除膜方法、除膜用喷嘴和除膜装置制造方法

除膜方法、除膜用喷嘴和除膜装置制造方法
【专利摘要】高效地溶解除去干状态的膜。本发明的除膜方法使喷嘴头(10B)接近在基板(200)上形成的溶解性的膜(201)，从喷嘴头(10B)连续地喷出药液(300)并同时吸入药液(300)，从而在喷嘴头(10B)与膜(201)之间形成药液的积液(302)，并且在喷嘴头(10B)与膜(201)表面为非接触的状态下使基板(100)水平移动，从而使药液的积液(302)在基板(100)上相对地移动。
【专利说明】除膜方法、除膜用喷嘴和除膜装置
【技术领域】
[0001]本发明涉及除去在基板上形成的膜的方法、用于该用途的除膜用喷嘴和除膜装置。
【背景技术】
[0002]在专利文献I中公开了下述方法:在使吸入喷嘴的吸入口与在基板上形成的湿状态的涂膜接触并吸入涂膜的同时，使载置基板的载物台相对移动，由此以预期的图案除去涂膜。
[0003]现有技术文献
[0004]专利文献
[0005]专利文献1:日本特开2008-18301号公报(参照图1、图3)

【发明内容】

[0006]发明要解决的课题
[0007]专利文献I的方法为接触式的，因此存在着对形成的膜或基板自身产生损伤等的可能性。而且，无法应用于干状态的膜。另外，在专利文献I中，作为变形实施例，记载了对湿状态的涂膜喷射湿状态促进液以促进湿状态的内容，然而对于能够应用于干状态的膜没有记载或启示。而且，即使应用于干状态的膜，显然也无法以能够跟上要求的处理速度的程度简单地制出湿状态的膜。
[0008]而且，在专利文献I的方法中，当载物台的移动速度过快时，存在着涂膜未被顺利吸取而残留的问题。而且，涂膜的吸入速度过快的话，也存在着吸取过多的涂膜的问题。因此，处理的效率较差。
[0009]本发明正是为了解决上述技术课题而完成的，其目的在于提供一种能够高效地溶解除去干状态的膜的除膜方法、除膜用喷嘴和除膜装置。
[0010]用于解决课题的方案
[0011]本发明的除膜方法，使喷嘴头接近在基板上形成的溶解性的膜，从该喷嘴头连续地喷出药液并同时吸入药液，从而在所述喷嘴头与所述膜之间形成所述药液的积液，并且在所述喷嘴头与所述膜表面为非接触的状态下使所述基板水平移动，从而使所述药液的积液在所述基板上相对地移动。
[0012]或者，使喷嘴头接近在基板上形成的溶解性的膜，从该喷嘴头连续地喷出药液并同时吸入药液，从而在所述喷嘴头与所述膜之间形成所述药液的积液，并且在所述喷嘴头与所述膜表面为非接触的状态下使所述喷嘴头在所述基板上水平移动，从而使所述药液的积液在所述基板上移动。
[0013]根据该结构，在接近膜表面的喷嘴头与溶解性的膜之间通过表面张力形成药液的积液，将与该积液接触的部分的膜溶解。该积液通过连续地喷出的药液和吸入的药液而总是替换为新的药液并继续形成。并且，通过吸入溶解了膜的药液来除去膜。并且，通过基板或喷嘴头水平移动使积液也在基板上移动，从而能够随着基板或喷嘴头的移动轨迹除去膜。
[0014]而且，当将空气注入所述喷嘴头的药液喷出路径时，利用空气使在喷嘴头的药液喷出路径流动的药液的流速加速，从药液喷出路径的喷出口喷出(喷射)药液。由此，对膜施加机械性冲击，促进积液对膜的溶解、除去。
[0015]在所述膜是由溶解液、分散液形成的膜的情况下，溶解所述膜的药液优选使用构成所述溶解液、分散液的药液。另外，如果所述膜为水溶性的话，能够使用水作为所述药液，有利于削减处理成本。
[0016]而且，本发明的除膜用喷嘴在喷嘴头通过空洞形成药液喷出路径和药液吸入路径。该除膜用喷嘴在所述喷嘴头的前端面形成直线状的槽，在该槽的两端分别开口有所述药液喷出路径的喷出口和所述药液吸入路径的吸入口。
[0017]在所述喷嘴头的周围设置液滴飞散抑制壁的话，能够抑制因从喷嘴头喷出的冲击而使得药液的飞沫飞散到膜表面的较广范围。在该情况下，若对由药液抑制壁包围的空间进行抽吸则更为有效。
[0018]另外，优选本发明的除膜用喷嘴构成为，在上述结构中，向所述药液喷出路径注入空气的空气注入路径与所述药液喷出路径连结。
[0019]而且，本发明的除膜装置具备上述除膜喷嘴。该除膜装置具备:药液供给构件，其向所述药液喷出路径供给所述药液；以及药液抽吸构件，其从所述药液吸入路径抽吸所述药液。
[0020]另外，在除膜用喷嘴为将向所述药液喷出路径注入空气的空气注入路径与所述药液喷出路径连结的结构的情况下，本发明的除膜装置还具备向所述空气注入路径供给空气的空气供给构件。
[0021]并且，本发明的除膜装置将所述载物台构成为能够沿水平方向移动的可动载物台，或者具备使除膜用喷嘴水平移动的喷嘴移动构件。
[0022]发明效果
[0023]根据本发明能够高效地溶解除去干状态的膜。
【专利附图】

【附图说明】
[0024]图1是示出本发明的第一实施方式的除膜装置的概要结构图。
[0025]图2(A)是示出除膜用喷嘴的局部剖开侧视图。图2(B)是示出除膜用喷嘴的仰视图。图2(C)是图2(A)的箭头I1-1I线剖视图。图2(D)是图2(C)的喷嘴头前端部的放大图。
[0026]图3(A)?图3(C)是示意性地示出本发明的除膜方法的各工序的说明图。
[0027]图4是图3(B)的箭头IV-1V线剖视图。
[0028]图5是示出本发明的第二实施方式的除膜装置的概要结构图。
[0029]图6是示出本发明的第三实施方式的除膜装置的概要结构图。
[0030]图7是表示向除膜用喷嘴供给的药液供给流量过小时、适当时、过大时各自的除膜特性的表。
[0031]图8 (A)、图8 (B)和图8 (C)是说明向除膜用喷嘴供给的药液供给流量分别为过小、适当和过大时在喷嘴头与基板之间流过的药液的流动方式的示意图。
[0032]图9(A)?图9(C)分别为图8(A)?图8(C)中的IX-1X线剖视图。
[0033]图10 (A)、图10 (B)和图10 (C)是说明向除膜用喷嘴供给的药液供给流量分别为过小、适当和过大时形成的除膜区域剖面的状态的示意图。
[0034]图1l(A)是示出在除膜用喷嘴设置的药液飞散防止机构的示意图。图11⑶是具备液滴飞散抑制壁的除膜用喷嘴的仰视图。
[0035]图12是示出药液加热机构的示意图。
[0036]图13是说明在向除膜用喷嘴供给常温的药液时和供给加热过的药液时形成的除膜区域剖面的状态的图。
[0037]图14(A)、图14(B)是说明除膜装置的不同目的的运用方法的示意图。
[0038]图15是说明通过除膜装置的运用方法形成的除膜区域剖面的状态的图。
【具体实施方式】
[0039]<第I实施方式>
[0040]使用图1、图2，说明本发明的第一实施方式的除膜装置的概要结构。如图1所示，除膜装置I具备喷嘴10、空气瓶20、配管30?37、调节器41?43、切换阀51?54、加压瓶60、废液瓶70、真空排出器80、流量控制器90以及可动载物台100。
[0041]如图2所示，喷嘴10由喷嘴基体IOA和喷嘴头IOB构成。作为喷嘴10的材质，优选采用不锈钢等对药液具有耐腐蚀性的金属。喷嘴基体IOA呈四棱柱状，喷嘴头IOB呈四棱锥台状，并且两者一体形成。
[0042]如图2㈧所示，在喷嘴头IOB的长度方向隔开间隔地设有上下贯通喷嘴基体IOA和喷嘴头IOB的剖面为圆形的一对空洞(即，参照由下游侧药液喷出路径112和空气注入路径14构成的纵空洞以及由药液吸入路径12构成的纵孔)。这些空洞的上端在喷嘴基体IOA的上表面开口(参照连接口 14A、12B)。这些空洞的下端在喷嘴头IOB的下表面开口(参照喷出口 IIA和吸入口 12A)。
[0043]在图2(A)中观察到左侧的空洞的中途在正交的方向连接有其他空洞(参照由上游侧药液喷出路径111构成的横孔)。该空洞在喷嘴基体IOA的端面开口(参照连接口11B)。在连接口 11B、12B、14A分别连接有配管。
[0044]药液喷出路径11由上游侧药液喷出路径111和下游侧药液喷出路径112构成。在两个喷出路径111、112的连结部如图所示地连接有空气注入路径14，从而能够向在药液喷出路径11流动的药液注入空气。
[0045]下游侧药液喷出路径112与药液吸入路径12之间的距离(参照图2㈧中的“P”)并不限定，例如设定为I?15mm左右。药液吸入路径12的直径被设定为与药液喷出路径11的直径相等或者比药液喷出路径11的直径大。例如，将药液喷出路径11的直径设定为1mm，将药液吸入路径12的直径设定为2mm。
[0046]如图2(B)所示，在喷嘴头IOB前端面(底面)沿喷嘴头IOB的长度方向设有直线状的槽13。在本实施方式中，如图2(D)所示，槽13的剖面形状呈半圆形。槽13的宽度和深度并不限定，例如设定为0.1?1.0mm左右。在槽13的两端分别开口有所述药液喷出路径11的喷出口 IlA和所述药液吸入路径12的吸入口 12A。[0047]如图1所示，喷嘴10在可动载物台100的上方通过螺钉固定等固定于在水平方向搭设的支承部件2，从而装配在除膜装置I。
[0048]在图1中，以空心的箭头示出的配管30?33、36、37为供气体流过的配管，以实心的箭头示出的配管34、35、36为供药液流过的配管。对于这些配管的材质，优选使用具有耐压性的管。
[0049]空气瓶20收纳压缩空气。在该空气瓶20连接配管30，并且在该配管30并列连接三个配管31?33。在各配管31?32分别设有调节器41?43和切换阀51?53。调节器41?43控制在配管31?33流动的空气的流量。切换阀51?53对在配管31?33流动的空气的流通进行接通/断开切换。
[0050]配管31的下游端与上述喷嘴10的空气注入路径14连接，从而能够向喷嘴10供给空气。配管32的下游端被导入加压瓶60内。加压瓶60是收纳药液300的密闭容器。
[0051]配管34的上游端被插入到加压瓶60内的药液300的液面下。在配管34设有切换阀54和流量控制器90。切换阀54对在配管34流动的药液的流通进行接通/断开切换。流量控制器90控制在配管流动的药液的流量。配管34的下游端与喷嘴10的药液喷出路径11的连接口 IlB连接。
[0052]作为药液，优选采用使基板200上的膜201溶解的液体。特别是，如果膜201为水溶性的话，能够采用取得和处理都容易的水作为溶解液，从而能够削减处理成本。
[0053]配管35的上游端与喷嘴10的药液吸入路径12的连接口 12B连接。配管35的下游端被导入废液瓶70内。废液瓶70是储存溶解了膜201的药液301的密闭容器。
[0054]配管33的下游端与真空排出器80的空气送入口连接。配管36的上游端被插入废液瓶70内。配管36的下游端与真空排出器80的吸气口连接。配管37的上游端与真空排出器80的排气口连接。配管37的下游端向车间排气敞开。配管33、36、37由真空管线构成。
[0055]可动载物台100构成为能够在XY方向水平移动。在可动载物台100上载置有基板200。可动载物台100的移动速度并不限定，例如设定为50mm/s。
[0056]在基板200上形成有干状态的膜201。膜201是以相对于药液300具有溶解性的物质201A为成分的膜。膜201的厚度并不限定，不过优选在I μπι以下。另外，通过预先以等离子、UV(紫外线)等使膜201的膜强度降低，能够高效地进行以下说明的除膜。
[0057]接着，利用图1、图3、图4说明使用如上构成的除膜装置I的除膜方法。
[0058]首先，使喷嘴10的喷嘴头IOB接近溶解性的膜201。此时，喷嘴头IOB前端与基板200表面之间的距离(参照图1中的“L”)并不限定，例如设定为50μπι左右。由于膜201的厚度被设定为I μ m以下，因此这样的距离L适于在使喷嘴头IOB前端与膜201表面的距离尽量小的同时维持非接触状态。而且，由于喷嘴头IOB前端与膜201、基板200非接触，因此本发明的除膜方法可以说是对膜201、基板200的表面的平面性没有严格要求的处理，或者说是不会对图案形成后的剩余的膜、基板自身产生损伤等的处理。
[0059]接着，将空气瓶20敞开，并且适当控制调节器41?43、切换阀51?54以及流量控制器90。由此，通过配管31向喷嘴10的空气注入路径14供给空气。而且，经由配管32向加压瓶60的密闭空间供给空气，将药液300推出到配管34，经由配管34向喷嘴10的药液喷出路径11供给药液300。通过调节器54将所供给的药液300的压力调整为例如0.05MPa。而且，通过流量控制器90调整最终的液量。由此，如图3(A)所示，从喷嘴10的药液喷出路径11的喷出口 IlA朝向喷嘴头IOB前端面和基板200之间的空间喷出药液300。
[0060]并且，通过配管33向真空排出器80压入空气。该空气被从配管37的排气口扩散排出，经由配管37放出到车间排气。其结果是，真空排出器80的吸气口成为负压，经由配管36抽吸废液瓶70内的密闭空间的空气。其结果是，废液瓶70内成为负压，经由配管35对喷嘴10的药液吸入路径12进行吸气。通过该吸气，如图3(A)所示，向喷嘴头IOB前端面与基板200之间的空间喷出的药液300被从药液吸入路径12的吸入口 12A吸入。
[0061]由此，在喷嘴头IOB前端面与膜201 (基板200)之间，以喷嘴头IOB前端面的直线状的槽13作为引导而使药液300从药液喷出路径11的喷出口 IlA朝向药液吸入路径12的吸入口 12A流动，通过表面张力形成积液302。如图4所示，槽13抑制了积液302的扩张，因此药液不易滴到喷嘴头IOB的外侧，有利于除膜精度的提高。
[0062]如上所述，药液吸入路径12的直径被设定为比药液喷出路径11的直径大，因此在药液吸入路径12流动的药液的流量相对较多。其结果是，药液沿跨于药液喷出路径11、槽13和药液吸入路径12的U字状的通路顺畅地流动。
[0063]如图3 (B)所示，与积液302接触的部分的膜201被药液溶解。积液302通过连续地喷出的药液300和吸入的药液301而总是替换为新的药液并继续形成。并且，通过吸入溶解了膜201的药液301来除去膜201。药液301在药液吸入路径12流动，经由配管35最终排出并储存到废液瓶70。
[0064]经本申请发明人等的锐意研究，通过流量控制器90使向喷嘴10供给的药液供给流量可变，从而积液302的状态变化，为了进行有效的除膜，存在适当的流量的范围，流量无论是比该范围小还是大都会导致除膜品质劣化。
[0065]图7是示出药液供给流量与除膜特性的关系的图。如图7所示，当药液供给流量过小(小于流量Rl)时，优先进行抽吸，无法进行除膜。当药液供给流量适当(在流量Rl以上小于R2)时，通过脉冲式的冲击能够进行有效的除膜。当药液供给流量过大(在R2以上)时，积液302肥大化，除膜品质降低。另外，流量的阈值R1、R2(R1〈R2)的值随着喷嘴10的规格和药液的粘性等而变化。
[0066]以下，参照图8?图10说明除膜特性如此变化的理由。图8、图9是说明根据药液供给流量而在喷嘴头与基板之间流动的药液的流动方式如何变化的示意图。图10是以除膜区域剖面的形状来说明根据药液供给流量而除膜特性如何变化的图。
[0067]图8 (A)、图9 (A)示出了向喷嘴10供给的药液供给流量过小时的情况，此时药液如图中的箭头的大小所示，抽吸相比喷出变得过多，一直不与基板200(膜201)接触。因此，即使扫描过基板200，如图10(A)所示，膜201也未被除膜。
[0068]图8 (B)、图9 (B)示出了向喷嘴10供给的药液供给流量适当时的情况，此时药液如图中的箭头的大小所示，喷出与抽吸取得平衡，通过相对于基板200(膜201)高速地重复非接触状态和接触状态，对膜201通过积液302施加脉冲式的冲击。如图10(B)所示，通过利用可动载物台100扫描基板200而在膜201形成的除膜区域的剖面形状为，除膜宽度为
1.2mm、两端的倾斜部为约0.2mm宽。
[0069]图8 (C)、图9 (C)示出了向喷嘴10供给的药液供给流量过大时的情况，此时药液如图中的箭头的大小所示，喷出相比抽吸变得过多，一直相对于基板200(膜201)产生积液302，存在药液溢出的倾向。如图10(C)所示，通过利用可动载物台100扫描基板200而在膜201形成的除膜区域的剖面形状为，除膜宽度为2_、倾斜部为约0.7_宽。由于药液供给流量较多，因此除膜宽度变宽，边缘也变宽，从而除膜区域的品质降低。
[0070]如上所述，在喷嘴供给流量适当时，药液相对于基板200 (膜201)反复接触和离开，从而由于该冲击而使药液的飞沫在较大范围飞散，存在着远离所希望的除膜区域的部位的膜201溶解而产生缺陷的危险。
[0071]因此，需要采取抑制飞沫飞散的对策。具体来说，如图11所示，在喷嘴头IOB的周围设置液滴飞散抑制壁15，在设于液滴飞散抑制壁15的一个部位的排气孔15A连接排气用的配管33。由液滴飞散抑制壁15包围的空间通过排气而达到负压。因而，因脉冲式的冲击而飞散的药液的飞沫被抽吸到空间内，从而能够抑制其扩散到远离除膜区域的部位。
[0072]作为用于提高除膜效率的方式，也可以对供给到喷嘴10的药液加热。具体来说，如图12所示，可以采用以下结构:将热水线91和排水线92与具备Teflon (特氟龙)(注册商标)制的螺旋管95的热交换器93连接，在药液供液用的配管34的中途连结所述螺旋管95。作为在热水线91流动的热水的温度的一例，设定为80°C。根据该结构，在配管34流动并供给至喷嘴10的药液例如被加热至40°C。
[0073]当利用可动载物台100扫描基板200来进行膜201的除膜时，如图13所示，若在相同扫描速度(在本例中为80mm/s)、相同扫描次数(在本例中为I次)下比较，则使用加热过的药液的情况与使用常温的药液的情况相比，除膜效率显著提高。认为其原因是通过加热药液而使构成膜201的粘合剂树脂的溶解加速，从而能够更有效地进行除膜。
[0074]而且，经由空气注入路径14向在药液喷出路径11流动的药液300注入空气，从而使在药液喷出路径11流动的药液300的流速加速，从药液喷出路径11的喷出口 IlA喷出(喷射)药液300。由此，以药液的液压对膜201作用机械性冲击力，促进积液302对膜201的溶解。
[0075]并且，如图3(B)、(C)所示，可动载物台100沿XY方向水平移动，从而积液302也相对于基板200相对移动，从而能够随着可动载物台100的移动轨迹除去膜201。通过将本发明方法应用于在基板200上形成的约IOOnm的膜201，能够以2mm宽度直线地对膜201进行除膜。
[0076]根据本实施方式，能够高效地溶解除去干状态的膜201。而且，通过控制药液的流量、压力、载物台的移动速度，还能够除去不易溶解的膜。另行设置加热器等加热药液的构件也是有效的。
[0077]<第二实施方式>
[0078]图5说明本发明的第二实施方式的除膜装置的概要结构。在第一实施方式中，喷嘴10不动，通过使可动载物台100水平移动来使药液的积液302在基板200上相对移动，但是也可以如图5所示，在第二实施方式中，将喷嘴10支承在可动支承部件2’，通过使喷嘴头IOB在载置于不动的载物台100’的基板200上水平移动，而使药液的积液302在基板200上移动。另外，使可动支承部件2’不仅能够在水平方向移动而且也能够在上下方向移动，以使喷嘴10能够离开基板200。
[0079]观察喷嘴10的一次扫描，无论扫描速度是快是慢，除膜区域的除膜宽度都大致相同，而扫描速度较快的话，除膜区域的两端的倾斜部平缓且边缘变得圆滑，另一方面，扫描速度较慢的话，除膜区域的两端的倾斜部较陡且边缘变得锐利。
[0080]在本实施方式中，通过采用比基板扫描机动性高的喷嘴扫描，能够利用上述那样的扫描速度引起的除膜特性的不同，根据除膜目的的不同来改变除膜装置I的运用方法。
[0081]例如，在某种运用方法中，如图14㈧所示，在一边进行对喷嘴10的药液的供给/抽吸、一边以缓慢的扫描速度(在本例中为10mm/s。)向左方扫描后，在终点处停止药液的供给/抽吸并暂时离开基板200，向右方移动回到初始地点，再次一边进行药液的供给/抽吸一边向左方扫描。
[0082]通过该运用方法，在膜201形成的除膜区域的剖面形状如图15中以实线所示，除膜宽度为1.2mm，倾斜部为约0.2mm宽。因此，这是虽然节拍时间变长但适于对除膜区域两端的边缘精度有要求的目的(边缘精度优先)的运用方法。
[0083]而且，在其他运用方法中，如图14(B)所示，在一边进行对喷嘴10的药液的供给/抽吸、一边在膜201上左右往复移动地扫描。也可以在左移动(去往移动)和右移动(复还移动)中使扫描速度不同。在本例中，左移动的扫描速度为20mm/s，右移动的扫描速度为80mm/s。使左移动和右移动具有这样的扫描速度差的原因是:左扫描是使膜201的除膜区域预先在药液下湿润，通过右扫描将变得湿润的膜一下子除去，如此通过右扫描和左扫描将除膜处理的步骤明确地分开。除膜的重现性提高。
[0084]通过该运用方法，在膜201形成的除膜区域的剖面形状如图15中以虚线所示，除膜宽度为1.7mm，倾斜部为0.3?0.4mm宽。因此，这是虽然除膜区域的两端的边缘精度降低但适于只要能够确保由除膜区域分割的膜201的两个区域之间绝缘即可的目的(除膜速度优先)的运用方法。根据该运用方法，实现了节拍时间的缩短。与先前的运用方法相比除膜宽度变宽是因为将膜201在润湿过一次后除去。
[0085]无论是哪一种运用方法，喷嘴10的往复并不限定为一次往复，可以根据膜201的性质适当增加往复次数。
[0086]<第三实施方式>
[0087]图6是示出本发明的第三实施方式的除膜装置的概要结构图。在第三实施方式中，使喷嘴10的结构简单化，省略了向在药液喷出路径11流动的药液注入空气的结构。即，如图6所示，在喷嘴10没有空气注入路径，在喷嘴头IOB的长度方向隔开间隔地仅具备上下贯通喷嘴基体IOA和喷嘴头IOB的药液喷出路径11和药液吸入路径12。
[0088]根据该实施方式，虽然因为没有向喷嘴10的空气注入而无法将药液从喷出口 IlA喷出，不过如上所述地通过流量控制器90适当调整药液供给流量的话，能够利用在喷嘴头IOB前端面与基板200之间形成的积液302对膜201施加脉冲式的冲击来高效地溶解除去膜 201。
[0089]应当认为上述实施方式的说明中所有的内容均为例示，并非限制性的描述。本发明的范围并非上述实施方式，而是由权利要求书示出。并且，在本发明的范围内包含有与权利要求书均等的意义和范围内的所有的变更。
[0090]产业利用性
[0091]本发明能够利用于有机EL、有机半导体等领域、对在基板上形成的膜形成图案或者从在一张基板均匀地形成的膜多次图案成形时除去交界部的膜之类的用途。
[0092]标号说明[0093]1:除膜装置；
[0094]2:支承部件；
[0095]2’:可动支承部件(喷嘴移动构件);
[0096]10:除膜用喷嘴；
[0097]11:药液喷出路径；
[0098]12:药液吸入路径；
[0099]13:槽；
[0100]14:空气注入路径；
[0101]20:空气瓶；
[0102]30 ?37:配管；
[0103]41?43:调节器；
[0104]51?54:切换阀；
[0105]60:加压瓶；
[0106]70:废液瓶；
[0107]80:真空排出器；
[0108]90:流量控制器；
[0109]100:可动载物台；
[0110]100’:载物台；
[0111]20、30、32、42、52、54、60、34、54、90:药液供给构件；
[0112]20、33、35、37、43、53、70、80:药液抽吸构件；
[0113]20、30、31、41、51:空气供给构件；
[0114]300、301:药液;
[0115]302:积液。
【权利要求】
1.一种除膜方法，其中， 使喷嘴头接近在基板上形成的溶解性的膜，从该喷嘴头连续地喷出药液并同时吸入药液，从而在所述喷嘴头与所述膜之间形成所述药液的积液，并且在所述喷嘴头与所述膜表面为非接触的状态下使所述基板水平移动，从而使所述药液的积液在所述基板上相对地移动来除去所述膜。
2.一种除膜方法，其中， 使喷嘴头接近在基板上形成的溶解性的膜，从该喷嘴头连续地喷出药液并同时吸入药液，从而在所述喷嘴头与所述膜之间形成所述药液的积液，并且在所述喷嘴头与所述膜表面为非接触的状态下使所述喷嘴头在所述基板上水平移动，从而使所述药液的积液在所述基板上移动来除去所述膜。
3.根据权利要求1或2所述的除膜方法，其中， 向所述喷嘴头的药液喷出路径注入空气。
4.根据权利要求1或2所述的除膜方法，其中， 使用溶解所述膜的药液。
5.一种除膜用喷嘴，在喷嘴头通过空洞形成药液喷出路径和药液吸入路径，其中， 在所述喷嘴头的前端面形成直线状的槽，在该槽分别开口有所述药液喷出路径的喷出口和所述药液吸入路径的吸入口。
6.根据权利要`求5所述的除膜用喷嘴，其中， 在所述喷嘴头的周围设有液滴飞散抑制壁。
7.根据权利要求6所述的除膜用喷嘴，其中， 在所述液滴飞散抑制壁形成有用于对由该液滴飞散抑制壁包围的空间进行抽吸的排气孔。
8.根据权利要求5所述的除膜用喷嘴，其中， 注入空气的空气注入路径与所述药液喷出路径连结。
9.一种除膜装置，具备权利要求5所述的除膜用喷嘴，其中， 该除膜装置具备: 载物台，其载置基板； 药液供给构件，其向所述药液喷出路径供给所述药液；以及 药液抽吸构件，其从所述药液吸入路径抽吸所述药液。
10.根据权利要求9所述的除膜装置，其中， 所述药液供给构件具备调整所述药液的供给流量的流量调整装置。
11.根据权利要求10所述的除膜装置，其中， 所述药液供给构件还具备对所述药液加热的加热装置。
12.一种除膜装置，具备权利要求7所述的除膜用喷嘴，其中， 该除膜装置具备: 载物台，其载置基板； 药液供给构件，其向所述药液喷出路径供给所述药液； 药液抽吸构件，其从所述药液吸入路径抽吸所述药液；以及 空气抽吸构件，其从所述抽吸孔抽吸空气。
13.一种除膜装置，具备权利要求8所述的除膜用喷嘴，其中，该除膜装置具备:载物台，其载置基板；药液供给构件，其向所述药液喷出路径供给所述药液；药液抽吸构件，其从所述药液吸入路径抽吸所述药液；以及空气供给构件，其向所述空气注入路径供给空气。
14.根据权利要求9~13的任意一项所述的除膜装置，其中，所述载物台为能够沿水平方向移动的可动载物台。
15.根据权利要求9~13的任意一项所述的除膜装置，其中，所述除膜装置还具备喷嘴移动构件，所述喷嘴移动构件使所述除膜用喷嘴水平移动。
【文档编号】B05C11/10GK103492089SQ201280020525
【公开日】2014年1月1日 申请日期:2012年4月11日 优先权日:2011年4月26日
【发明者】五十川良则 申请人:龙云株式会社