专利名称：金属件清洗方法及涂敷装置的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种清洗向基板吐出涂敷液的金属件的金属件清洗方法、以及能够实施该清洗方法的涂敷装置。
背景技术：
在液晶显示器等平板显示器、太阳能电池面板等中使用形成有像素、电路图案等的基板，这样的基板例如通过使用涂敷抗蚀液(涂敷液)而进行的光刻蚀技术来制作。作为对基板涂敷液的装置，已知有具有在宽度方向上较长的缝隙形成于内部的金属件的涂敷装置。根据该涂敷装置，在使金属件相对于基板水平移动的同时，从缝隙吐出涂敷液，从而能够在基板表面形成涂敷液的膜。 利用该涂敷装置长时间持续进行涂敷作业时，有时涂敷液的固化物或者混入涂敷液的异物等粘着物会粘着在缝隙、缝隙开口的金属件前端、以及金属件前端的外侧面等，这些粘着物可能会影响涂敷液的吐出，从而产生涂敷缺陷。因此，有人提出了例如专利文献I中所公开的清洗金属件的清洗装置。该清洗装置包括储存清洗液并用于将金属件前端浸溃在该清洗液中的清洗槽；以及用于使清洗液流入金属件(缝隙)的流路。并且，在该流路的途中设置有对清洗液施加超声波振动的超声波振荡器，通过该超声波振动使金属件内部粘着的粘着物浮起，提高清洗效果。现有技术文献专利文献专利文献I :日本发明专利公开第2007 - 253093号公报(参照图I、图2、图3)
发明内容
采用专利文献I所述的清洗装置时，由于对清洗液施加超声波振动的位置在清洗液流动的流路的途中远离金属件(缝隙)，因此超声波的振动能量衰减，不能期待其提高对金属件的清洗效果。因此，为了使对清洗液施加超声波振动的位置在金属件前端附近，例如，考虑在用于储存清洗液且用于使金属件前端浸溃在该清洗液中的清洗槽的底部设置振子，通过该振子对清洗液施加振动波(超声波振动)，从而进行金属件的清洗。但是，如上所述，利用在浸溃在清洗液中的金属件前端附近设置的振子，只对清洗液施加振动波(超声波振动)，虽然能够清洗缝隙开口的金属件前端及金属件前端的外侧面，但是，对清洗液施加的振动波(基于振动波的空穴现象)不能到达开口宽度非常窄的缝隙(特别是离金属件前端远的缝隙内部)，所以不能够清洗缝隙的粘着物。因此，为使对清洗液施加的振动波(基于振动波的空穴现象)到达金属件的缝隙(缝隙内部)，可以考虑从金属件前端吸引施加了振动波(超声波振动)的清洗液的方法。但是，粘着有粘着物的区域由于粘着物的阻力，使清洗液难以流动，因此，仅从金属件吸引含空穴现象的清洗液，清洗液避开粘着物而流动，空穴现象不能到达粘着物，因而不能有效地清洗粘着物。即，在现有技术中，清洗作用弱，在宽度方向上较长的缝隙(金属件)的整体上难以得到没有斑点的清洗结果，另外，为了得到期望的清洗结果，需要反复进行清洗，需要大量的清洗时间。由于需要至重新开始涂敷作业为止的时间，因而妨碍生产效率的提高。因此，本发明的目的在于提供一种能够使现有技术中由于振动波(基于振动波的空穴现象)的传播不充分而残留的粘着物浮起、能够在短时间内效率良好地得到没有斑点的期望的清洗结果的金属件清洗方法，以及能够实施该清洗方法的涂敷装置。本发明的金属件的清洗方法的特征在于，该金属件内形成有在该金属件宽度方向上长、且在该金属件的前端开口的缝隙，该清洗方法包括 第I流入工序，使金属件前端浸 溃在清洗槽内的施加了振动波的清洗液中，使该清洗液通过所述缝隙向金属件内部流入；气体流入工序，从在所述第I流入工序中使清洗液向金属件内部流入的状态，使气体在缝隙的宽度方向的全长通过所述缝隙流入所述金属件内部；以及第2流入工序，在所述气体流入工序后，使所述金属件前端浸溃在所述清洗槽内的施加了振动波的清洗液中，使该清洗液通过所述缝隙向所述金属件内部流入。根据本发明，在第I流入工序中，通过使施加了振动波的清洗液向金属件内部流入，能够使粘着在金属件内部的粘着物浮起。并且，通过从使清洗液向金属件内部流入的状态，使气体在缝隙的宽度方向的全长通过所述缝隙流入金属件内部，能够使气体和清洗液的气液界面一齐在缝隙的宽度方向的全长移动。其结果，在金属件内部获得粘着物剥离效果的同时，在第2流入工序中，在再次使施加了振动波的清洗液流向金属件内部之际，振动波(基于振动波的空穴现象)传播的状态(路径)被从第I流入工序改变，能够使因振动波的传播不充分而残留的粘着物浮起。其结果，能够在短时间内得到期望的清洗结果。另外，在所述气体流入工序中，优选通过使所述金属件前端与所述清洗液的液面分离，从而使气体在所述缝隙的宽度方向的全长通过所述缝隙流入所述金属件内部。此时，只要从使金属件前端浸溃在洗槽内的清洗液中的状态进行将该金属件前端和清洗液的液面分离的操作，就能够简单地使气体在缝隙的宽度方向的全长通过缝隙流入金属件内部。从第I流入工序向气体流入工序转移时，由于向金属件内部一侧流动的清洗液中含有较多的气体，因此，由于气体溶解在清洗液中，因而在将该清洗液直接返回到清洗槽之后进行第I流入工序(或者第2流入工序)时，是对溶解气体量增加的清洗液施加振动波。此时，可能由于溶解气体而阻碍清洗液中振动波的空穴现象的产生，从而使得利用空穴现象使粘着物浮起的效果可能变弱。因此，优选所述金属件的清洗方法还包括气体排出工序，通过被在所述第I流入工序及所述第2流入工序中从所述缝隙流入的清洗液充满的流路，将所述清洗液返回至所述清洗槽，并从所述流路将在所述气体流入工序中流入的气体通过与所述缝隙不同的排出流路排出。“返回到清洗槽的清洗液”可以是在第I流入工序及第2流入工序中从缝隙流入的清洗液，或者也可以是新的清洗液。使从缝隙流入的清洗液返回时，使该清洗液中所含的气体通过排出流路排出。使新的清洗液返回时，使从缝隙流入的清洗液中所含的气体与该清洗液一起通过排出流路排出，新的清洗液代替该清洗液返回到清洗槽。
此时，即使将清洗液返回到清洗槽，也能够抑制清洗槽内的清洗液的溶解气体量增加，即使之后进行第I流入工序(或者第2流入工序)，也能够防止利用振动波使粘着物浮起的效果减弱。另外，通过对清洗液施加振动波而使异物在清洗槽内浮遊时，根据第I流入工序及第2流入工序中的一方或者双方，该清洗槽内的浮遊异物有可能随清洗液一同被吸进金属件内部一侧。因此，优选所述金属件的清洗方法还包括整理工序，在使所述金属件前端浸溃在所述清洗槽内的清洗液中的状态下，在所述第I流入工序及所述第2流入工序中的一方或者双方中使清洗液向所述金属件内部一侧流入后，从所述缝隙向该清洗槽吐出(从缝隙流入的或新的)清洗液；在该整理工序中，在对所述清洗槽中的清洗液施加振动波的状态下，使浸溃在该清洗槽内的清洗液中的所述金属件前端从该清洗液的液面离开。此时，即使清洗槽内的浮遊异物与清洗液一同被吸入到金属件内部一侧，并粘着 在金属件内部的接液面(液体接触面)，也能够利用整理工序，通过使(从缝隙流入的或者新的)清洗液向清洗槽吐出，从而使粘着在金属件内部的接液面的清洗槽内的异物利用振动波而浮起，并从金属件内部吐出。而且，由于在对清洗槽中的清洗液施加振动波的状态下，使浸溃在清洗槽内的清洗液中的金属件前端离开该清洗液的液面，因此，能够防止浮游在所述清洗槽内的异物再次粘着在金属件内部和金属件前端。其结果，清洗作业结束后，能够不借助人手，迅速地向涂敷作业转移。另外，在清洗槽内浮遊的异物具有利用振动波容易在缝隙内浮遊并容易向金属件内部侵入的形态(比重、大小等)时，特别是根据第I流入工序及第2流入工序中的一方或者双方，该清洗槽内的浮遊异物容易与清洗液一起被向金属件内部一侧吸入。此时，优选所述金属件的清洗方法还包括整理工序，在使所述金属件前端浸溃在所述清洗槽内的清洗液中的状态下，在所述第I流入工序及所述第2流入工序中的一方或者双方中使(从缝隙流入的或新的)清洗液向所述金属件内部一侧流入后，从所述缝隙向该清洗槽吐出清洗液；在该整理工序中，在使清洗液向所述清洗槽吐出的途中停止对该清洗槽内的清洗液施加振动波。此时，即使清洗槽内的浮遊异物与清洗液一起被向金属件内部一侧吸入，也能够利用该整理工序，通过在对清洗槽内的清洗液施加振动波的期间向清洗槽吐出(从缝隙流入的或者新的)清洗液，从而简单地使向金属件内部吸入的清洗槽内的浮遊异物从金属件内部吐出。并且，此时，通过施加超声波，能够避免异物粘着在金属件前端。而且，通过在使清洗液向清洗槽吐出的途中停止对清洗槽内的清洗液施加振动波，从而使清洗槽内的异物沉淀，能够防止异物利用振动波在清洗槽内浮遊，能够避免异物向金属件前端粘着。其结果，清洗作业结束后，能够不借助人手，迅速地向涂敷作业转移。另外，优选所述金属件的清洗方法还包括更换工序，在通过使超声波振子以低频率振动以产生所述振动波而进行的所述第I流入工序及所述第2流入工序之后，在再次进行所述第I流入工序的情况下，在再次进行该第I流入工序前至少更换一部分所述清洗槽中的清洗液。此时，通过使超声波振子以低频率振动以产生振动波而进行所述第I流入工序及所述第2流入工序，能够进一步提高金属件的清洗效果。作为低频率，为20kHz以上40kHz以下。但是，采用这样的低频率时，清洗液的温度容易上升，通过再次进行第I流入工序，使该清洗液向金属件内部一侧流入，金属件的温度也上升。此时，金属件发生热膨胀，缝隙的尺寸发生变化，使用该金属件立刻进行涂敷作业时，有可能会影响涂敷的品质。因此，有必要停止作业，直至清洗液的温度降低至一定的温度为止，因而造成时间的损失。因此，此时，利用所述更换工序至少更换一部分清洗槽中的清洗液，能够防止利用温度上升的清洗液再次进行第I流入工序。另外，优选所述金属件的清洗方法还包括连续更换工序，在通过使超声波振子以低频率振动以产生所述振动波的期间，至少更换一部分所述清洗槽中的清洗液。此时，通过使超声波振子以 低频率(20kHz以上40kHz以下)振动以产生振动波，虽然能够进一步提高金属件的清洗效果，但在采用这样的低频率时，清洗液的温度易上升，然后使该清洗液流入金属件内部一侧时，金属件的温度也上升。此时，金属件发生热膨胀，缝隙的尺寸发生变化，使用该金属件立刻进行涂敷作业时，有可能会影响涂敷的品质。因此，有必要停止作业，直至清洗液的温度降低至一定的温度为止，因而造成时间的损失。因此，此时，利用所述连续更换工序至少更换一部分清洗槽中的清洗液，能够不使用温度上升的清洗液。另外，本发明的涂敷装置的特征在于包括装置主体，其具有金属件，在该金属件内形成有在该金属件的宽度方向上长、且在该金属件前端开口的缝隙，从该缝隙向基板吐出涂敷液进行涂敷；以及清洗结构，其清洗所述金属件。所述清洗结构包括清洗槽，其储存清洗液；振荡装置，其对所述清洗槽内的所述清洗液施加振动波；输液单元，其在使金属件前端浸溃在所述清洗槽内的施加了振动波的清洗液中的状态下，使该清洗液通过所述缝隙向金属件内部流入；以及控制装置，进行控制，使得从通过所述输液单元使清洗液向金属件内部流入的状态，气体在该缝隙的宽度方向的全长通过所述缝隙流入所述金属件内部。根据本发明，通过使施加了振动波的清洗液向金属件内部流入，能够使粘着在金属件内部的粘着物浮起。并且，通过从使清洗液向金属件内部流入的状态，使气体在缝隙的宽度方向的全长通过所述缝隙流入金属件内部，能够使气体与清洗液的气液界面一齐在缝隙的宽度方向的全长移动。其结果，在金属件内部获得粘着物剥离效果的同时，在再次使施加了振动波的清洗液向金属件内部流入时，沿着清洗液的流向的振动波(基于振动波的空穴现象)传播的状态(路径)被改变，能够使现有技术中因振动波的传播不充分而残留的粘着物浮起。其结果，能够在短时间内得到期望的清洗结果。另外，优选所述涂敷装置还包括位置变更单元，其变更所述清洗槽内的清洗液的液面与所述金属件前端的高度方向的相对位置；所述控制装置控制所述位置变更单元，使所述金属件前端与所述清洗液的液面在高度方向上分离，从而使气体在所述缝隙的宽度方向的全长通过所述缝隙流入所述金属件内部。此时，从使金属件前端浸溃在清洗槽内的施加了振动波的清洗液中的状态，利用位置变更单元，使该金属件前端和清洗液的液面在高度方向上分离，从而能够使气体在缝隙的宽度方向的全长通过缝隙流入金属件内部。另外，根据所述输液单元，由于向金属件内部一侧流入的清洗液中含有较多的气体，因此，在使该清洗液直接返回到清洗槽后，在使金属件前端浸溃在清洗槽内的施加了振动波的清洗液中的状态下，在使清洗液通过缝隙向金属件内部流入时，是对溶解气体量增加的清洗液施加振动波。此时，可能由于溶解气体而阻碍清洗液中振动波的空穴现象的产生，从而使得利用空穴现象使粘着物浮起的效果可能减弱。因此，优选所述涂敷装置还包括清洗液返回部，其利用所述输液单元，通过被从所述缝隙流入的清洗液充满的流路，将(从缝隙流入的或新的)清洗液返回到所述清洗槽；以及排出流路，其使从所述缝隙流入的气体排出到所述清洗槽以外的区域。此时，即使使清洗液返回到清洗槽，也能够抑制清洗槽内的清洗液的溶解气体量增加，能够防止利用振动波使粘着物浮起的效果减弱。根据本发明，通过气体与清洗液的气液界面一齐在缝隙的宽度方向的全长移动，在金属件内部获得粘着物剥离效果的同时，在再次使施加了振动波的清洗液向金属件内部流入时，振动波(基于振动波的空穴现象)传播的状态(路径)被改变，能够使现有技术中因 振动波的传播不充分而残留的粘着物浮起，能够在短时间内得到期望的清洗结果。
图I是表示本发明的涂敷装置的一种实施方式的示意图；图2是金属件及清洗结构的说明图；图3是说明清洗方法的流程图；图4是清洗方法中包括的工序的说明图；图5是金属件及清洗槽的说明图，(A)表示第I流入工序，(B)表示气体流入工序，(C)和(D)表示第2流入工序；图6是用于说明整理工序的金属件及清洗槽的说明图；图7是说明气体流入单元的其它例子的说明图。附图标记说明I :涂敷装置3:金属件4 :驱动装置(位置变更单元)5 :控制装置6 :清洗机构7 :缝隙8 :装置主体9 :金属件前端11 :清洗槽12a :振子13 :泵(清洗液返回部)21 :流路22 :排出流路a :气体BI, B2 :气液界面F :粘着物L :清洗液
R :异物W :基板
具体实施例方式以下结合附图对本发明的实施方式进行说明。〔关于涂敷装置的结构〕图I是表示本发明的涂敷装置I的一种实施方式的示意图。该涂敷装置I包括能够载置基板(矩形的片材部件)W的操作台(stage)2 ;在内部形成有缝隙7的金属件3 ;以及搭载该金属件3，相对于操作台2上的基板W使该金属件3水平移动(X方向移动)的驱动装置4。由这些部件构成装置主体8，根据该装置主体8，驱动装置4使金属件3水平移动的 同时，通过从缝隙7对基板W吐出涂敷液并进行涂敷，能够在基板W上形成涂敷液的膜(涂膜)M。因此，金属件3的移动方向为涂敷方向(X方向)。并且，涂敷装置I还包括清洗金属件3的清洗机构6。另外，该涂敷装置I还包括控制装置主体8及清洗机构6的工作的控制装置5，控制装置5进行将涂敷液吐出在基板W上的涂敷工作的控制、及利用清洗机构6进行金属件3的清洗工作的控制。形成于金属件3的内部的缝隙7在金属件3的宽度方向上较长，在金属件前端(金属件下端)9开口。金属件3的宽度方向为与涂敷方向(X方向)垂直的水平方向(Y方向)。缝隙7在涂敷方向上薄，与形成于金属件3的内部的分流流路(manifold) 10连接，涂敷液通过分流流路10及缝隙7从金属件前端9被吐出。分流流路10也与缝隙7同样，在宽度方向上较长。缝隙7开口的金属件前端9 (缝隙7的开口端)水平地、直线地形成于宽度方向全长。清洗机构6包括储存有清洗金属件3的清洗液L的清洗槽11，该清洗槽11设置在操作台2的附近。涂敷工作结束后，通过驱动装置4使金属件3水平移动，能够使金属件3位于清洗槽11的上方。驱动装置4也具有使金属件3上下移动的功能，通过使金属件3下降，能够使金属件前端9浸溃在清洗槽11内的清洗液中。图2是金属件3及清洗机构6的说明图。清洗机构6除了具有储存清洗液L的所述清洗槽11以外，还包括对清洗槽11内的清洗液L施加振动波的振荡装置12、以及通过金属件3和配管Pl连接的泵13。并且，本实施方式的清洗机构6还包括通过金属件3和配管P2连接的废液部(废液瓶)14 ;包括将清洗槽11内的清洗液L吸出的泵15a、构成将所吸出的清洗液L向清洗槽11返回的流路的循环流路15 ;设置于循环流路15的途中、从清洗液L中进行脱气的脱气模块16 ;以及设置于循环流路15的途中、冷却清洗液的热交换机17。另外，在循环流路15中设置有槽24、过滤器18a，18b及三通阀19a，19b。另外，清洗机构6还包括使清洗槽11升降的升降装置20。泵13在使金属件前端9浸溃在清洗槽11内的清洗液L中的状态下，能够通过该金属件前端9开口的缝隙7使清洗槽11内的清洗液L向金属件内部流入，能够暂时储存所吸引的清洗液。另外，清洗机构6具有通过泵13使向金属件内部一侧流入的清洗液逆流、并返回到清洗槽11的清洗液返回部。在本实施方式中，泵13兼具该清洗液返回部的功能。S卩，泵13是使清洗液L向正逆两方向输送的输液单元，通过转换运转状态，利用其自身使向金属件内部一侧流入的清洗液逆流，并返回到清洗槽11。并且，在进行涂敷运转的工作时，泵13还可以兼用作将涂敷液供给到金属件3的供给泵。此时，未图示的涂敷液储存部、和从该涂敷液储存部连接泵13的涂敷液的供给流路等，作为另外的流路与泵13连接。在本实施方式中，表示了使用泵13作为输液单元的例子，但是，作为输液单元，还可以是连接槽(未图示)、并控制该槽内的压力的装置。即，代替泵13而连接槽，并使该槽与真空源和加压源连接。并且，通过真控制真空源，使清洗液流入金属件内部，通过控制加压源，使金属件内部的清洗液逆流。另外，清洗机构6还包括排出流路，其从通过该泵(清洗液返回部)13的功能而逆流的清洗液流动的流路分支，且将该逆流的清洗液中所含的气体排出到清洗槽11以外的区域。在本实施方式中，如图4中的(C)所示，上述的“逆流的清洗液流动的流路”为从泵 13经金属件内部的分流流路10及缝隙7至清洗槽11中的清洗液L的流路21。并且，上述的排出流路22为从分流流路10分支、通向金属件3的外部的废液部(废液瓶)14的流路，在该流路的途中设置有阀门(排气阀)22a。根据图2，所述配管P2构成排出流路22的一部分。在图2中，振荡装置12包括振子(超声波振子)12a、和控制该振子12a的频率(振荡频率)的控制器12b。该控制器12b与控制装置5协同工作。振荡装置12通过使振子12a振动，对清洗槽11内的清洗液L施加振动波。在本实施方式中，作为振动波，施加超声波振动。特别是通过使振子以低频率(20kHz 40kHz)振动，施加超声波。在此，低于20kHz的频率或者高于40kHz的频率下，难以表现出使特别牢固地粘着的粘着物在短时间内剥离所必须的空穴效果，因此，振子的频率优选为20kHz 40kHz。本实施方式的清洗槽11为二层式，包括储存使振子12a的振动波传播的溶剂S的溶剂槽Ila ;和设置在该溶剂槽Ila内的、储存清洗液L的本清洗槽lib。振子12a振动时，其超声波(振动波)传播至溶剂S，通过本清洗槽I Ib传播至清洗液L。并且，在使金属件前端9浸溃在该清洗液L中的状态下，振子12a振动，对该清洗液L施加超声波振动，能够使该清洗液L向金属件3的内部流入。在通过超声波振动而激烈地晃动的清洗液L中，正负压力相互作用，在清洗液L中，负压作用处出现真空的空洞(泡)，产生该空洞(泡)通过正压消失的现象(空穴现象)。该空洞(泡)消失时，通过产生冲击波而表现的空穴现象的效果，能够使粘着物(污垢)从金属件3的内部的表面及金属件前端9的外侧面浮起。清洗槽11为二层式，所述循环流路15是本清洗槽Ilb内的清洗液L通过泵15a被吸出、被吸出的清洗液L向本清洗槽Ilb返回的流路。另外，为了进一步提高清洗液L的冷却效果，溶剂槽Ila的溶剂S可以在溶剂槽Ila内和溶剂槽Ila外之间循环，此时，使清洗液L及溶剂S在本清洗槽Ilb及溶剂槽Ila的双方中循环。清洗槽11也可以为一层式，此时，振子12a设置于储存清洗液L的清洗槽11。脱气模块16具有预先将向清洗槽11供给的清洗液脱气的功能，能够使溶解于清洗液L中的气体減少。含有较多的溶解于清洗液L中的气体时，由于溶解气体而阻碍清洗液L中的空穴现象的产生，因此在清洗槽11中清洗效果降低。〔关于金属件的清洗方法〕对利用具有以上结构的涂敷装置I实施的金属件3的清洗方法进行说明。图3为说明清洗方法的流程图，图4为清洗方法中包括的工序的说明图。〔清洗准备工序及清洗工作工序〕利用金属件3进行的涂敷工作结束后，为了进行该金属件3的清洗，根据控制装置5的指令信号，驱动装置4 (参照图I)使金属件3移动至清洗槽11的上方，其后，使金属件3下降，使金属件前端9在其宽度方向的全长浸溃在清洗槽11 (本清洗槽Ilb)的清洗液L中(参照图4中的(A):图3的清洗准备工序SI)。在此，涂敷工作结束后的金属件3可以 为金属件内部被涂敷液充满的状态，也可以为排出涂敷液的空的状态。金属件内部被涂敷液充满时，清洗槽11内的清洗液L容易被污染。金属件内部为空的状态时，残留在金属件内部的涂敷液干燥后产生新的粘着物。因此，优选金属件内部为充满清洗液的状态。并且，通过振子12a对清洗液L施加超声波振动(振动波)，泵13开始吸引工作，使清洗液L通过缝隙7在缝隙7的长度方向的全长流入金属件内部(图3的第I流入工序S2 )。即，在对清洗液L施加超声波振动的同时，使该清洗液L向金属件内部吸引。该第I流入工序S2连续进行一定时间。根据该第I流入工序S2，如图5中的(A)所示，通过施加了超声波振动(振动波)的清洗液L，能够使粘着在金属件内部(特别是缝隙7)的粘着物F浮起。并且，使该浮起的粘着物F与清洗液L 一同向泵13侧吸入。根据该第I流入工序S2，在缝隙7中，在多个由超声波振动产生的微小的泡(空穴现象)冲击的区域，能够使粘着物F浮起，向泵13侧吸入，但是，在微小的泡(空穴现象)的冲击弱的区域，粘着物F被残留。根据清洗液L流动的状态(路径)及超声波振动(基于超声波的空穴现象)传播的状态，产生上述区域差。在向某区域产生由超声波振动产生的微小的泡(空穴现象)时，该微小的泡向该区域效率良好地连续产生；但在微小的泡的产生效率不好的区域，其状态根据继续的状态而定。特别是在非常薄形状的缝隙7中存在较大的粘着物F时，该粘着物F不能通过超声波振动完全浮起而残留。如上所述，缝隙7中残留有粘着物F时，由于残留的粘着物F的阻力，清洗液L变得难以流动，因此清洗液L避开粘着物F而流动。其结果，该清洗液L避开的区域为微小的泡的冲击(空穴现象)弱的区域(清洗效果差的区域)，粘着物F继续残留。并且，从在该第I流入工序S2中通过泵13使清洗液L向金属件内部流入的状态，根据控制装置5的指令信号，驱动装置4使金属件3上升，从而使缝隙7开口的金属件前端9与清洗液L的液面分离。由此，使金属件内部为大气开放状态，从通过泵13使清洗液L向金属件内部流入的状态，使气体(大气)通过缝隙7流入金属件内部(参照图4中的(B):图3的气体流入工序S3)。即，在本实施方式中，驱动装置4为使气体在缝隙7的宽度方向的全长流入的气体流入单元。缝隙7开口的金属件前端9 (缝隙7的开口端)呈水平直线地被形成，因此，从使清洗液L向金属件内部流入的状态，金属件3上升，金属件前端9与清洗液L的液面分离时，气体由金属件前端9通过缝隙7在缝隙7的宽度方向(长度方向)的全长流入金属件内部。在本实施方式中，气体使用大气，也可以使用氮气等，只要是气体，就没有特别的限定。如上所述，从使清洗液L向金属件内部流入的状态，使气体在缝隙的宽度方向的全长通过缝隙7流入金属件内部，如图5中的(B)所示，能够使气体a与清洗液L的气液界面BI (由清洗液L向气体a变化的界面)一齐且一样在缝隙7的宽度方向的全长向分流流路10侧移动。在该气体流入工序S3中，所述气液界面BI从缝隙7的开口端开始，由气体a形成在宽度方向上较长的带状的空间，在该带状的气体a (空间)能够通过缝隙7的时间内进行该气体流入工序S3即可，该时间为几秒(2 3秒)左右足矣，在该时间内使金属件前端9从清洗液L的液面离开即可。该气体流入工序S3为使金属件前端9从液面暂时离开的工序。气体流入工序S3后，根据控制装置5的指令信号，驱动装置4使金属件3下降，使金属件前端9再次浸溃在清洗槽11内的施加了超声波振动的清洗液L中，使清洗液L通过该缝隙7在缝隙7的长度方向的全长流入金属件内部(参照图4中的(A):图3的第2流入工序S4)。该第2流入工序S4持续进行一定时间。 如上所述，通过再次使清洗液L通过缝隙7向金属件内部流入，如图5中的(C)至图5中的(D)所示，施加超声波振动的清洗液L开始被吸引，使超声波(基于超声波的空穴现象)传播的清洗液L流过缝隙7的状态，与第I流入工序S2时相比发生变化。即，通过伴随着由气体a向清洗液L变化的气液界面B2 (参照图5中的(C))的移动的摇动效果，粘着物F完全浮起，或者由于一部分粘着物F浮起而使粘着物F缩小。因此，清洗液L流过缝隙7的状态与第I流入工序时相比发生变化。其结果，可以期待在第I流入工序S2中微小的泡(空穴现象)的冲击弱的区域,在第2流入工序S4中向多个微小的泡(空穴现象)冲击的区域变化。根据以上的第I流入工序S2、气体流入工序S3及第2流入工序S4，利用施加了超声波振动的清洗液，能够使粘着在金属件内部的粘着物F迅速有效地浮起。并且，由在第I流入工序S2中使清洗液L向金属件内部流入的状态，使气体a (参照图5中的(B))通过缝隙7在缝隙7的宽度方向的全长流入金属件内部(气体流入工序S3)，从而能够使气体a和清洗液L的气液界面BI —齐且一样在缝隙7的宽度方向的全长移动。并且，通过使清洗液L再次通过缝隙7在缝隙7的宽度方向的全长流入金属件内部(参照图5中的(C)和(D)第2流入工序S4)，能够使气体a和清洗液L的气液界面B2 —齐且一样在缝隙7的宽度方向的全长移动。其结果，在金属件内部获得粘着物F剥离效果的同时，在第2流入工序S4中，在再次使施加了振动波的清洗液L向金属件内部流入时，该清洗液L的流动状态(路径)及超声波(基于超声波的空穴现象)的传播状态(路径)被改变，能够使现有技术中因振动波的传播不充分而残留的粘着物浮起。另外，由第I流入工序S2向气体流入工序S3转移时，由于向金属件内部一侧流动的清洗液中含有较多的气体，因此，在将该清洗液直接向清洗槽11返回的情况下，其后再次进行第I流入工序S2时，是对溶解气体量增加的清洗液L施加振动波。此时，可能由于溶解气体而阻碍清洗液L中的空穴现象的产生，从而使得利用超声波振动使粘着物F浮起的效果可能减弱。因此，所述第2流入工序S4结束后，通过控制装置5转换泵13的运转状态，使在第I流入工序S2及第2流入工序S4中向金属件内部一侧流入的清洗液逆流(参照图4中的(C))。此刻，将所述阀门(排气阀22a)转换为开放状态，从通过逆流使清洗液返回到清洗槽11的流路21的途中，将该清洗液中所含的气体通过与缝隙7不同的排出流路22排出(图3的气体排出工序S5)。使阀门22a为开放状态，只存在于该气体排出工序S5，在其它工序中均为关闭状态。该气体排出工程S5实施至将泵13吸入的清洗液全部吐出为止。从泵13吐出的清洗液的一部分经排出流路22，向废液部14流入。相对于所述流路21中包含的缝隙7非常薄，排出流路22的流路截面大得多，通过缝隙7向清洗槽11逆流的清洗液的阻力比流过排出流路22的清洗液的阻力大。另外，分流流路10的排出流路22的分支部位于该分流流路10的上部。因此，逆流的清洗液中所含的气体在分流流路10被收集，被收集的气体能够随着一部分清洗液向排出流路22流动。并且，该气体通过阀门22a向外排出。
根据该气体排出工序S5，即使使通过泵13的吸引向金属件内部一侧流动的清洗液逆流，返回到清洗槽11，也能够抑制清洗槽11内的清洗液L的溶解气体量增加，即使之后进行第I流入工序S2，也能够防止利用超声波振动使粘着物F浮起的效果减弱。以上，由第I流入工序S2至气体排出工序S5为I个循环的清洗工作工序，该清洗工作工序也可以反复实施多个循环。即，在控制装置5中，设定该清洗工作工序的实施次数，反复实施清洗工作工序至到达该次数为止(图3的判断工序S6为“否”时)。设定次数实施结束(判断工序S6为“是”时)后，转入整理工序S7。〔整理工序(其I)〕图I的涂敷装置I被设置在洁净室中，例如通过驱动装置4等的驱动产生微小的金属粉，该金属粉在洁净室中(大气中)飞舞，有时会下落到清洗槽11 (本清洗槽Ilb)中。于是，该金属粉在清洗槽11中作为异物R存在于清洗液L中。如上所述，在清洗槽11中存在异物R存在时，根据第I流入工序及第2流入工序，通过施加振动波，使异物R在清洗槽11内浮遊，因此，该异物R与清洗液L 一同被向金属件内部一侧吸入。因此，进行将这样的异物R从金属件内部一侧排出的整理工序S7。如图6中的(A)所示，在使金属件前端9浸溃在清洗槽11内的清洗液L中的状态下，使在第I流入工序S2及第2流入工序S4中向金属件内部一侧流入的清洗液利用泵13逆流，向清洗槽11吐出(图3的整理工序S7)。此时，阀门22a为关闭状态。并且，在该整理工序S7中，在通过振荡装置12对清洗槽11中的清洗液L施加超声波振动的状态下，从工序的途中，根据控制装置5的指令信号，通过驱动装置4使金属件3上升，使浸溃在清洗槽11内的清洗液L中的金属件前端9从清洗液L的液面离开(参照图6中的(B))。使金属件前端9从清洗液L的液面离开的工作期间，为使金属件内部一侧的清洗液吐出的状态。此时，即使存在于清洗槽11中的异物R通过第I流入工序及第2流入工序，与清洗液L 一起向金属件内部一侧被吸入，通过将该清洗液L向清洗槽11吐出，也能够使异物R从金属件内部吐出。而且，由于在对清洗槽11中的清洗液L施加超声波振动的状态下，使浸溃在清洗槽11内的清洗液中的金属件前端9从清洗液L的液面离开，因此，能够防止吐出的异物R再次粘着在金属件前端9。另外，由于该工序S7在对清洗液L施加超声波振动的状态下进行，因此，通过超声波振动使在金属件内部堵塞的异物R浮起，降低与缝隙7的内壁面之间的摩擦阻力，在此状态下，通过吐出清洗液，所述异物R能够有效地被排出，而不粘着在金属件内部。〔整理工序(其2)〕对整理工序S7的其它例子进行说明。存在于清洗槽11中的异物R具有通过超声波振动容易在缝隙7内浮遊并容易向金属件内部侵入的形态(比重、大小等)时，根据第I流入工序及第2流入工序，该异物R容易与清洗液一起向金属件内部一侧被吸入。此时，优选以下的整理工序S7。如图6中的(A)所示，在使金属件前端9浸溃在清洗槽11内的清洗液L中的状态下，使在第I流入工序S2及第2流入工序S4中向金属件内部一侧流入的清洗液通过泵13逆流，向清洗槽11吐出(图3的整理工序S7)。此时，阀门22a为关闭状态。并且，在该整理工序S7中，在通过使清洗液逆流而向清洗槽11吐出的途中，停止 向清洗槽11内的清洗液L施加超声波振动(参照图6中的(C))。此时，即使存在于清洗槽11中的异物R通过第I流入工序及第2流入工序，与清洗液L 一起向金属件内部一侧被吸入，通过使该清洗液L向清洗槽11吐出，也能够使异物R从金属件内部吐出。而且，由于在通过使清洗液L逆流而向清洗槽11吐出的途中，停止向清洗槽11内的清洗液L施加超声波振动(振动波)，因此,能够防止异物R通过超声波振动在清洗槽11内浮遊，并向金属件内部侵入。以上的整理工序(其I或者其2)结束后，根据控制装置5的指令信号，驱动装置4(参照图I)使金属件3向装置主体8侧移动，进行开始对保持在操作台2上的基板W吐出涂敷液并进行涂敷的涂敷工作的准备(涂敷准备工序S8)。在所述整理工序(其I或者其2)中，使清洗液向清洗槽11吐出，该清洗液不仅是向金属件内部一侧吸入的清洗液，还可以是向金属件3供给的新的清洗液。另外，在上述的各工序中，振荡装置12的振子12a的频率是能够使得到好的清洗效果的空穴现象产生的低频带(20kHz 40kHz)。通过根据该低频率产生超声波振动而进行第I流入工序S2及第2流入工序S4，使得与以该频带以外的频率振动进行时相比，能够进一步提高金属件前端9的清洗效果。但是，通过使这样的振子12a以低频率振动以产生超声波振动而进行第I流入工序S2及第2流入工序S4时，清洗液L的温度容易上升。并且，根据图3的判断工序S6(在判断工序S6中为否)，再次进行第I流入工序S2，温度上升的清洗液L向金属件内部一侧流入时，金属件3的温度也上升。此时，金属件3发生热膨胀，缝隙7的尺寸产生变化，使用该金属件3立刻进行涂敷作业时，有可能会影响涂敷品质。因此，有必要停止作业，直至清洗槽11中的清洗液L的温度降低至一定的温度为止，因而造成时间的损失。因此，优选在再次进行第I流入工序S2前，进行至少更换一部分清洗槽11中的清洗液L的更换工序S9(参照图3)。根据该工序S9，能够防止利用温度上升的清洗液L再次进行第I流入工序S2。以下对更换工序S9的具体例子进行说明。作为方法1，在图2中，将利用泵15a吸出的清洗液通过三通阀19a作为废液回收在槽23中。并且，通过三通阀19b供给替代作为废液的清洗液的新的清洗液。在本实施方式中，新的清洗液经脱气模块16后被供给到清洗槽11。由此，能够将清洗槽11中的使用完毕的清洗液L的一部分更换为新的清洗液，能够防止清洗槽11中的清洗液L的温度升高。
作为方法2，利用泵15a吸出的清洗液通过三通阀19a被输送至热交换机17并被冷却。冷却的清洗液通过循环流路15向清洗槽11返回。在本实施方式中，循环的清洗液经脱气模块16后返回到清洗槽11。由此，使清洗槽11中的使用完毕的清洗液L的一部分循环，在该循环的途中进行热交换，在清洗槽11中更换为冷却的清洗液L。另外，也可以在第I流入工序S2、气体流入工序S3及第2流入工序S4的各工序中，或者在各工序后实施上述清洗液L的更换。在各工序中实 施时，本发明的金属件的清洗方法成为包括在通过使超声波振子12a以低频率(20kHz 40kHz)振动以产生超声波的期间，至少更换一部分清洗槽11中的清洗液L的工序(连续更换工序)的金属件的清洗方法。以上，根据本实施方式的金属件的清洗方法，如图5中的(B)所示，使气体a与清洗液L的气液界面BI —齐在缝隙7的宽度方向的全长向上移动，另外，如图5中的(C)所示，通过使气体a与清洗液L的气液界面B2 —齐在缝隙7的宽度方向的全长向上移动，在金属件内部获得粘着物F剥离效果。并且，在再次使施加了超声波振动的清洗液L流入金属件内部时，清洗液L的流动状态(路径)及超声波(基于超声波的空穴现象)的传播状态(路径)被改变。因此，能够使现有技术中因超声波振动的传播不充分而残留的粘着物浮起。并且，通过再次使施加了超声波振动的清洗液L向金属件内部流入，能够清洗现有技术中可能残留的粘着物。其结果，能够在短时间内得到期望的清洗结果。另外，由于清洗时间为短时间即可，因此，对清洗液L施加超声波振动也可以在短时间内结束，因而能够抑制由超声波振动带来的金属件3的发热，能够迅速开始涂敷作业。另外，优选振子12a由中空的部件构成，可以使致冷剂通过其内部。优选在中空的振子12a上设置供给致冷剂(例如氮气)的连接口，使致冷剂通过该连接口在振子12a内流动，使热量不积蓄于振子12a及清洗液L。另外，本发明的涂敷装置及金属件的清洗方法并不限于图示的方式，在本发明的范围内，还可以为其它方式。在上述实施方式中，在气体流入工序中，为了使清洗槽11中的清洗液L的液面与金属件前端9分离，将使金属件3上下移动的驱动装置4作为变更该液面与该金属件前端9在高度方向上的相对位置的位置变更单元进行了说明，还可以有其它方式，位置变更单元也可以是使清洗槽11升降的升降装置20 (参照图2)。或者，虽然金属件前端9与清洗槽11在高度方向上的相对位置未变化，但是，在气体流入工序时，使清洗液L的液面的高度下降，其后，可以使该液面上升。其通过对清洗槽11排出或供给清洗液L而实现。另外，在气体流入工序中，为了从通过泵13使清洗槽11内的清洗液L向金属件内部流入的状态，使气体通过缝隙7在缝隙7的宽度方向的全长流入金属件内部，在上述实施方式中说明了通过变更相对于清洗液L的液面的金属件前端9的高度来实现的方式，也可以有其它方式。例如，如图7中的(A)所示，在本清洗槽Ilb内设置有具有可以与金属件前端9连接的连接端口 50a的气体供给部50，从清洗槽11外向该气体供给部50供给气体。通过驱动装置4 (参照图1)，如图7中的(B)所示，通过使金属件3下降，金属件前端9与连接端口 50a连接，使气体由气体供给部50通过缝隙7流入金属件内部。如图7中的(C)所示，连接端口 50a设置在缝隙7 (金属件前端9)的宽度方向的全长，能够使气体在缝隙7的宽度方向的全长流入。如上所述，为了从使清洗液L向金属件内部流入的状态(图7中的(A))，使气体通过缝隙7在缝隙7的宽度方向的全长流入金属件内部(图7中的(B))，通过驱动装置4使金属件3下降即可，该下降可以通过控制装置5的控制来实现。此时，驱动装置4及气体供给部50成为使气体在缝隙7的宽度方向的全长流入金属件内部的气体流入单元。另外，在上述实施方式中，在气体排出工序、整理工序中对使流入金属件内部的清洗槽11中的清洗液L逆流并返回到清洗槽11的例子进行了说明，但是，也可以在使清洗液L流入金属件内部后，使新的清洗液返回到清洗槽11。例如，如图2所示，在配管Pl (金属件3与泵13之间)上设置有阀门25，在泵13与清洗液供给槽28之间设置有三通阀27，该三通阀27的输出端口之一与废液槽23连接。另外，在三通阀27与泵13之间设置有阀门26。根据该结构，能够抑制清洗液L中所含的气体(在气体流入工序中由缝隙7吸入的气体)返回到清洗槽11。S卩，使阀门25为开放状态，使阀门26为关闭状态，通过使泵13进行吸引工作，金 属件内部的含有气体的清洗液通过配管Pl被吸入泵13内。关闭阀门25，打开阀门26，使三通阀27成为从泵13侧向槽23连接的路径(在图2中为Cl路径)，通过使泵13进行吐出工作，泵13内的清洗液被排出到槽23。即，能够从被从缝隙7向泵13流入的清洗液充满的流路(由缝隙7至泵13的流路)，将在气体流入工序中流入的气体与该清洗液一起通过由泵13至槽23的流路(排出流路)排出到该槽23。关闭阀门25，打开阀门26，使三通阀27转换为从清洗液供给槽28向泵13侧连接的路径(在图2中为C2路径)，通过使泵13进行吸引工作，清洗液供给槽28内的新的清洗液被吸入到泵13。打开阀门25，关闭阀门26，通过使泵13进行吐出工作，被吸入到泵13的新的清洗液通过配管Pl被供给到金属件内部。并且，通过使泵13连续工作，新的清洗液通过缝隙7被返回到清洗槽11。由此，能够抑制通过气体流入工序被吸收到清洗液中的气体返回到清洗槽11，能够抑制由于溶解气体而阻碍清洗槽11内的清洗液中的振动波的传播，从而能够抑制利用振动波使粘着物浮起的效果减弱。此时，优选预先在清洗液供给槽28与泵13之间具有脱气模块16。另外，在上述实施方式中，关于清洗液的更换工序，对在第I流入工序及第2流入工序之后，在再次进行第I流入工序的情况下，在再次进行该第I流入工序前至少更换一部分清洗槽11中的清洗液L的例子进行了说明，但是，也可以在所有的工序中连续进行更换工序。具体而言，在各工序中，在使超声波振子12a以低频率振动以产生振动波的期间，经常进行更换工序。此时，能够使清洗液经常循环。根据清洗液的温度，有时仅使金属件3浸溃在清洗液中也会使金属件3的温度上升。此时，通过金属件3发生热膨胀，缝隙7的尺寸发生变化，有可能对涂敷品质有影响。因此，在使超声波振子12a以低频率工作时，通过经常使清洗液循环，使清洗液经常冷却。由此，能够抑制清洗液的温度上升，抑制金属件3的温度上升，能够抑制对涂敷品质的影响。对金属件的清洗方法的参考发明进行说明。该参考发明的目的是，为了使对清洗液施加超声波振动的位置在金属件前端附近，例如，考虑在用于储存清洗液且用于使金属件前端浸溃在该清洗液中的清洗槽的底部设置振子，通过该振子对清洗液施加振动波(超声波振动)，从而进行金属件的清洗；但是，通过对清洗槽内的清洗液施加振动波，异物在该清洗槽内浮遊，在金属件的清洗中，该浮遊的异物可能会向金属件内部侵入。
因此，参考发明涉及一种金属件的清洗方法，该金属件内形成有在该金属件宽度方向上长、且在该金属件的前端开口的缝隙，该清洗方法包括清洗工序，使金属件前端浸溃在清洗槽内的施加了振动波的清洗液中，通过所述缝隙流过清洗液以进行金属件内部的清洗；以及整理工序，在使所述金属件前端浸溃在所述清洗槽内的清洗液中的状态下，在所述清洗工序中进行所述金属件内部的清洗后，使清洗液从所述缝隙向该清洗槽吐出；在该整理工序中，在对所述清洗槽中的清洗液施加振动波的状态下，使浸溃在该清洗槽内的清洗液中的所述金属件前端从该清洗液的液面离开。根据该参考发明，即使在清洗工序中，在清洗槽内浮遊的异物向金属件内部侵入，并粘着在金属件内部的接液面，也能够利用整理工序，通过使清洗液向清洗槽吐出，从而使粘着在金属件内部的接液面的异物利用振动波而浮起，并从金属件内部吐出。而且，由于在对所述清洗槽中的清洗液施加振动波的状态下，使浸溃在清洗槽内的清洗液中的金属件前端从该清洗液的液面离开，因此，能够防止在清洗槽内浮遊的异物再次粘着在金属件内部和金属件前端。由此，能够迅速从清洗工序向涂敷运转转移。 另外，对金属件的清洗方法的其它参考发明进行说明。该参考发明的目的是，为了使对清洗液施加超声波振动的位置在金属件前端附近，例如，考虑在用于储存清洗液且用于使金属件前端浸溃在该清洗液中的清洗槽的底部设置振子，通过该振子对清洗液施加振动波(超声波振动)，从而进行金属件的清洗；但是，在清洗槽内浮遊的异物具有利用振动波容易在缝隙内浮遊并容易向金属件内部侵入的形态(比重、大小等)时，特别是在该清洗槽内浮遊的异物有可能向金属件内部一侧侵入并粘着。在此，参考发明涉及一种金属件的清洗方法，该金属件内形成有在该金属件宽度方向上长、且在该金属件的前端开口的缝隙，该清洗方法包括清洗工序，使金属件前端浸溃在清洗槽内的施加了振动波的清洗液中，通过所述缝隙流过清洗液以进行金属件内部的清洗；以及整理工序，在使所述金属件前端浸溃在所述清洗槽内的清洗液中的状态下，在所述清洗工序中进行所述金属件内部的清洗后，使清洗液从所述缝隙向该清洗槽吐出；在该该整理工序中，在清洗液向所述清洗槽吐出的途中，停止向该清洗槽内的清洗液施加振动波。根据该参考发明，即使在清洗工序中，在清洗槽内浮遊的异物向金属件内部一侧侵入，也能够利用整理工序，通过将清洗液向清洗槽吐出，从而能够简单地使所述异物从金属件内部吐出。并且，此时，通过施加超声波，能够避免异物粘着在金属件前端。而且，由于在使清洗液向清洗槽吐出的途中停止对清洗槽内的清洗液施加振动波，因此，能够防止清洗槽内的异物利用振动波在清洗槽内浮遊，能够避免异物向金属件前端粘着。由此，能够迅速从清洗工序向涂敷运转转移。以上参考发明各自中的清洗工序与上述实施方式中说明的包括第I流入工序、气体流入工序及所述第2流入工序的所述清洗工作工序相同，另外，参考发明各自中的清洗工序及整理工序可以适用在上述各实施方式的金属件的清洗方法中说明的清洗工作工序及整理工序的各事项。
权利要求
1.一种金属件的清洗方法，该金属件内形成有在该金属件宽度方向上长、且在该金属件的前端开口的缝隙，该清洗方法包括 第I流入工序，使金属件前端浸溃在清洗槽内的施加了振动波的清洗液中，使该清洗液通过所述缝隙向金属件内部流入； 气体流入工序，从在所述第I流入工序中使清洗液向金属件内部流入的状态，使气体在缝隙的宽度方向的全长通过所述缝隙流入所述金属件内部；以及 第2流入工序，在所述气体流入工序后，使所述金属件前端浸溃在所述清洗槽内的施加了振动波的清洗液中，使该清洗液通过所述缝隙向所述金属件内部流入。
2.根据权利要求I所述的金属件的清洗方法，其中，在所述气体流入工序中，通过使所述金属件前端与所述清洗液的液面分离，从而使气体在所述缝隙的宽度方向的全长通过所述缝隙流入所述金属件内部。
3.根据权利要求I或者2所述的金属件的清洗方法，还包括 气体排出工序，通过被在所述第I流入工序及所述第2流入工序中从所述缝隙流入的清洗液充满的流路，将所述清洗液返回至所述清洗槽，并从所述流路将在所述气体流入工序中流入的气体通过与所述缝隙不同的排出流路排出。
4.根据权利要求I 3中任意一项所述的金属件的清洗方法，还包括 整理工序，在使所述金属件前端浸溃在所述清洗槽内的清洗液中的状态下，在所述第I流入工序及所述第2流入工序中的一方或者双方中使清洗液向所述金属件内部一侧流入后，从所述缝隙向该清洗槽吐出清洗液； 在该整理工序中，在对所述清洗槽中的清洗液施加振动波的状态下，使浸溃在该清洗槽内的清洗液中的所述金属件前端从该清洗液的液面离开。
5.根据权利要求I 3中任意一项所述的金属件的清洗方法，其中，还包括整理工序，在使所述金属件前端浸溃在所述清洗槽内的清洗液中的状态下，在所述第I流入工序及所述第2流入工序中的一方或者双方中使清洗液向所述金属件内部一侧流入后，从所述缝隙向该清洗槽吐出清洗液； 在该整理工序中，在使清洗液向所述清洗槽吐出的途中停止对该清洗槽内的清洗液施加振动波。
6.根据权利要求I 5中任意一项所述的金属件的清洗方法，还包括 更换工序，在通过使超声波振子以低频率振动以产生所述振动波而进行的所述第I流入工序及所述第2流入工序之后，在再次进行所述第I流入工序的情况下，在再次进行该第I流入工序前至少更换一部分所述清洗槽中的清洗液。
7.根据权利要求I 6中任意一项所述的金属件的清洗方法，还包括 连续更换工序，在通过使超声波振子以低频率振动以产生所述振动波的期间，至少更换一部分所述清洗槽中的清洗液。
8.一种涂敷装置，其特征在于，包括 装置主体，其具有金属件，在该金属件内形成有在该金属件的宽度方向上长、且在该金属件前端开口的缝隙，从该缝隙向基板吐出涂敷液进行涂敷；以及 清洗结构，其清洗所述金属件， 所述清洗结构包括清洗槽，其储存清洗液； 振荡装置，其对所述清洗槽内的所述清洗液施加振动波； 输液单元，其在使金属件前端浸溃在所述清洗槽内的施加了振动波的清洗液中的状态下，使该清洗液通过所述缝隙向金属件内部流入； 以及 控制装置，进行控制，使得从通过所述输液单元使清洗液向金属件内部流入的状态，气体在该缝隙的宽度方向的全长通过所述缝隙流入所述金属件内部。
9.根据权利要求8所述的涂敷装置，还包括 位置变更单元，其变更所述清洗槽内的清洗液的液面与所述金属件前端的高度方向的相对位置； 所述控制装置控制所述位置变更单元，使所述金属件前端与所述清洗液的液面在高度方向上分离，从而使气体在所述缝隙的宽度方向的全长通过所述缝隙流入所述金属件内部。
10.根据权利要求8或者9所述的涂敷装置，其中，还包括 清洗液返回部，其利用所述输液单元，通过被从所述缝隙流入的清洗液充满的流路，将清洗液返回到所述清洗槽；以及 排出流路，其使从所述缝隙流入的气体排出到所述清洗槽以外的区域。
全文摘要
本发明的目的在于在金属件(3)中，能够使现有技术中由于振动波(基于振动波的空穴现象)的传播不充分而残留的粘着物浮起，在短时间内得到期望的清洗结果，其中该金属件(3)内形成有在该金属件(3)宽度方向上长、且在该金属件(3)的前端开口的缝隙(7)。本发明提供的金属件的清洗方法包括使金属件前端(9)浸渍在清洗槽(11)内的施加了振动波的清洗液(L)中，使该清洗液(L)通过缝隙(7)向金属件内部流入；由此状态，使气体在缝隙(7)的宽度方向的全长通过缝隙(7)流入金属件内部；其后，使金属件前端(9)浸渍在清洗槽(11)内的施加了振动波的清洗液(L)中，使该清洗液L通过缝隙(7)向金属件内部流入。
文档编号B05C9/08GK102873052SQ201210241658
公开日2013年1月16日 申请日期2012年7月12日 优先权日2011年7月12日
发明者林田健儿, 川竹洋, 堀内展雄, 伊藤祯彦, 釜谷学 申请人:东丽株式会社, 东丽工程株式会社