Ly交叉的位置， 形成有与对应的扫描线Lx及数据线Ly连接且排列成矩阵状的多个像素 22。各像素22分别具备TFT等未图示的控制元件及由透明导电膜等构成 的光透过性的像素电极23。图2中，在各像素22的上侧整体上层叠有实施了基于摩擦(rubbing) 处理等的取向处理的取向膜24。取向膜24是由取向性聚酰亚胺等取向性 高分子构成的薄膜图案，在对应的像素电极23附近，将液晶17的取向设 定成规定的取向。该取向膜24由喷墨法形成。即，取向膜24是通过将取 向性高分子溶解在规定的溶剂中的作为功能液状体的取向膜形成材料F (参照图5)以液滴Fb(参照图5)的方式喷出到各像素22的上侧整体上， 并使滴落的液滴Fb干燥而形成。在所述对置基板15的上面配置有将与来自所述光学基板18的光正交 的直线偏光的光向外方(图2中的上方)射出的偏光板25。另一方面，在 对置基板15的下面(元件基板14侧的侧面)层叠有与各像素电极23相 对置地形成的由光透过性的导电膜构成的对置电极26。对置电极26与所 述数据线驱动电路21电连接，并被赋予来自该数据线驱动电路21的规定 的公共电位。在对置电极26的下面整体上层叠有实施了基于摩擦处理等 的取向处理的取向膜27。该取向膜27与所述取向膜24相同，由喷墨法形 成，在所述对置电极26附近，将液晶17的取向设定成规定的取向。并且，根据线依次扫描逐一地以规定的定时选择各扫描线Lx，将各 像素22的控制元件分别仅在选择期间中设成接通状态。于是，向与各控 制元件对应的各像素电极23输出来自对应的数据线Ly的基于显示数据的 数据信号。若向各像素电极23输出数据信号，则根据各像素电极23与对 置电极26之间的电位差，对应的液晶17的取向状态被调制。g卩，按各像 素22调制来自光学基板18的光的偏光状态。并且，根据调制后的光是否 通过偏光板25，基于显示数据的图像显示在液晶面板13的上侧。其次，结合图3 5，对用于形成上述取向膜27 (取向膜24)的作为 液滴喷出F的液滴喷出装置30进行说明。图3中，液滴喷出装置30具备形成为长方体形状的基座31，并且在 该基座31的上面，形成有沿其长度方向(X箭头方向)延伸的一对引导 槽32。在该基座31的上方，设置有与基座31上设置的X轴马达MX(参 照图10的左上方)的输出轴驱动连结的作为移动单元的基板载置台33， 并且该基板载置台33沿着所述引导槽32以规定的速度(输送速度Vx) 沿X箭头方向及逆X箭头方向往复移动(被沿着X箭头方向扫描)。在基板载置台33的上面形成有能够载置以对置电极26为上侧的对置 电极15的载置面34，将被载置状态的对置基板15相对于基板载置台33 定位固定。再有，本实施方式中，为了便于说明，设置成在载置面34上 载置对置基板15的构成，不过，也可以构成为对划分形成有多个组件的 样品玻璃(mother glass)基板进行载置的构成，其中，所述组件为形成有 对置电极26的对置基板15。另外，并不限定于此，也可以构成为对以所 述各像素电极23为上侧的元件基板14或划分形成有多个作为元件基板14 的组件的样品玻璃基板进行载置的构成。另外，能够在载置面34上定位 固定各种尺寸的基板。在基座31的Y箭头方向两侧，配置有形成为门型的导向部件35，并 且在该导向部件35上形成有沿Y箭头方向延伸的上下一对导轨36。另外， 导向部件35具备与设置在导向部件35上的Y轴马达MY (参照图10的 左下方)的输出轴驱动连结的滑架37，并且该滑架37沿着导轨36在Y 箭头方向及逆Y箭头方向往复移动(被沿Y箭头方向进给)。在滑架37 的内部配置有收容所述取向膜形成材料F (参照图5)的墨罐38，并且该墨罐38内的取向膜形成材料F被导出到滑架37的下方搭载的液滴喷头 41。图4是从下方(对置基板15侧)观察滑架37 (液滴喷头41)的概略 立体图，图5是从Y箭头方向侧观察液滴喷头41的概略侧视图。图4中，在滑架37的下侧(图4中的上侧)配置有沿Y箭头方向延 伸的长方体形状的框体40，在其安装面40b上设置有沿Y箭头方向延伸 的形成为长方体形状的液滴喷头(以下，简称为喷头)41。在喷头41的 下侧(图4中的上侧)配置有喷嘴板42，并且在该喷嘴板42的对置基板 15侧(图4中的上侧)形成有与安装面40b平行的喷嘴形成面42a。在该喷嘴形成面42a上相互平行地形成有沿Y箭头方向延伸的2条第 一喷嘴列NL1和第二喷嘴列NL2，第二喷嘴列NL2从第一喷嘴列NL1沿 X箭头方向离开间隔NLW来配置。再有，在本实施方式中，间隔NLW的 值为2毫米，不过间隔NLW的值并不限定于此。第一喷嘴列NL1沿Y箭头方向以等间距NW排列形成有分别作为喷 出口的多个(180个)喷嘴N1。另外，第二喷嘴列NL2也与第一喷嘴列 NL1同样，沿Y箭头方向以等间距NW排列形成有分别作为喷出口的多 个C180个)喷嘴N2。进而，若从X箭头方向观察第一喷嘴列NL1和第二喷嘴列NL2，则 喷嘴Nl和喷嘴N2以在Y箭头方向上相互偏离间距NW的一半间距(以 下，称为半间距)NW2的状态配置在喷嘴形成面42a上。在本实施方式 中，从X箭头方向观察，第一喷嘴列NL1的邻接的各喷嘴N1之间的间距 NW及第二喷嘴列NL2的邻接的各喷嘴N2之间的间距NW均为140微米， 各喷嘴Nl和与之邻接的各喷嘴N2之间的半间距NW2为70微米。因此， 若从X箭头方向观察第一喷嘴列NL1和第二喷嘴列NL2，则总共360个 两喷嘴N1、 N2成为以半间距NW2的间隔即70微米的间隔排列的状态。图5中，第一喷嘴列的各喷嘴Nl (第二喷嘴列NL2的各喷嘴N2也 一样)，沿着喷嘴形成面42a (安装面40b)的法线方向即喷出方向A贯通 形成在喷嘴板42上。在各喷嘴Nl (N2)的喷出方向A的相反侧，形成有与所述墨罐38 连通的腔室43，将来自墨罐38的取向膜形成材料F供给到对应的喷嘴Nl(N2)。在各腔室43的喷出方向A的相反侧，贴付有可在喷出方向A及 其相反方向振动的振动板44，使腔室43内的容积扩大或縮小。在振动板 44的上侧配置有与各喷嘴N1 (N2)对应的多个压电元件PZ1 (PZ2)。各 压电元件PZ1 (PZ2)收缩或伸张，使对应的振动板44在喷出方向A及其 相反方向振动。在振动板44振动时，各腔室43的容积扩大或缩小，各喷嘴N1 (N2) 内的弯液面(meniscus)(取向膜形成材料F的界面)振动。各喷嘴Nl (N2) 内的弯液面振动时，规定重量的取向膜形成材料F从对应的喷嘴N1 (N2) 以规定的外径即规定的喷出量所构成的液滴Fb喷出。喷出的各液滴Fb沿 着喷出方向A飞行飞行距离L，滴落配置在从正下方通过的形成有对置电 极26的对置基板15上。再有，在本实施方式中，将与第一喷嘴列NL1的各喷嘴N1的喷出方 向A对应的位置分别称作滴落位置PF1。另外，将与第二喷嘴列NL2的 各喷嘴N2的喷出方向A对应的位置分别称作滴落位置PF2。另外，从各喷嘴N1、 N2喷出的液滴Fb的喷出量由压电元件PZ1、 PZ2的驱动量控制，其驱动量由输出给压电元件PZ1、 PZ2的后述的压电 元件驱动信号C0M1、 COM2 (参照图10)控制。再有，本实施方式的压电元件驱动信号COMl、 COM2根据预先通过 试验等设定的波形数据WD1、 WD2 (参照图IO)生成，并且设定成使弯 液面顺畅地振动，喷出规定的喷出量的液滴Fb。进而，在本实施方式中，从各喷嘴N1、 N2喷出的液滴Fb的喷出量 设定成相同，并且滴落到对置基板15上的作为第一液滴的液滴Fbl的直 径设定成规定的直径(滴落直径R1)。并且，在本实施方式中，设定波形 数据WD1、 WD2,使得滴落直径R1为80微米。而且，液滴喷出装置30通过在对置基板15上滴落配置滴落直径Rl 为80微米的液滴Fbl，在对置基板15上形成作为取向膜27的液状膜Z (参照图9)。在此，结合图6 图9，对使用液滴喷出装置30用于在对置基板15 上形成作为取向膜27的液状膜Z的液滴的配置方法进行说明。使对置基板15在喷头41的正下方往复一次，在其往动(沿X箭头方向移动)及复动(沿逆X箭头方向移动)时分别喷出液滴Fb后，向新的 位置进给(feed)滑架37，使对置基板15再次往复移动一次，与所述同 样喷出液滴Fb。以后，通过反复进行同样的动作，在对置基板15上形成 作为取向膜27的液状膜Z。为了便于说明，将基于第一喷嘴列NL1的各喷嘴N1的液滴Fb在对 置基板15上的喷出位置称为作为第一位置及第二位置的第一喷嘴列目标 喷出位置P1。另外，将基于第二喷嘴列NL2的各喷嘴N2的液滴Fb在对 置基板15上的喷出位置称为作为第一位置及第二位置的第二喷嘴列目标 喷出位置P2。图6表示往动时的第一喷嘴列目标喷出位置Pl和第二喷嘴列目标喷 出位置P2。如图6所示，基于第一喷嘴列NL1的各喷嘴N1的各第一喷 嘴列目标喷出位置Pl是在X箭头方向滴落配置的相邻的各液滴Fbl不相 互接触的位置。同样，基于第二喷嘴列NL2的各喷嘴N2的各第二喷嘴列 目标喷出位置P2是在X箭头方向滴落配置的相邻的各液滴Fbl不相互接 触的位置。而且，将X箭头方向的相邻的第一喷嘴列目标喷出位置P1的间隔设 为喷出间隔W。同样，X箭头方向的相邻的第二喷嘴列目标喷出位置P2 的间隔与相邻的第一喷嘴列目标喷出位置Pl的间隔相同，设为喷出间隔 W。另外，如图6所示，第二喷嘴列目标喷出位置P2相对于在X箭头方 向相邻的第一喷嘴列目标喷出位置Pl,是在X箭头方向上偏离所述喷出 间隔W的一半间隔W2 (=W/2)的位置。因此，在使对置基板15往动，驱动喷头41来喷出液滴Fb时(第一 次通过)，分别配置到各第一喷嘴列目标喷出位置P1的液滴Fbl和分别配 置到各第二喷嘴列目标喷出位置P2的液滴Fbl，如图8 (b)所示，分别 配置在分离的位置。其结果，配置到各位置P1、 P2的液滴Fbl不相互重 叠，不会有另一方的液滴Fbl靠向一方向的液滴Fbl而成为一个块的顾虑 (第一喷出工序)。然后，在进行往动(X箭头方向)，将液滴FM滴落配置在图6所示 的第一喷嘴列目标喷出位置Pl和第二喷嘴列目标喷出位置P2后，使对置基板15复动，将液滴Fbl配置在新设定的第一喷嘴列目标喷出位置P1和 第二喷嘴列目标喷出位置P2。在此，复动时的第一喷嘴列目标喷出位置Pl是往动时在X箭头方向 上设定的相邻的第一喷嘴列目标喷出位置Pl的中间位置。同样，复动时 的第二喷嘴列目标喷出位置P2是往动时在X箭头方向上设定的相邻的第 二喷嘴列目标喷出位置P2的中间位置。因此，将复动时的X箭头方向上 相邻的第一喷嘴列目标喷出位置P1的间隔设为喷出间隔W。同样，复动 时的X箭头方向上相邻的第二喷嘴列目标喷出位置P2的间隔与复动时的 相邻的第一喷嘴列目标喷出位置P1的间隔相同，设为喷出间隔W。然后，使对置基板15复动，驱动喷头41来喷出液滴Fb(第二次通过)。 第二次通过中喷出液滴Fb时，分别配置到各第一喷嘴列目标喷出位置Pl 的作为第二液滴的液滴Fb2和分别配置到各第二喷嘴列目标喷出位置P2 的液滴Fb2，如图8 (d)所示，分别配置在先前滴落配置的各液滴FM之 间(第二喷出工序)。因此，第二次通过中配置的各液滴Fb2与第一次通过中配置的邻接的 四方的液滴Fbl接合。此时，由于第二次通过中配置的各液滴Fb2与邻接 的四方的液滴Fbl接合，所以不会被引向任一方。其结果，如图9所示， 在其位置上与先前的液滴Fbl接合而形成平坦的液状膜Z。接着，结合图IO，对如上所述构成的液滴喷出装置30的电气构成进 行说明。图IO中，控制装置51具备CPU、 RAM、 ROM等。而且，控制装置 51按照RAM或ROM等所存储的各种数据及各种程序，使基板载置台33 进行扫描，对滑架37进行进给，并且对喷头41的各压电元件PZ1、 PZ2 进行驱动控制。在控制装置51上连接有输入装置52、 X轴马达驱动电路53、 Y轴马 达驱动电路54及第一和第二喷头驱动电路55、 56。输入装置52具有启动开关、停止开关等操作开关，向控制装置51输 入各种操作信号。另外，输入装置52将与对置基板15上形成的液滴Fbl 的滴落直径R1有关的信息以规定形式的滴落直径信息Ir输入到控制装置 51。然后，将滴落直径信息Ir从输入装置52输入到控制装置51。于是，控制装置51接收来自输入装置52的滴落直径信息Ir，在所述 的往动时(第一次通过)和复动时(第二次通过)，分别运算喷出到对置 基板15上的液滴Fb的第一及第二喷嘴列目标喷出位置Pl、 P2。然后， 控制装置51根据该第一及第二喷嘴列目标喷出位置P1、 P2，生成基于第 一喷嘴列NL1的喷嘴N1的位图数据BMDla、 BMDlb和基于第二喷嘴列 NL2的喷嘴N2的位图数据BMD2a、 BMD2b。位图数据BMDla是对往动时的对置基板15上的各第一喷嘴列目标喷 出位置P1分别对应了各位的值(0或1)的数据，是根据各位的值规定各 压电元件PZ1的接通或断开的数据。而且，位图数据BMDla被规定成 每当对应的第一喷嘴列目标喷出位置Pl在各喷嘴Nl的正下方通过，就会 喷出液滴Fb。位图数据BMDlb是对复动时的对置基板15上的各第一喷嘴列目标喷 出位置P1分别对应了各位的值(0或1)的数据，是根据各位的值规定各 压电元件PZ1的接通或断开的数据。而且，位图数据BMDlb被规定成 每当对应的第一喷嘴列目标喷出位置P1在各喷嘴N1的正下方通过，就会 喷出液滴Fb。位图数据BMD2a是对往动时的对置基板15上的各第二喷嘴列目标喷 出位置P2分别对应了各位的值(0或1)的数据，是根据各位的值规定各 压电元件PZ2的接通或断开的数据。而且，位图数据BMD2a被规定成 每当对应的第二喷嘴列目标喷出位置P2在各喷嘴N2的正下方通过，就会 喷出液滴Fb。位图数据BMD2b是对复动时的对置基板15上的各第二喷嘴列目标喷 出位置P2分别对应了各位的值(0或1)的数据，是根据各位的值规定各 压电元件PZ2的接通或断开的数据。而且，位图数据BMD2b被规定成 每当对应的第二喷嘴列目标喷出位置P2在各喷嘴N2的正下方通过，就会 喷出液滴Fb。X轴马达驱动电路53响应来自控制装置51的与X轴马达驱动电路 53对应的驱动控制信号，使用于使基板载置台33往复移动的X轴马达 MX正转或反转。在该X轴马达驱动电路53上连接有X轴马达旋转检测 器MEX，从而被输入来自X轴马达旋转检测器MEX的检测信号。X轴马达驱动电路53根据来自X轴马达旋转检测器MEX的检测信号，对基 板载置台33 (对置基板15)的移动方向及移动量进行运算，并且生成与 基板载置台33的当前位置相关的信息作为载置台位置信息SPI。然后，控 制装置51接收来自X轴马达驱动电路53的载置台位置信息SPI，输出各 种信号。Y轴马达驱动电路54响应来自控制装置51的与Y轴马达驱动电路 54对应的驱动控制信号，使用于使滑架37往复移动的Y轴马达MY正转 或反转。在该Y轴马达驱动电路54上连接有Y轴马达旋转检测器MEY， 从而被输入来自Y轴马达旋转检测器MEY的检测信号。Y轴马达驱动电 路54根据来自Y轴马达旋转检测器MEY的检测信号，对滑架37的移动 方向及移动量进行运算，并且生成与滑架37的当前位置相关的信息作为 滑架位置信息CPI。然后，控制装置51接收来自Y轴马达驱动电路54的 滑架位置信息CPI，输出各种信号。详述时，控制装置51在对置基板15侵入滑架37的正下方之前，生 成喷出控制信号SIl、 SI2。即，控制装置51根据载置台位置信息SPI及 滑架位置信息CPI，生成基于与对置基板15的扫描量(往动或复动)对应 的位图数据BMDla、 BMDlb、 BMD2a、 BMD2b而与规定的时钟信号同 步的喷出控制信号SIl、 SI2。然后，控制装置51在每次使基板载置台33 沿X箭头方向(往动)或逆X箭头方向(复动)扫描时，之前都要将生 成的喷出控制信号SI1、SI2分别依次串行传送至第一及第二喷头驱动电路 55、 56。另外，每当喷嘴N1的各滴落位置PF1分别位于对应的第一喷嘴列目 标喷出位置P1时，控制装置51都会根据载置台位置信息SPI，生成用于 将基于波形数据WD1的压电元件驱动信号C0M1输出至压电元件PZ1的 信号(喷出定时信号LP1)。然后，控制装置51将生成的喷出定时信号LP1 依次输出至第一喷头驱动电路55。压电元件驱动信号C0M1是用于确定从喷嘴N1喷出的液滴Fb的喷 出量的信号，基于波形数据WD1而生成。波形数据WD1是用于确定相对 于滴落配置到对置基板15上的液滴Fbl及液滴Fb2的滴落直径R1的各个 液滴Fbl、 Fb2的喷出量的波形数据，预先通过试验等设定。在本实施方式中，波形数据WD1是确定滴落直径Rl为80微米的液滴FM及液滴Fb2 的喷出量的波形数据。第一喷头驱动电路55分别与对应第一喷嘴列NL1的各喷嘴Nl设置 的压电元件PZ1连接。第一喷头驱动电路55被供给来自控制装置51的波 形数据WD1、喷出控制信号SIl及喷出定时信号LP1。第一喷头驱动电路 55接收来自控制装置51的喷出控制信号SI1,分别对应各压电元件PZ1 将该喷出控制信号SI1依次进行串行/并行转换。然后，第一喷头驱动电路55每当接收来自控制装置51的喷出定时信 号LP1时，根据串行/并行转换的喷出控制信号SIl，将基于波形数据WDl 的压电元件驱动信号C0M1供给至各压电元件PZ1。 g卩，第一喷头驱动电 路55每当在第一喷嘴列目标喷出位置PI通过第一喷嘴列NL1的各喷嘴 Nl的正下方时，都会向对应的喷嘴N1的压电元件PZ1供给压电元件驱 动信号COMl。同样，每当各喷嘴N2的各滴落位置PF2分别位于对应的第二喷嘴列 目标喷出位置P2时，控制装置51都会根据载置台位置信息SPI，生成用 于将基于波形数据WD2的压电元件驱动信号COM2输出至压电元件PZ2 的信号(喷出定时信号LP2)。然后，控制装置51将生成的喷出定时信号 LP2依次输出至第二喷头驱动电路56。压电元件驱动信号COM2是用于确定从喷嘴N2喷出的液滴Fb的喷 出量的信号，基于波形数据WD2而生成。波形数据WD2是用于确定相对 于滴落配置到对置基板15上的液滴Fbl及液滴Fb2的滴落直径R1的各个 液滴Fbl、 Fb2的喷出量的波形数据，预先通过试验等设定。在本实施方 式中，波形数据WD2是确定滴落直径Rl为80微米的液滴Fbl及液滴Fb2 的喷出量的波形数据。第二喷头驱动电路56分别与对应第二喷嘴列NL2的各喷嘴N2设置 的压电元件PZ2连接。第二喷头驱动电路56被供给来自控制装置51的波 形数据WD2、喷出控制信号SI2及喷出定时信号LP2。然后，第二喷头驱 动电路56通过与第一喷头驱动电路55同样的方法，每当在第二喷嘴列目 标喷出位置P2通过第二喷嘴列NL2的各喷嘴N2的正下方时，都会向对 应的喷嘴N2的压电元件PZ2供给压电元件驱动信号COM2。接着，对使用上述的液滴喷出装置30在对置基板15上形成取向膜27 的方法进行说明。为了便于说明，如图7所示，在对置基板15的上面中，至少在形成 图案的范围内，对应设置假想的多个区块B。这些多个区块B排列成在X 箭头方向及Y箭头方向上确定的阵列状。在此，多个区块B各自沿X箭 头方向的长度为70微米，沿Y箭头方向的长度为70微米。再有，X箭头 方向和Y箭头方向是相互正交的方向。多个区块B分别是液滴Fb滴落而配置的区域。在本实施方式中，在 某一个区块B上配置液滴Fb时，将液滴Fb配置成其区块B的中心与所 配置的液滴Fb的中心大体一致。另外，多个区块B的X箭头方向的间距 对应于从X箭头方向观察的各喷嘴Nl和各喷嘴N2之间的距离即半间距 NW2。同样，多个区块B的Y箭头方向的间距对应于喷出间隔W的一半 距离即间隔W2。再有，图7中，为了便于说明，描绘了24个(-4X6)区块B，不 过，实际的区块B的数目并不限定于此数。而且，在本实施方式中，将2区块X2区块所确定的4个区块B的集 合定义为区块群BG。而且，为了便于说明，且为了分别识别一个区块群 BG中的4个区块B，对这些4个区块B，分别以文字"B"和2位的后缀 所构成的符号(例如，Bll)进行表示。在此，后缀的右侧的数值表示区 块群BG中沿Y箭头方向的位置，为"1"或"2"的整数。另一方面，后 缀的左侧的数值表示区块群BG中沿X箭头方向的位置，为"1"或"2" 的整数。而且，例如，在关注各区块群BG的区块Bll时，在对置基板15的 表面上，各区块Bll排列成在X箭头方向及Y箭头方向上确定的阵列状。 具体而言，各区块Bll无论是在X箭头方向、或Y箭头方向、或者它们 的合成方向U上均为周期性布置。在本实施方式中，在X箭头方向上相 邻的两个区块Bll的中心间的距离均为140微米。另外，在Y箭头方向 上相邻的两个区块Bll的中心间的距离均为140微米。进而，在X箭头 方向和Y箭头方向的合成方向U上相邻的区块Bll的中心间距离均为大 致198.0微米。再有，X箭头方向和Y箭头方向的合成方向U是区块B的对角线方向。首先，如图3所示，在基板载置台33上载置对置基板15。此时，基 板载置台33配置在比滑架37更靠逆X箭头方向侧，滑架37配置在导向 部件35的最靠逆Y箭头方向。从该状态开始，操作输入装置52，向控制装置51输入滴落直径信息 Ir。于是，控制装置51根据滴落直径信息Ir生成往动时的位图数据BMDla、 BMD2a并进行储存。若生成各位图数据BMDla、 BMD2a，则控制装置51驱动控制Y轴 马达MY，使滑架37配置移动(进给)。然后，驱动控制X轴马达MX， 使对置基板15仅沿X箭头方向移动(扫描)。此时，将对置基板15通过 各喷嘴N1的正下方时的各喷嘴N1在对置基板15上的通过轨迹分别设定 为作为扫描轨迹的扫描路径DL1 (参照图6)。另外，将各喷嘴N2在对置 基板15上的通过轨迹分别设定为作为扫描轨迹的扫描路径DL2 (参照图 6)。而且，在对置基板15被沿X箭头方向输送(往动)时，控制装置51 在对应的第一喷嘴列目标喷出位置Pl沿各扫描路径DL1通过各喷嘴Nl 的正下方时，从各喷嘴N1喷出液滴Fb。另外，控制装置51在对应的第 二喷嘴列目标喷出位置P2沿各扫描路径DL2通过各喷嘴N2的正下方时， 从各喷嘴N2喷出液滴Fb。图8(a)表示在各第一喷嘴列目标喷出位置Pl配置了液滴Fb的状态。 图8 (b)表示在各第二喷嘴列目标喷出位置P2配置了液滴Fb的状态。另外，第一喷嘴列NL1和第二喷嘴列NL2在X箭头方向上分离间隔 NLW (2毫米)。因此，向目标喷出位置P1 (区块B21)供给液滴Fb之后 各喷嘴N2通过位于相同区块群BG的目标喷出位置P2 (区块B12)的正 上方，是在基板载置台33从所述目标喷出位置P1沿X箭头方向移动(扫 描)间隔NLW+间隔W2 (=2毫米+ 70微米)后进行的。此时，从X箭头方向观察，各喷嘴N1和邻接的各喷嘴N2之间离开 半间距NW2 (70微米)(参照图4)，各第一喷嘴列目标喷出位置P1和邻 接的各第二喷嘴列目标喷出位置P2之间也离开半间距NW2(70微米)(参 照图6)。其结果，在本实施方式中，由于相同区块群BG内的第一喷嘴列目标 喷出位置Pl和第二喷嘴列目标喷出位置P2的距离大致为99微米，所以 各目标喷出位置Pl、 P2上形成的滴落直径Rl为80微米的液滴Fbl配置 在相互不相接的位置。若基于往动的液滴Fbl的滴落配置结束，则控制装置51暂时使基板 载置台33 (对置基板15)停止。接着，控制装置51生成使对置基板15 (基板载置台33)复动时的各 位图数据BMDlb、 BMD2b。若生成各位图数据BMDlb、 BMD2b，则控制装置51驱动控制Y轴 马达MY，使对置基板15仅沿逆X箭头方向移动。然后，在对置基板15被沿逆X箭头方向输送(复动)时，控制装置 51在对应的第一喷嘴列目标喷出位置Pl沿各扫描路径DL1通过各喷嘴 Nl的正下方时，从各喷嘴N1喷出液滴Fb。另外，控制装置51在对应的 第二喷嘴列目标喷出位置P2沿各扫描路径DL2通过各喷嘴N2的正下方 时，从各喷嘴N2喷出液滴Fb。图8 (c)表示在各第二喷嘴列目标喷出位 置P2配置了液滴Fb的状态。图8 (b)表示在各第一喷嘴列目标喷出位 置P1配置了液滴Fb的状态。第二喷嘴列目标喷出位置P2 (图8 (c)中由P3表示)，即滴落到区 块B22上的液滴Fb所形成的液滴Fb2与四方的即区块B12及区块B21上 配置的液滴Fbl接触。 .区块B22的液滴Fb2例如仅与一方向的液滴Fbl接触时，有时也与接 触的液滴Fbl牵连而中心位置移动，不过，由于大致同时与四方接触，所 以能够与接触的液滴Fbl相互平衡良好地牵连而恰当地形成液面。再有， 在角部及缘部的作为第二位置的目标喷出位置P3 (区块B22)配置的液滴 Fb2只与二方向或三方向的区块B12或区块B21配置的液滴Fbl接触，不 过，无论是哪种情况，都与需要形成取向膜27的范围的液滴Fbl接触， 所以能够恰当地形成液面。另外，第一喷嘴列NL1和第二喷嘴列NL2在X箭头方向上分离间隔 NLW(2毫米)。因此，喷嘴N2向一个区块群BG内的目标喷出位置P3 喷出液滴Fb后，对置基板15沿逆X箭头方向移动2毫米一70微米时，喷嘴Nl开始向相同区块群BG内的第一喷嘴列目标喷出位置PI (图8(d) 中由P4表示)喷出各液滴Fb。因此，从喷嘴N1喷出的各液滴Fb如图8 (d)所示，依次滴落到沿 X箭头方向离开喷出间隔W的作为第二位置的目标喷出位置P4 (区块 Bll)o若滴落到目标喷出位置P4(区块B11)的液滴Fb在对置基板15的上 面形成滴落直径R1 (=80微米)的液滴Fb2，则大致同时与四方的即区 块B12及区块B21上配置的液滴Fbl接触。区块Bll的液滴FM例如仅 与一方向的液滴Fbl接触时，有时也与接触的液滴FM牵连而中心位置移 动，不过，由于大致同时与四方接触，所以能够与接触的液滴Fbl相互平 衡良好地牵连而恰当地形成液面。再有，在角部及缘部的目标喷出位置P4 (区块Bll)配置的液滴Fb2 只与二方向或三方向的区块B12或区块B21配置的液滴Fbl接触，不过， 无论是哪种情况，都与需要形成取向膜27的范围的液滴Fbl接触，所以 能够恰当地形成液面。若基于复动的液滴Fb2的滴落配置结束，则控制装置51暂时使基板 载置台33 (对置基板15)停止。然后，控制装置51将滑架37进给到新 的位置。滑架37进给之后，控制装置51与所述同样，在其各个时期生成 往动时的位图数据BMDla、BMD2a、复动时的位图数据BMDlb、BMD2b， 反复向对置基板15配置液滴Fbl及液滴Fb2，如图9所示，在对置基板 15上形成平坦的液状膜Z。对于对置基板15而言，完成在对置电极26的上面形成由取向膜形成 材料F构成的液状膜Z后，通过烧成等使取向膜形成材料F所含有的溶剂 千燥，形成取向膜27。根据本实施方式，能够获得如以下的效果。 (1)根据本实施方式，使喷出间隔W大于滴落直径Rl。因此，能 够将滴落到各目标喷出位置P1、 P2的液滴Fbl不相互接触地配置。其结 果，配置到各目标喷出位置P1、 P2的液滴Fbl不会牵连、收縮而产生条 纹、或被引靠而产生凸起。另外，各目标喷出位置P3、 P4分别在X箭头 方向上从目标喷出位置P1、 P2偏离间隔W2，在Y箭头方向上偏离半间距NW2，所以配置到各目标喷出位置P3、 P4的液滴Fb2大致均匀地与周 围的液滴Fbl接触。其结果，不会有液滴Fb2只与任一方的液滴Fbl牵连、 收縮而产生条纹、或被引靠而产生凸起的顾虑。由此，能够恰当地在基板 上形成均匀膜厚的膜。(2) 根据本实施方式，液滴FM由从喷嘴Nl依次喷出配置的液滴 Fb和从喷嘴N2依次喷出配置的液滴Fb形成。因此，通过液滴喷出装置 30能够容易地形成不相互接触的液滴Fbl。另外，液滴Fb2由从喷嘴N2 依次喷出配置的液滴Fb和从喷嘴Nl依次喷出配置的液滴Fb形成。因此， 通过液滴喷出装置30能够容易地形成与液滴Fbl接触的液滴Fb2。其结 果，能够在基板上容易地形成更加均匀的膜厚的取向膜27。(3) 根据本实施方式，在两个第一喷嘴列目标喷出位置P1和两个第 二喷嘴列目标喷出位置P2所形成的四角形状的范围的中央设定有各目标 喷出位置P3、P4。因此，能够使液滴Fb2尽量均匀地与基板上的液滴Fbl 接触。其结果，能够在基板上形成更加均匀的膜厚的取向膜27。(4) 根据本实施方式，将目标喷出位置P1的液滴Fbl的间距NW之 间由目标喷出位置P2的液滴Fbl补充完整。因此，能够向基板上更加细 致地喷出相互不牵连的液滴Fbl。进而，将目标喷出位置P3的液滴Fb2 的间距NW之间由目标喷出位置P4的液滴Fb2补充完整。因此，能够在 基板上更加细致地使液滴Fbl与液滴Fb2接触。其结果，能够在基板上形 成更加均匀的膜厚的取向膜27。(5) 根据本实施方式，液滴Fb设为同一喷出量。因此，能够简化从 各喷嘴N1、 N2喷出液滴Fb的液滴喷头41的构成，另外，还能够容易地 进行用于从各喷嘴N1、 N2喷出液滴的控制。(6) 根据本实施方式，喷出由取向膜形成材料F构成的液滴Fb。因 此，能够在对置基板15上恰当地形成膜厚均匀的取向膜27。(7) 根据本实施方式，在液晶显示装置10的对置基板15上形成了 取向膜27。因此，能够恰当地形成液晶显示装置10。(第二实施方式)以下，结合图ll，对将本发明具体化的第二实施方式进行说明。再有，第一实施方式是在往动及复动中，即在两次通过中，向对置基板15上喷出液滴Fb，形成作为取向膜27的液状膜Z，与之相对，第二实 施方式中，在往动或复动中，即在一次通过中，形成作为取向膜27的液 状膜Z，在这一点上不同。随之，第二喷嘴列目标喷出位置P2的间隔不 同。艮P，第一喷嘴列NL1和第二喷嘴列NL2在X箭头方向上分离间隔 NLW (2毫米)。因此，先行喷出液滴Fb的喷嘴例如在使对置基板15往 动时，使第一喷嘴列NL1的喷嘴N1与第一实施方式同样，如图ll (a) 所示，向第一喷嘴列目标喷出位置Pl先行滴落配置液滴Fbl。然后，将 后续的第二喷嘴列NL2的喷嘴N2用的第二喷嘴列目标喷嘴位置P2如图 11 (b)所示，在X箭头方向上邻接的第一喷嘴列目标喷出位置P1之间设 定两个。具体而言，第二实施方式的两个第二喷嘴列目标喷嘴位置P2是 以第一实施方式的第二喷嘴列目标喷嘴位置P2为中心向X箭头方向及逆 X箭头方向偏倚距离a的作为第二位置的喷出位置P5、P6。本实施方式中， 将距离a设定为5微米。另外，第二实施方式中，设定液滴Fb的喷出量，使得在第一喷嘴列 目标喷出位置P1及第二喷嘴列目标喷嘴位置P2配置的作为第一液滴的液 滴Fb3的滴落直径R2为90微米。因此，喷出位置P5和距该喷出位置P5 最近的第一喷嘴列目标喷出位置P1之间的距离为95.5微米，在该喷出位 置P5和该目标喷出位置Pl配置滴落直径R2 (90微米)的各液滴Fb3时， 所述各液滴Fb3不相互接触。同样，喷出位置P6和距该喷出位置P6最近 的第一喷嘴列目标喷出位置Pl之间的距离为95.5微米，在该喷出位置P6 和该目标喷出位置P1配置滴落直径R2 (90微米)的各液滴Fb3时，所述 各液滴Fb3不相互接触。若运算各喷出位置P5及各喷出位置P6的位置坐标，则控制装置51 生成用于从喷嘴列NL2喷出液滴Fb的位图数据BMD5并进行存储。位图数据BMD5是与对置基板15上的各喷出位置P5及各喷出位置 P6分别对应了各位的值(0或1)的数据，是根据各位的值，规定各压电 元件PZ2的接通或断开的数据。即，位图数据BMD5通过合成各喷出位 置P5及各喷出位置P6而生成。而且，位图数据BMD5被规定成每当对应的各喷出位置P5及各喷出位置P6通过各喷嘴N2的正下方时都会喷 出液滴Fb。艮口，本实施方式中，根据位图数据BMDla从喷嘴Nl喷出液滴Fb， 根据位图数据BMD5从喷嘴N2喷出液滴Fb。接着，对使用上述的液滴喷出装置30形成取向膜27的方法进行说明。首先，如图3所示，在基板载置台33上载置对置基板15。从该状态开始，操作输入装置52，向控制装置51输入滴落直径信息 Ir。于是，控制装置51生成基于滴落直径信息Ir的位图数据BMDla、BMD5 并进行储存，并配置移动滑架37。若将各喷嘴N1的扫描路径DL1置于对 应的第一喷嘴列目标喷出位置P1上，将各喷嘴N2的扫描路径DL2置于 对应的各喷出位置P5、 P6上，则控制装置51开始向X箭头方向输送(扫 描)基板载置台33 (对置基板15)。若对置基板15相对于喷头41被沿X箭头方向扫描，则第一喷嘴列目 标喷出位置P1通过第一喷嘴列NL1的各喷嘴N1的正下方。每当第一喷 嘴列目标喷出位置P1通过第一喷嘴列NL1的各喷嘴N1的正下方时，从 喷嘴N1喷出的各液滴Fb都会如图11 (a)所示，依次滴落配置到沿X箭 头方向离开喷出间隔W(二140微米)的第一喷嘴列目标喷出位置P1 (区 块B21)(第一喷出工序)。另外，第一喷嘴列NL1和第二喷嘴列NL2在X箭头方向上分离间隔 NLW(2毫米)。因此，在喷嘴N1向一个区块群BG内的第一喷嘴列目标 喷出位置Pl喷出液滴Fb后，对置基板15沿X箭头方向扫描规定间隔， 相同区块群BG内的喷出位置P5及喷出位置P6通过第二喷嘴列NL2的正 下方时，如图ll(b)所示，从该喷嘴N2喷出各液滴Fb(第二喷出工序)。再有，从第一喷嘴列目标喷出位置P1到相同区块B内的喷出位置P5 (第二喷嘴列目标喷出位置P2)的X箭头方向的间隔W5是从间隔W2 去掉距离a (二5微米)的长度(=65微米)。另外，从第一喷嘴列目标 喷出位置P1到相同区块B内的喷出位置P6(第二喷嘴列目标喷出位置P2) 的X箭头方向的间隔W6是在间隔W2上加上距离a的长度(=75微米)。艮口，首先，向第一喷嘴列目标喷出位置P1 (区块B21)供给液滴Fb。 之后，向位于相同区块群BG的喷出位置P5 (区块B12内)配置来自各喷嘴N2的液滴Fb是在基板载置台33从所述第一喷嘴列目标喷出位置Pl 沿X箭头方向移动(扫描)间隔NLW+间隔W5 (=2毫米+ 65微米) 之后进行的。另外，同样，向位于相同区块群BG的喷出位置P6 (区块 12内)配置来自各喷嘴N2的液滴Fb是在基板载置台33从所述第一喷嘴 列目标喷出位置P1沿X箭头方向移动(扫描)间隔NLW+间隔W6 (= 2毫米+ 75微米)之后进行的。艮P，控制装置51在喷出位置P5或喷出位置P6通过各喷嘴N2的正 下方的时机，向各压电元件PZ2供给与波形数据WD2对应的压电元件驱 动信号COM2。若向喷出位置P5滴落配置液滴Fb3，然后向喷出位置P6滴落配置液 滴Fb3，则与已经配置到喷出位置P5的液滴Fb3接触结合。接触结合的喷出位置P5的液滴Fb3和喷出位置P6的液滴Fb3形成作 为一个第二液滴的液滴Fb4。由于合并了两喷出位置P5、 P6的两液滴Fb3 的中心位置为第一实施方式中的第二喷嘴列目标喷出位置P2，所以液滴 Fb4以第一实施方式中的第二喷嘴列目标喷出位置P2 (区块B12)为中心 而形成。结合后不久的液滴Fb4的直径大体为滴落直径R2 (=90微米) 上加上长度2a ( = 10微米)的值，不过，液滴Fb4的重量(液量)在该 直径下变为不稳定的重量，所以液滴Fb4的直径较大扩展。结果，如图11 (c)所示，扩展的液滴Fb4大致同时与四方的即配置 于区块B21的液滴Fb3接触。区块B12的液滴Fb4例如仅与一方向的液 滴Fb3接触时，有时也与接触的液滴Fb3牵连而其中心位置移动，不过， 由于大致同时与四方接触，所以能够与接触的液滴Fb3相互平衡良好地牵 连而恰当地形成液面。再有，在角部及缘部的形成于区块B12的液滴Fb4 只与二方向或三方向的区块B21上配置的液滴Fb3接触，不过，无论是哪 种情况，都与需要形成取向膜27的范围的液滴Fb3接触，所以能够恰当 地形成液面。若进行往动使得结束向各目标喷出位置Pl及各喷出位置P5、 P6滴落 配置液滴Fb，则控制装置51对X轴马达MX进行停止控制，停止向X 箭头方向输送基板载置台33 (对置基板15)。接着，控制装置51使滑架37沿Y箭头反向移动(进给)，通过同样的方法，重复向对置基板15滴落配置液滴Fb。然后，对于对置基板15而言，结束在对置基板15的上面形成由取向 膜形成材料F构成的液状膜Z后，通过烧成等，使取向膜形成材料F所包 含的溶剂干燥，形成取向膜27。根据本实施方式，在所述第一实施方式的效果的基础上，还能够获得 以下的效果。(1)根据本实施方式，在相同区块B12上，从喷嘴N2配置两个液 滴Fb3，使该两个液滴Fb3接触结合，形成液滴Fb4，并使该液滴Fb4与 喷嘴Nl所形成的液滴Fb3接触。因此，仅通过使液滴喷头41扫描一次， 就能够在对置基板15上使液滴Fb3和液滴Fb4结合形成液状膜Z。其结 果，能够更快地在对置基板15上形成由取向膜形成材料F构成的液状膜Z， 并形成取向膜27。再有，上述实施方式也可以如下变更。 上述实施方式中，通过液滴喷出装置30在对置基板15上形成了取 向膜27。但是，并不限定于此，也可以形成元件基板14或对置基板15 的其他膜或层，还可以形成成膜工序中的抗蚀层等。 上述实施方式中，在液晶显示装置10的对置基板15上形成了取向 膜27。但是，并不限定于此，基板可以是任一种基板。例如，作为液晶显 示装置以外的电光装置，可以是有机场致发光装置、电泳显示装置等的基 板。 上述实施方式中，喷头41具备在X箭头方向上平行的两个喷嘴列 NL1、 NL2。但是，并不限定于此，喷嘴列也可以是一个。此时，在第一实施方式中，使基板载置台33沿X箭头方向扫描，向 所有的目标喷出位置P1喷出液滴Fb，并使滑架37沿Y箭头方向进给间 隔W2后，使基板载置台33沿逆X箭头方向扫描，向目标喷出位置P2喷 出液滴Fb。然后，使基板载置台33沿X箭头方向扫描，向所有的目标喷 出位置P3喷出液滴Fb，并使滑架37沿逆Y箭头方向进给间隔W2后， 使基板载置台33沿逆X箭头方向扫描，向目标喷出位置P4喷出液滴Fb 即可。另外，第二实施方式中，使基板载置台33沿X箭头方向扫描，向所有的目标喷出位置P1喷出液滴Fb，并使滑架37沿Y箭头方向进给间隔 W2后，使基板载置台33沿逆X箭头方向扫描，向喷出位置P5、 P6喷出 液滴Fb即可。 上述实施方式中，喷头41具备在X箭头方向上平行的两个喷嘴列 NL1、 NL2。但是，并不限定于此，喷嘴列也可以多于两个。 上述实施方式中，喷嘴列NL1、 NL2分别由喷头驱动电路55、 56 喷出控制。但是，并不限定于此，两喷嘴列N1、 N2也可以由同一喷头驱 动电路喷出控制，或者由更多的喷头驱动电路喷出控制。 上述实施方式中，目标喷出位置Pl和目标喷出位置P2在X箭头 方向上偏离喷出间隔W的一半间隔W2。但是，并不限定于此，也可以小 于X箭头方向的间隔W2。即，只要间隔能够起到如下效果即可，即，在 第一实施方式中，后来配置的液滴Fb2与先前配置的液滴Fbl恰当地接触， 同样，在第二实施方式中，后来配置的液滴Fb4与先前配置的液滴Fb3恰 当地接触。
权利要求
1、一种成膜方法，通过液滴喷出单元使功能液状体成为液滴并将其喷出到相对移动的基板上，在所述基板上形成液状膜，在所述基板上在所述液滴不相互接触的多个第一位置分别滴落配置了第一液滴后，在所述滴落配置的各第一液滴之间的第二位置滴落配置第二液滴，使所述第二液滴与邻接的多个第一液滴接触，形成液状膜。
2、 根据权利要求1所述的成膜方法，其特征在于，所述第一位置等间隔设置，所述第二位置设置在由邻接的四个第一位置形成的四角形状的范围 内，在该第二位置配置第二液滴。
3、 根据权利要求2所述的成膜方法，其特征在于， 所述第二液滴在由邻接的四个第一位置形成的四角形状的范围内配置多个。
4、 根据权利要求1 3中任一项所述的成膜方法，其特征在于， 形成第一液滴的液滴和形成第二液滴的液滴为相同喷出量。
5、 一种取向膜形成方法，通过液滴喷出单元使取向膜形成材料成为 液滴并将其喷出到相对移动的液晶显示装置用基板上，在所述液晶显示装 置用基板上形成取向膜，所述取向膜形成方法包括如下工序在所述液晶显示装置用基板上在 所述液滴不相互接触的多个第一位置分别滴落配置了第一液滴后，在所述 滴落配置的各第一液滴之间的第二位置滴落配置第二液滴，使所述第二液 滴与邻接的多个第一液滴接触，形成取向膜。
6、 一种成膜方法，从按照通过与基板的相对扫描对该基板描绘规定 间距的扫描轨迹的方式配置的多个喷嘴，喷出功能液状体作为液滴，从而 在所述基板上形成液状膜，所述成膜方法包括第一喷出工序，以在所述基板上不相互接触的方式从所述喷嘴喷出多个所述液滴；和第二喷出工序，对所述第一喷出工序中配置的液滴之间的位置，从所述喷嘴喷出与该液滴相互接触的其他所述液滴；在所述第一喷出工序中，从各所述喷嘴喷出的所述液滴在扫描方向上 以规定间隔配置，在所述第二喷出工序中，从相互邻接的扫描轨迹所涉及的喷嘴喷出的 所述液滴，配置在相互相对于扫描方向不同的位置。
7、 根据权利要求6所述的成膜方法，其特征在于，在所述第二喷出工序中，从相互邻接的扫描轨迹所涉及的喷嘴喷出的 所述液滴，配置在相互相对于扫描方向相差所述规定间隔的大致一半间隔 量的位置。
8、 根据权利要求6或7所述的成膜方法，其特征在于， 所述规定间距及所述规定间隔是配置在所述基板上的状态下的所述液滴的直径的1 2倍。
9、 一种取向膜形成方法，从按照通过与液晶显示装置用基板的相对 扫描对该基板描绘规定间距的扫描轨迹的方式配置的多个喷嘴，喷出取向 膜形成材料作为液滴，从而在所述液晶显示装置用基板上形成取向膜，所述取向膜形成方法包括-第一喷出工序，以在所述液晶显示装置用基板上不相互接触的方式从 所述喷嘴喷出多个所述液滴；和第二喷出工序，对所述第一喷出工序中配置的液滴之间的位置，从所 述喷嘴喷出与该液滴相互接触的其他所述液滴；在所述第一喷出工序中，从各所述喷嘴喷出的所述液滴在扫描方向上 以规定间隔配置，在所述第二喷出工序中，从相互邻接的扫描轨迹所涉及的喷嘴喷出的 所述液滴，配置在相互相对于扫描方向不同的位置。
全文摘要
本发明提供一种使喷出到基板上的多个液滴恰当地结合来形成均匀膜厚的液状膜的成膜方法及取向膜形成方法。液滴喷出装置以不相互接触的方式将液滴(Fb1)配置在分别在X箭头方向上与邻接的液滴(Fb1)的间隔为大于喷出间隔(W)的间隔的各目标喷出位置(P1、P2)。接着，液滴喷出装置将液滴(Fb2)配置在分别在X箭头方向上从目标喷出位置(P1、P2)偏离了喷出间隔(W)的一半间隔的各目标喷出位置(P3、P4)。因此，配置在各目标喷出位置(P3、P4)的液滴(Fb2)与先前配置的邻接的液滴(Fb1)大致均匀地接触。其结果，不会产生液滴(Fb2)只与任一方的液滴(Fb1)牵连、收缩而产生条纹、或被引靠而产生凸起，能够在基板上形成均匀膜厚的液状膜。
文档编号B05C5/02GK101239350SQ200810009479
公开日2008年8月13日 申请日期2008年2月3日 优先权日2007年2月5日
发明者滨佳和, 石田纮平, 铃木克己 申请人:精工爱普生株式会社