专利名称::蚀刻液以及采用所述蚀刻液的塑料表面金属化方法
技术领域:
:本发明涉及蚀刻液,更详细地说,涉及具有优良的对塑料改性效果,浴稳定性高的蚀刻液以及采用所述蚀刻液的塑料表面金属化方法。
背景技术:
:从前,在塑料表面采用镀敷实施金属化处理时,为了提高塑料表面与镀敷被膜的粘合性,己知在镀敷处理前,把塑料表面用铬酸与硫酸的混合液进行粗糙化处理的蚀刻处理。然而,上述蚀刻处理中,由于采用有害的6价铬、于60。C以上的高温进行作业,故作业环境恶化,其废水处理也是必需注意的问题。另外,能够采用高锰酸蚀刻塑料的表面,但根据使用条件,高锰酸有时迅速发生分解,工业上使用有问题。专利文献1WO2005/094394号,小册子
发明内容发明要解决的课题因此,本发明的"^果题是提供具有各种塑料的优良的改性效果,浴的稳定性也高,工业上可在塑料表面金属化中使用的蚀刻液。用于解决课题的手段本发明人等,为了解决上迷课题进行悉心研究的结果发现,含有高锰酸盐与高碘酸或其盐,并调节了pH的蚀刻液,具有塑料的优良的改性效果,且浴的稳定性也高,完成本发明。即,本发明的蚀刻液,其特征在于,含有高锰酸盐及高殃酸或其盐,pH在2.0以下。另外,本发明的塑料表面金属化方法,其特征在于,把塑料用上述蚀刻液进行处理,对蚀刻处理过的塑料采用带催化剂的处理液进行处理,赋予催化剂,然后,对赋予了上述催化剂的塑料实施金属镀敷。发明效果本发明的蚀刻液,是具有各种塑料的优良的改性效果,浴的稳定性也高的蚀刻液。因此,本发明的蚀刻液,工业上能用于塑料表面金属化。具体实施例方式本发明的蚀刻液中含有的高锰酸盐,未作特别限定,例如,可以举出高锰酸钾、高锰酸钠等高锰酸金属盐。该高锰酸盐在蚀刻液中的浓度为0.0005mol/L以上、优选0.005~0.5mol/L、更优选0.07~0.5mol/L。另外,本发明的蚀刻液中含有的高碘酸或其盐,未作特别限定,例如,可以举出高硤酸二水合物、高碘酸钾、高碘酸钠等。该高碘酸或其盐在蚀刻液中的浓度为0.01mol/L以上、优选0.05~1.0mol/L。本发明的蚀刻液,上述高锰酸盐与高碘酸或其盐溶于水等溶剂中,然后,调节蚀刻液的pH使达到2.0以下、优选pHl.0以下。pH的调节,采用添加无机酸或有机酸、或者调节高碘酸或其盐的含量来进行。该pH调节中使用的无机酸,例如,可以举出磷酸、硫酸、硝酸等,作为有机酸,例如,可以举出醋酸、有机磺,酸等。这样得到的本发明的蚀刻液,申于具有各种塑料的优良的改性效果,浴的稳定性也高,故能够适于讫今己知的塑料表面金属化时使用。利用本发明的蚀刻液的塑料表面金属化方法,例如,把塑料用本发明的蚀刻液进行处理,蚀刻处理过的塑料再用带催化剂的处理液赋予催化剂,然后,对赋予了上述催化剂的塑料实施金属镀敷。采用本发明的蚀刻液进行处理的塑料,未作特别限定,例如,可以举出丙烯腈.丁二烯'苯乙烯(ABS)、聚碳酸酯/丙烯腈,丁二烯.苯乙烯(PC/ABS)、丙烯腈.苯乙烯.丙烯酸酯(ASA)、硅酮类复合橡胶-丙烯腈-苯乙烯(SAS)、改性聚苯醚(NoryrM,商品名)、聚丙烯、聚碳酸酯(PC)、丙烯腈.苯乙烯、聚乙酸酯、聚苯乙烯、聚酰胺、芳香族聚酰胺、聚乙烯、聚醚酮、聚对苯二甲酸乙二醇酯、聚对笨二甲酸丁二醇酯、聚砜、聚醚醚砜、聚醚酰亚胺、改性聚苯醚、聚苯硫醚、聚酰胺、聚酰亚胺、环氧树脂、液晶聚合物等及上述各聚合物的共聚物等。在这些塑料中,特别是ABS以及PC/ABS是优选的。用本发明的蚀刻液处理上述塑料时,液温为0~100X:、优选35~55"C,塑料于其中浸渍1~30分钟、优选5~15分钟即可。还有,也可在上述蚀刻处理后,用中和/还原处理液进行中和/还原处理。该中和/还原处理液,只要是一般的镀敷工序用于中和/还原处理的即可而未作特别限定,但含还原剂者是优选的。用这些中和/还原处理液进行塑料表面处理时,中和/还原处理液的液温为108(TC、优选30~6(TC,在其中浸渍塑料1~20分钟、优选2~5分钟即可。另外,在本发明中,用上述蚀刻液进行处理,由于塑料表面的官能基,具体的为羟基、羧基等亲水性官能基露出,在上述中和/还原处理后,在用下述带催化剂的处理液赋予催化剂前,把塑料表面露出的官能基,用含有选择吸附性的某种化合物(下面将其称作"选择吸附性化合物")的带催化剂的增强液进行处理是优选的。通过该带催化剂的增强液进行处理,通过其后的带催化剂处理,在塑料表面选择性地赋予催化剂,故镀敷金属不在夹具(jig)上析出。该带催化剂的增强液中含有的选择吸附性化合物,只要对上述官能基具有选择吸附性的化合物即可而未作特别限定,例如,可以举出含氮原子的化合物、含3个以上氮原子的化合物或分子量为100以上的化合物,优选含3个以上氮原子、分子量为100以上的化合物。作为该选择吸附性化合物的具体例子,可以举出亚乙基三胺、三亚乙基四胺等亚乙基二胺类化合物(但乙二胺除外);EpominTMSP-003、;EpominTMSP-012、;EpominTMSP-200(任何一种均为日本催化剂抹式会社制造)等亚乙基亚胺类高分子化合物;PAA-03、PAA-D41-HC1(任何一种均为日东纺织林式会社制造)等的烯丙基胺类高分子化合物;PAS-92、PAS-M-1、PAS-880(任何一种均为曰东纺织林式会社制造)等的二烯丙基胺类高分子化合物;PVAM-0570-B(三菱化学林式会社制造)等的乙烯基胺类高分子化合物。在这些选择吸附性化合物中,特别是亚乙基亚胺类高分子化合物、烯丙基胺类高分子化合物以及二烯、丙基胺类高分子化合物是优选的。这些选择吸附性化合物在赋予催化剂的增强液中的浓度为10mg/L以上、优选100~1000mg/L。另外,该赋予催化剂的增强液,其pH,例如用氢氧化钠、硫酸等,调至5~12、优选8~10。采用该赋予催化剂的增强液处理上述塑料表面时,液温为0~70°C、优选25~35。C,在其中浸渍塑料1~20分钟、优选2~3分钟即可。如上所述那样蚀刻处理过的塑料,再用赋予催化剂的处理液进行处理,赋予催化剂。该赋予催化剂的处理液,一般只要是在镀敷工序赋予催化剂的即可而未作特别限定,含贵金属者是优选的,含钯者是更优选的,特别是钯/锡混合胶体催化剂溶液是优选的。为使这些催化剂赋予塑料表面,赋予催化剂的处理液的液温为10~60。C、优选20~50匸,在其中浸渍塑料120分钟、优选:2~5分钟即可。因此,对上述赋予了催化剂的塑料表面,其后,采用非电解金属镀敷或镀敷金属(直接镀敷)等金属镀敷,进行塑料表面的金属化。塑料表面的金属化采用非电解金属镀敷时,用催化剂赋予处理液赋予催化剂后,也可再用含盐酸或硫酸的活性处理液进行处理。该活化处理液中的盐酸或硫酸的浓度在0.5mol/L以上、优选l4mol/L。用这些活化处理液进行塑料表面处理时,活化处理液的液温为0~60X:、优选30451C,在其中浸渍塑料1~20分钟、优选2~5分钟即可。如上所述那样催化剂的赋与、活化处理过等的塑料,其次,进行非电解金属镀敷处理。非电解金属镀敷处理,采用公知的非电解镍镀敷液、非电解铜镀敷液、非电解钴镀敷液等的非电解金属镀敷液,依常法进行。具体的是,采用非电解镍镀敷液,于塑料表面进行镀敷处理时,于pH8~10、30S0X:液温的非电解镍镀敷液中使塑料浸渍5~15分钟进4于处理即可。另外,塑料表面的金属化,采用直接金属镀敷(直接镀敷)时,采用赋予催化剂的处理液赋予催化剂后,也可再用含铜离子的pH7以上、优选pH12以上的活化处理液进行处理。该活化处理液中含有的铜离子的来源,未作特别限定,例如,可以举出硫酸铜等。用活化处理液处理塑料表面时,活化处理液的液温为0~60X:、优选30~50匸,在其中浸渍塑料120分钟、优选25分钟即可。如上所述那样把催化剂的赋予、活化处理过的塑料,其后浸渍在硫酸铜浴等通用的镀敷铜浴中,用通常的条件,例如,用1~5A/dm2处理2~10分钟即可。另外,对上述那样塑料表面实施非电解镀敷或金属镀敷等的金属镀敷,在金属化的塑料表面上,可再根据目的,实施各种铜镀敷或镍镀敷。实施例下面举出实施例,详细地说明本发明,但本发明不受这些实施例的任何限定。实施例1蚀刻液的配制(1):把各成分于水中进行混合,以使达到下表1中所示的量,配制蚀刻液。把这些蚀刻液分别加热达到70'C后,测定浴至分解的时间。还有,浴至分解可通过目视,根据色调(从紫色变成茶色)进行判断。其结果也一并示于表l。表1高锰酸钾磷酸硫酸硝酸甲磺酸高碘酸浴至分解的所要时间比较品10.0610--一一「1.0以下3小时分解实施品10.0610---0.21.0以下15小时以上无变化比较品20,06-5-一一1.0以下30分钟分解实施品20,06--一0.21.0以下15小时以上无变化比较品30.06-一8.5-一1.0以下30分钟分解实施品30.06--8.5、1,-0.21.0以下15小时以上无变化比较品40,06—一一''.5一1.0以下建浴后立即分解<table>tableseeoriginaldocumentpage8</column></row><table>数值的单位全部为mol/L实施例2非电解镀敷被膜的制造用50xl00x3mm的ABS树脂(UMGABS林式会社制造)作为试样,将其于加热至35'C的上述实施例1中制造的各蚀刻液(实施品1~7及比较品1~7)中浸渍10分钟。然后,将其于35。C的中和/还原处理液DS-350(荏原Udy1ite林式会社制造)中浸渍3分钟,使表面中和/还原。中和/还原过的试样,于200mg/L的PAA-03(聚烯丙基胺日东纺织林式会社制造)用氢氧化钠调pH至10的3(TC的催化剂赋予增强液中浸渍2分钟,再将其于1.2mol/L盐酸中室温下浸渍l分钟。把该试样于含10ml/L的CT-580(荏原Udylite林式会社制造)及2.5mol/L的盐酸的35X:钯/锡混合胶体催化剂溶液中浸溃4分钟,赋予ABS树脂上催化剂。赋予了催化剂的试样,于含1.2mol/L盐酸的35C的活化处理液中浸渍4分钟,使催化剂活化,其次,于PH8.8、35。C的非电解镍镀敷液ENILEXNI-5(荏原Udy1ite抹式会社制造)中浸渍10分钟,实施非电解镍镀敷,以使ABS树脂上形成膜厚0.5拜。然后,于含150g/L的V-345(荏原Udylite林式会社制造)的酸活性溶液中,于室温下浸渍1分钟,其次,于含0."mol/L的硫酸镍、0.4mol/L的氯化镍及0.55mol/L硼酸的45。C瓦特浴中,以W/dW浸溃3分钟。再将其于含10ml/L的PDC(荏原Udylite抹式会社制造)及0.5mol/L的硫酸的室温下铜置换液中浸渍1分钟,进行铜置换。最后,将其于含0.9mol/L的石充酸铜、0.55mol/L的硫酸及0.0017mol/L氯的25'C的硫酸铜镀敷液EP-30(荏原Udylite林式会社制造)中,用3A/dm、实施镀敷铜40分钟,以使膜厚达到20pra。然后,将其于70'C退火1小时。试验例1粘合强度测定实施例2中得到的非电解镀敷被膜的粘合强度,按照JISH8630附件6,用拉伸强度试验机AGS-H5OON(林式会社岛津制造作所制造)进行测定。其结果示于表2。表2<table>tableseeoriginaldocumentpage9</column></row><table>-:不能测定即使往蚀刻液中添加高碘酸,则最终得到的非电解镀敷被膜的粘合强度,与未添加时相同。实施例3蚀刻液的制造把各成分于水中进行混合,以使达到下表3中所示的量,配制蚀刻液。把这些蚀刻液分别加热达到70。C后,与实施例1同样操作,测定浴至分解的时间。其结果示于表3。表3<table>tableseeoriginaldocumentpage10</column></row><table>数值的单位,全部为mol/L任何一种添加高碘酸与未添加时相比,均得到高的浴稳定性。实施例4非电解镀敷被膜的制造用50X100X3mm的ABS树脂(UMGABS抹式会社制造)作为试样。把该试样于含0.06mol/L的高锰酸钾、0.2mol/L高碘酸及5mol/L的硫酸,pH1.0以下的35'C蚀刻液中浸渍10分钟,然后,于35。C的中和/还原处理液DS-350(荏原Udylite林式会社制造)中浸渍3分钟,中和/还原表面。该中和/还原过的试样于50x:的离子性催化剂赋予处理液PC-65H(荏原Udy1Ue林式会社制造)中浸渍4分钟,于ABS树脂上赋予钯催化剂后,再于35。C的活化处理液PC-66H中浸渍4分钟,使催化剂活化。然后,把该试样于pH8.8、35'C的非电解镍镀敷液ENILEXNI-5(荏原Udy1ite林式会社制造)中浸溃10分钟,ABS树脂上实施非电解镍镀敷,以使膜厚达到0.5nm。然后,于含150g/L的V-345(荏原Udylite林式会社制造)的酸活性液中室温下浸渍1分钟,其次,于含0.75mol/L的硫酸镍、0.4mol/L的氯化镍及0.55mol/L的硼酸的45。C瓦特浴中,用2V/(W浸渍3分钟。再将其于含10ml/L的PDC(荏原Udyiite林式会社制造)及0.5mol/L的硫酸的室温下铜置换液中浸渍1分钟,进行铜置换后,用含0.9mol/L的硫酸铜、0.55mol/L的硫酸及0.0017mol/L氯的25。C的硫酸铜镀敷液EP-30(荏原Udy1ite抹式会社制造),用3A/dm2实施镀敷铜40分钟以使膜厚达到20nm。然后,将其于7(TC退火1小时。上述得到的非电解镀敷被膜的粘合强度与试验例1同样进行测定的结果为粘合强度达到1.4kgf/cm。比较例1非电解镀敷被膜的制造采用50X100x3mm的ABS树脂(UMGABS林式会社制造)作为试样,将其于3.5mol/L的铬酸酐及3.6mol/L的疏酸构成的68*€的蚀刻液中浸溃10分钟。然后,将其于35TC的中和/还原处理液DS-350(荏原Udy1ite林式会社制造)中浸渍3分钟,中和/还原表面。把中和/还原过的试样于1.2mol/L的盐酸中室温下浸渍1分钟。把该试样于含10ml/L的CT-580(荏原Udylite林式会社制造)及2.5mol/L的盐酸的35t:的钯/锡混合胶体催化剂溶液中浸渍4分钟,在ABS树脂上赋予催化剂。赋予了催化剂的试样于含1.2mol/L盐酸的35。C的活性处理液中浸渍4分钟,使催化剂活化,然后,于pH8.8、35。C的非电解镍镀敷液ENILEXNI-5(荏原Udylite林式会社制造)中浸渍10分钟,实施非电解镍镀敷,以使在ABS树脂上达到膜厚0.5jim。然后,于含150g/L的V-345(荏原Udylite林式会社制造)的酸活性溶液中室温下浸渍1分钟,然后,于含0.75mol/L的硫酸镍、0.4mol/L的氯化镍及0.55bio1/L硼酸的45ig瓦特浴中,以2V/dm'浸渍3分钟。再将其于含10ml/L的PDC(荏原Udylite抹式会社制造)及0.5mol/L硫酸的室温下铜置换液中浸渍1分钟,进行铜置换。最后,将其于含0,9mol/L的硫酸铜、0.55mol/L硫酸及0.0017mol/L氯的25。C硫酸铜镀敷液EP-30(荏原Udylite林式会社制造)中,用3A/dii^实施铜镀敷40分钟以使膜厚达到20nm。然后,将其于70。C退火1小时。上述得到的非电解镀敷被膜的粘合强度与试验例1同样进行测定的结果为粘合强度达到1.2kgf/cm。实施例5非电解镀敷被膜的制造用蚀刻液处理过的塑料,除从ABS改变为表4中列举的塑料以外,与实施例2同样进行操作,制造非电解镀敷被膜。所得到的非电解镀敷被膜的镀敷析出性,目视进行评价。另外,所得到的非电解镀敷被膜的粘合强度,与试验例1同样操作进行测定。这些结果也一并示于表4。表4<table>tableseeoriginaldocumentpage12</column></row><table>ABS、PC/ABS、ASA、SAS、PC:UMGABS抹式会社制造改性聚苯醚(Noryl,商品名)GeneralElectric制造聚丙烯日本Polychem林式会社制造采用现有法时,对镀敷析出的原材料也要进行镀敷,以防夹具析出,粘合强度也达到同等以上的值。比较例2非电解镀敷被膜的制造用蚀刻液处理过的塑料,除从ABS改变为表5中列举的塑料以外,与比较例1同样进行操作,制造非电解镀敷被膜。所得到的非电解镀敷被膜的镀敷析出性,目视进行评价。另外,所得到的非电解镀敷被膜的粘合强度,与试验例1同样操作进行测定。这些结果也一并示于表5。表5<table>tableseeoriginaldocumentpage13</column></row><table>-:不能测定实施例6在ABS树脂上直接镀敷采用5Qxl00x3mmABS树脂(UMGABS林式会社制造)作为试样。把该试样于含0.06mol/L高锰酸钾、0.2mol/L高碘酸及5mol/L硫酸的35。C蚀刻液中浸渍10分钟,然后,于35。C的中和/还原处理液DS-350(荏原Udylite抹式会社制造)中浸渍3分钟,中和表面。该中和/还原过的试样于200mg/L的PAA-03(聚烯丙基胺日东纺织林式会社制造)经氢氧化钠调节pH至10的30'C催化剂赋予增强液中浸渍2分钟,再于1.2mol/L的盐酸中室温下浸渍1分钟。然后,将其于含25ml/L的D-POPACT(荏原Udy1ite林式会社制造)、1.2mol/L盐酸及1.7mol/L氯化钠的35。C活化剂中浸渍4分钟,再于含100ml/LD-P0PMEA(荏原Udylite抹式会社制造》及100ml/LD-P0PMEB(荏原Udylite抹式会社制造)的45C金属陶瓷粘结粉中浸渍3分钟。最后,将其采用含硫酸铜o.9mol/L、0.55mol/L硫酸及0.017mol/L盐酸的25'CEP-30(硫酸铜镀敷液荏原Udylite林式会社制造),通电初期为软起动(最初30秒为0.5V、其后30秒为1.OV进行),最终达到3A/dm2的直接镀敷进行10分钟。在ABS树脂上进行直接镀敷的结果是,通电5分钟时,在夹具被覆上的镀敷也不发生析出,可对全体试样表面赋予镀敷。另外,与试验例1同样测定的镀敷被膜的粘合强度为1.Okgf/cm。比较例3ABS树脂上的直接镀敷采用50x100x3mm的ABS树脂(UMGABS林式会社制造)作为试样。把该试样于3.5mol/L铬酸酐及3.6mol/L疏酸构成的68n的蚀刻液中浸渍IO分钟,然后,于35'C的中和/还原处理液DS-350(荏原UdylUe株式会社制造)中浸渍3分钟,中和表面。把该中和/还原的试样于1.2mol/L的盐酸中室温下浸渍1分钟。其次,将其于含25ml/L的D-POPACT(荏原Udylite林式会社制造)、1.2mo1/L的盐酸及1.7mo1/L的氯化钠的35'C的活化剂中浸渍4分钟,再于含100ml/L的D-P0PMEA(荏原Udy1ite抹式会社制造)及100ml/L的D-P0PMEB(荏原Udy1ite林式会社制造)的45'C的金属陶瓷粘结粉中浸渍3分钟。最后,将其采用含硫酸铜0.9mol/L、0.55mol/L的硫酸及0.017mol/L盐酸的25'C的EP-30(硫酸铜镀敷液荏原Udylite抹式会社制造),通电初期为软起动(最初30秒为0.5V、其后30秒为1.0V进行),最终达到3A/dm2的直接镀敷进行10分钟。上述得到的镀敷被膜的粘合强度与试验例1同样进测定的结果是粘合强度为1.0kgf/cm。实施例7非电解镀敷被膜的制造把含有0.3mol/L的高锰酸钾及0.2mol/L的高碟酸的蚀刻液的pH用硫酸及氢氧化钠调节成下表6中记载的pH。除采用这些蚀刻液以外,与实施例2同样进行操作,制造非电解镀敷被膜。所得到的非电解镀敷被膜的析出性用肉眼观察进行评价。其结果示于表6。<table>tableseeoriginaldocumentpage15</column></row><table>当蚀刻液的pH达到2.0以下时,可得到良好的镀敷析出性。实施例8非电解镀敷被膜的制造采用50x100x3mm的ABS树脂(UMGABS林式会社制造)作为试样。把该试样于含0.06mol/L的高锰酸钾、0.2mol/L高碘酸及5mol/L的硫酸,pHl.0以下的55'C的蚀刻液中浸渍10分钟,其次,于35X:的中和/还原处理液DS-350(荏原Udylite林式会社制造)中浸渍3分钟,中和/还原表面。把中和/还原过的试样于1.2mol/L的盐酸中室温下浸渍1分钟。把该试样于含100ml/L的CT-580(荏原Udylite林式会社制造)及2.5mol/L盐酸的45X:的钯/锡混合胶体催化剂溶液中浸渍4分钟,对ABS树脂上赋予催化剂。赋予了催化剂的试样于含1.2mol/L盐酸的35。C的活化处理液中浸溃2分钟,使催化剂活化,其次,于pH8.8、35TC的非电解镍镀敷液ENILEXNI-5(荏原Udylite林式会社制造)中浸渍IO分钟,实施非电解镍镀敷,以使ABS树脂上形成膜厚0.5!iim。然后,于含150g/L的V-345(荏原Udylite抹式会社制造)的酸活性溶液中室温下浸渍1分钟,其次,于含0.75mol/L的硫酸镍、0.4mol/L的氯化镍及0.55mol/L硼酸的45。C瓦特浴中,于2V/dm2浸渍3分钟。再将其于含10ml/L的PDC(荏原UdylUe林式会社制造)及0.5mol/L硫酸的室温下铜置换溶液中浸渍1分钟,进行铜置换。最后,将其于含o.9moi/L硫酸铜、0.55mol/L硫酸及0.0017mol/L氯的25'C硫酸铜镀敷液EP-30(荏原UdylUe抹式会社制造)中,用3A/dii^实施镀敷铜40分钟,以使膜厚达到20nm。然后,将其于7(TC退火1小时。上述得到的镀敷被膜的粘合强度与试验例1同样进行测定的结果是粘合强度为1.Okgf/cra。产业上的利用可能性本发明的蚀刻液,具有各种塑料的优良的改性效果,并且浴的稳定性也高,故工业上用于塑料表面的金属化。权利要求1.蚀刻液,其特征在于,含有高锰酸盐及高碘酸或其盐,pH为2.0以下。2.按照权利要求1所述的蚀刻液,其中,高碘酸或其盐的浓度为0.Olmol/L以上。3.按照权利要求1或2所述的蚀刻液,其中,高锰酸盐的浓度为0.0005mol/L以上。4.塑料表面的金属化方法,其特征在于,把塑料用权利要求1~3的任何一项所述的蚀刻液进行处理,对蚀刻处理过的塑料,用催化剂赋予处理液进行处理,赋予催化剂,然后,对赋予了上述催化剂的塑料实施金属镀敷。5.按照权利要求4所述的塑料表面的金属化方法,其中,用蚀刻液的处理是在0。C~100。C的液温下进行。全文摘要本发明的目的提供具有各种塑料的优良的改性效果,并且浴的稳定性也高,工业上用于塑料表面金属化的蚀刻液。该蚀刻液,其特征在于,含有高锰酸盐及高碘酸或其盐,pH为2.0以下。文档编号C09K13/00GK101680093SQ20088001227公开日2010年3月24日申请日期2008年3月28日优先权日2007年4月18日发明者中山香织,仓持保之申请人:荏原优莱特科技股份有限公司