一种钪磷酸盐发光薄膜及其制备方法和应用的制作方法
【专利摘要】本发明提供了一种钪磷酸盐发光薄膜及其制备方法和应用。本发明提供的钪磷酸盐发光薄膜结构式为Me3ScP3O12:xCe3+,yEu3+，其中，Me为Mg、Ca、Sr或Ba，x的取值范围为0.01～0.05，y的取值范围为0.01～0.08，该钪磷酸盐发光薄膜具有良好的结构稳定性，在620nm和560nm位置附近有很强的发光峰，在发光与显示技术、激光与光电子技术以及探测技术等领域具有诱人的应用前景。本发明还提供了一种薄膜电致发光器件及其制备方法。
【专利说明】一种钪磷酸盐发光薄膜及其制备方法和应用
【技术领域】
[0001]本发明涉及无机发光材料领域，尤其涉及一种钪磷酸盐发光薄膜及其制备方法和应用。
【背景技术】
[0002]与传统的发光粉制作的显示屏相比，发光薄膜在对比度、分辨率、热传导、均匀性、与基底的附着性、释气速率等方面都显示出较强的优越性。因此，作为功能材料，发光薄膜在诸如阴极射线管(CRTs)、电致发光显示(ELDs)及场发射显示(FEDs)等平板显示领域中有着广阔的应用前景。
[0003]薄膜电致发光显示器(TFELD)由于其主动发光、全固体化、耐冲击、反应快、视角大、适用温度宽、工序简单等优点，已引起了广泛的关注，且发展迅速。目前，研究彩色及至全色TFELD，开发多波段发光的材料，是该课题的发展方向。然而，铈铕共掺杂钪磷酸盐发光薄膜仍未见报道。
【发明内容】
[0004]为了解决上述问题，本发明提供了一种钪磷酸盐发光薄膜及其制备方法和应用。
[0005]第一方面，本发明提供了一种钪磷酸盐发光薄膜，结构式为Me3ScP3O12IxCe3+, yEu3+，其中，Me3ScP3O12 为基质，Ce3+ 和 Eu3+ 为激活元素，Me 为 Mg、Ca、Sr 或Ba，X的取值范围为0.01?0.05，y的取值范围为0.01?0.08所述钪磷酸盐中，Me3ScP3O12基质具有较高的热学和力学稳定性，以及良好的光学透明性和较低的声子能量，为发光离子提供了优良的晶场，从而在光电能量转换的过程中产生较少无辐射跃迁，因此，其作为光电转换材料，耗电少，光能转换率高。
[0006]对于掺杂离子，稀土离子Eu3+和Ce3+具有丰富的能级和窄的发射谱线，由于受4f能级外层电子的屏蔽作用，Eu3+和Ce3+的能级寿命较长，很适合作为发射中心，有较高的发光效率；在本发明提供的铈铕共掺杂钪磷酸盐薄膜中，Eu3+和Ce3+作为激活元素，在薄膜中充当发光中心，Eu3+发生5Dtl — 7F2能级之间的跃迁，辐射出620nm的红光，Ce3+发生4F1 — 5D1能级之间的跃迁，福射出560nm的红光。
[0007]优选地，X的取值为0.02，y的取值为0.04。
[0008]优选地，发光薄膜的厚度为80?300nm。
[0009]更优选地，发光薄膜的厚度为150nm。
[0010]本发明制备了铈铕共掺杂钪磷酸盐Me3ScP3O12: xCe3+，yEu3+发光薄膜，以Me3ScP3O12为基质，Ce3+和Eu3+是激活元素，在薄膜中充当主要的发光中心。本发明提供的铈铕共掺杂钪磷酸盐发光薄膜(Me3ScP3O12:xCe3+，yEu3+)分别在620nm、560nm位置附近有很强的红、绿光的发光峰。
[0011]第二方面，本发明提供了一种钪磷酸盐发光薄膜的制备方法，包括以下步骤:
[0012]以摩尔比为3:l:3:X:y的双环戊二烯碱土盐、三甲基钪、磷烷、四甲基庚二酮铈、四甲基庚二酮铕为反应源；
[0013]在真空度为1.0X 10_2?1.0X 1-3Pa的气相沉积设备中，将衬底转速设置为50?1000转/分，通入含有反应源的惰性气体，气流量为5?15SCCm，再通入氧气在所述衬底上沉积得到所述钪磷酸盐发光薄膜；
[0014]所述钪磷酸盐发光薄膜的结构式为Me3ScP3O12:xCe3+，yEu3+,其中，Me为Mg、Ca、Sr或Ba，X的取值范围为0.01?0.05，y的取值范围为0.01?0.08。
[0015]本发明采用金属有机气相沉积设备(MOCVD)制备钪磷酸盐发光薄膜，以双环戊二烯碱土盐、三甲基钪、磷烷、四甲基庚二酮铈、四甲基庚二酮铕为反应源，通过沉积得到发光薄膜。
[0016]优选地，双环戊二烯碱土盐为双环戊二烯镁((C5H5)2Mg)、双环戊二烯钙((C5H5)2CaX双环戊二烯锶((C5H5)2Sr)或双环戊二烯钡((C5H5) 2Ba)。
[0017]优选地，X的取值为0.02，y的取值为0.04。
[0018]优选地，气相沉积设备的真空度为4.0 X 10_3Pa。
[0019]优选地，衬底为玻璃。
[0020]优选地，衬底的转速设置为300转/分。
[0021]优选地，惰性气体为氩气。
[0022]优选地，含有反应源的惰性气体气流量为lOsccm。
[0023]优选地，氧气的气流量为10?200sccm。
[0024]更优选地，氧气的气流量为120sccm。
[0025]第三方面，本发明提供了一种薄膜电致发光器件，该薄膜电致发光器件包括衬底、阳极、发光层和阴极，所述发光层为钪磷酸盐发光薄膜，所述钪磷酸盐发光薄膜的结构式为Me3ScP3O12IxCe3+, yEu3+，其中，Me 为 Mg、Ca、Sr 或 Ba，x 的取值范围为 0.01 ?0.05，y 的取值范围为0.01?0.08。
[0026]优选地，X的取值为0.02，y的取值为0.04。
[0027]第四方面，本发明提供了一种薄膜电致发光器件的制备方法，包括以下步骤:
[0028]提供清洁的衬底；
[0029]以摩尔比为3:l:3:X:y的双环戊二烯碱土盐、三甲基钪、磷烷、四甲基庚二酮铈、四甲基庚二酮铕为反应源；
[0030]在真空度为1.0X10_2?1.0X10_3Pa的气相沉积设备中，将衬底转速设置为50?1000转/分，通入含有反应源的惰性气体，气流量为5?15sccm，再通入氧气在所述衬底上沉积得到所述钪磷酸盐发光薄膜，所述钪磷酸盐发光薄膜的结构式为Me3ScP3O12IxCe3+, yEu3+，其中，Me 为 Mg、Ca、Sr 或 Ba，x 的取值范围为 0.01 ?0.05，y 的取值范围为0.01?0.08 ;
[0031]继续通入氧气，待冷却后在所述发光薄膜上蒸镀阴极；
[0032]以上步骤完成后，得到所述薄膜电致发光器件。
[0033]优选地，X的取值为0.02，y的取值为0.04。
[0034]优选地，气相沉积设备的真空度为4.0 X 10_3Pa。
[0035]优选地，衬底为氧化铟锡(ITO)玻璃。
[0036]优选地，衬底的转速设置为300转/分。
[0037]优选地，惰性气体为氩气。
[0038]优选地，含有反应源的惰性气体气流量为lOsccm。
[0039]优选地，氧气的气流量为10?200sccm。
[0040]更优选地，氧气的气流量为120sccm。
[0041]优选地，阴极为银。
[0042]本发明提供的铈铕共掺杂钪磷酸盐发光薄膜(Me3ScP3O12: xCe3+, yEu3+)以Me3ScP3O12为基质，Ce3+和Eu3+是激活元素，在薄膜中充当主要的发光中心。在620nm和560nm位置附近有很强的发光峰，由于这些优越的性能，在发光与显示技术、激光与光电子技术以及探测技术等领域具有诱人的应用前景。此外，本发明提供的钪磷酸盐发光薄膜的制备方法采用MOCVD，使得到的产品厚度均匀、成膜质量高、缺陷少、发光效率高，并且条件易于控制、有较好的可操作性，可精确控制薄膜的厚度和形状大小。
【专利附图】
【附图说明】
[0043]图1为本发明实施例1制备的发光薄膜的电致发光光谱图；
[0044]图2为本发明实施例1制备的发光薄膜的XRD图；
[0045]图3为本发明实施例13提供的薄膜电致发光器件的结构示意图；
[0046]图4是实施例13制备的薄膜电致发光器件的电压与电流和亮度关系图。
【具体实施方式】
[0047]为了使本发明的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本发明进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本发明，并不用于限定本发明。
[0048]下面结合具体实施例对本发明作进一步说明。
[0049]实施例1
[0050]一种钪磷酸盐发光薄膜，结构式为Mg3ScP3O12 = 0.02Ce3+, 0.04Eu3+，通过以下方法制得:
[0051]以摩尔比为3:1:3:0.02:0.04的双环戊二烯镁、三甲基钪、磷烷、四甲基庚二酮铈、四甲基庚二酮铕为反应源；
[0052]以ITO玻璃为衬底，先后用甲苯、丙酮和乙醇超声清洗5分钟，然后用蒸馏水冲洗干净，氮气风干后送入设备反应室；用机械泵和分子泵把腔体的真空度抽至4.0X 10_3Pa，然后把衬底进行700°C热处理20分钟，然后温度降为500°C ；
[0053]打开旋转电机，调节衬底托的转速为300转/分，通入含有反应源的载气Ar气，气流量为1sccm,再通入氧气，气流量为120sccm,进行沉积得到结构式为Mg3ScP3O121.02Ce3+, 0.04Eu3+ 的发光薄膜，厚度为 150nm。
[0054]图1为本发明实施例1制备的发光薄膜的电致发光光谱图。从图中可以看到，结构式为Mg3ScP3O12 = 0.02Ce3+, 0.04Eu3+的样品在560nm和620nm位置附近有明显的发光峰，说明两种激活元素在本发光材料中可并存，实现多色发光并不影响发光效率。请参阅图2，图2为实施例1制备的铈铕共掺杂钪磷酸盐发光薄膜的XRD曲线，测试对照标准PDF卡片。从图2中可以看出图中X射线衍射峰对应的是钪磷酸盐的特征峰，没有出现掺杂元素及杂质相关的峰，说明铈铕掺杂离子进入了钪磷酸盐的晶格，样品具有良好的结晶性质。
[0055]实施例2
[0056]—种钪磷酸盐发光薄膜,结构式为Mg3ScP3O12 = 0.05Ce3+, 0.0lEu3+,通过以下方法制得:
[0057]以摩尔比为3:1:3:0.05:0.01的双环戊二烯镁、三甲基钪、磷烷、四甲基庚二酮铈、四甲基庚二酮铕为反应源；
[0058]以ITO玻璃为衬底，先后用甲苯、丙酮和乙醇超声清洗5分钟，然后用蒸馏水冲洗干净，氮气风干后送入设备反应室；用机械泵和分子泵把腔体的真空度抽至1.0X10_3Pa，然后把衬底进行700°C热处理10分钟，然后温度降为250°C ；
[0059]打开旋转电机，调节衬底托的转速为50转/分，通入含有反应源的载气Ar气，气流量为1sccm,再通入氧气，气流量为1sccm,进行沉积得到结构式为Mg3ScP3O121.05Ce3+, 0.0lEu3+ 的发光薄膜，厚度为 80nm。
[0060]实施例3
[0061]—种钪磷酸盐发光薄膜，结构式为Mg3ScP3O12 = 0.0lCe3+, 0.08Eu3+,通过以下方法制得:
[0062]以摩尔比为3:1:3:0.01:0.08的双环戊二烯镁、三甲基钪、磷烷、四甲基庚二酮铈、四甲基庚二酮铕为反应源；
[0063]以ITO玻璃为衬底，先后用甲苯、丙酮和乙醇超声清洗5分钟，然后用蒸馏水冲洗干净，氮气风干后送入设备反应室；用机械泵和分子泵把腔体的真空度抽至1.0X10_2Pa，然后把衬底进行700°C热处理30分钟，然后温度降为650°C ；
[0064]打开旋转电机，调节衬底托的转速为1000转/分，通入含有反应源的载气Ar气，气流量为lOsccm，再通入氧气，气流量为200SCCm，进行沉积得到结构式为Mg3 (VS4)2:
0.08Cu2+，0.1Ir3+的发光薄膜，厚度为300nm。
[0065]实施例4
[0066]一种钪磷酸盐发光薄膜，结构式为Ca3ScP3O12 = 0.02Ce3+, 0.04Eu3+，通过以下方法制得:
[0067]以摩尔比为3:1:3:0.02:0.04的双环戊二烯钙、三甲基钪、磷烷、四甲基庚二酮铈、四甲基庚二酮铕为反应源；
[0068]以ITO玻璃为衬底，先后用甲苯、丙酮和乙醇超声清洗5分钟，然后用蒸馏水冲洗干净，氮气风干后送入设备反应室；用机械泵和分子泵把腔体的真空度抽至4.0X 10_3Pa，然后把衬底进行700°C热处理20分钟，然后温度降为500°C ；
[0069]打开旋转电机，调节衬底托的转速为300转/分，通入含有反应源的载气Ar气，气流量为1sccm,再通入氧气，气流量为120sccm,进行沉积得到结构式为Ca3ScP3O121.02Ce3+, 0.04Eu3+ 的发光薄膜，厚度为 150nm。
[0070]实施例5
[0071]—种钪磷酸盐发光薄膜，结构式为Ca3ScP3012:0.05Ce3+, 0.0lEu3+,通过以下方法制得:
[0072]以摩尔比为3:1:3:0.05:0.01的双环戊二烯钙、三甲基钪、磷烷、四甲基庚二酮铈、四甲基庚二酮铕为反应源；
[0073]以ITO玻璃为衬底，先后用甲苯、丙酮和乙醇超声清洗5分钟，然后用蒸馏水冲洗干净，氮气风干后送入设备反应室；用机械泵和分子泵把腔体的真空度抽至1.0X10_3Pa，然后把衬底进行700°C热处理10分钟，然后温度降为250°C ；
[0074]打开旋转电机，调节衬底托的转速为50转/分，通入含有反应源的载气Ar气，气流量为1sccm,再通入氧气，气流量为1sccm,进行沉积得到结构式为Ca3ScP3O121.05Ce3+, 0.0lEu32 的发光薄膜，厚度为 80nm。
[0075]实施例6
[0076]一种钪磷酸盐发光薄膜，结构式为Ca3ScP3O12 = 0.0lCe3+, 0.08Eu3+，通过以下方法制得:
[0077]以摩尔比为3:1:3:0.01:0.08的双环戊二烯钙、三甲基钪、磷烷、四甲基庚二酮铈、四甲基庚二酮铕为反应源；
[0078]以ITO玻璃为衬底，先后用甲苯、丙酮和乙醇超声清洗5分钟，然后用蒸馏水冲洗干净，氮气风干后送入设备反应室；用机械泵和分子泵把腔体的真空度抽至1.0X10_2Pa，然后把衬底进行700°C热处理30分钟，然后温度降为650°C ；
[0079]打开旋转电机，调节衬底托的转速为1000转/分，通入含有反应源的载气Ar气，气流量为1sccm,再通入氧气，气流量为200sccm,进行沉积得到结构式为Ca3ScP3O121.0lCe3+, 0.08Eu3+ 的发光薄膜，厚度为 300nm。
[0080]实施例7
[0081]一种钪磷酸盐发光薄膜，结构式为Sr3ScP3O12 = 0.02Ce3+, 0.04Eu3+，通过以下方法制得:
[0082]以摩尔比为3:1:3:0.02:0.04的双环戊二烯锶、三甲基钪、磷烷、四甲基庚二酮铈、四甲基庚二酮铕为反应源；
[0083]以ITO玻璃为衬底，先后用甲苯、丙酮和乙醇超声清洗5分钟，然后用蒸馏水冲洗干净，氮气风干后送入设备反应室；用机械泵和分子泵把腔体的真空度抽至4.0X 10_3Pa，然后把衬底进行700°C热处理20分钟，然后温度降为500°C ；
[0084]打开旋转电机，调节衬底托的转速为300转/分，通入含有反应源的载气Ar气，气流量为1sccm,再通入氧气，气流量为120sccm,进行沉积得到结构式为Sr3ScP3O121.02Ce3+, 0.04Eu3+ 的发光薄膜，厚度为 150nm。
[0085]实施例8
[0086]一种钪磷酸盐发光薄膜，结构式为Sr3ScP3012:0.05Ce3+, 0.0lEu3+,通过以下方法制得:
[0087]以摩尔比为3:1:3:0.05:0.01的双环戊二烯锶、三甲基钪、磷烷、四甲基庚二酮铈、四甲基庚二酮铕为反应源；
[0088]以ITO玻璃为衬底，先后用甲苯、丙酮和乙醇超声清洗5分钟，然后用蒸馏水冲洗干净，氮气风干后送入设备反应室；用机械泵和分子泵把腔体的真空度抽至1.0X10_3Pa，然后把衬底进行700°C热处理10分钟，然后温度降为250°C ；
[0089]打开旋转电机，调节衬底托的转速为50转/分，通入含有反应源的载气Ar气，气流量为1sccm,再通入氧气，气流量为1sccm,进行沉积得到结构式为Sr3ScP3O121.05Ce3+, 0.0lEu3+ 的发光薄膜，厚度为 80nm。
[0090]实施例9
[0091]—种钪磷酸盐发光薄膜，结构式为Sr3ScP3012:0.0lCe3+, 0.08Eu3+,通过以下方法制得:
[0092]以摩尔比为3:1:3:0.01:0.08的双环戊二烯锶、三甲基钪、磷烷、四甲基庚二酮铈、四甲基庚二酮铕为反应源；
[0093]以ITO玻璃为衬底，先后用甲苯、丙酮和乙醇超声清洗5分钟，然后用蒸馏水冲洗干净，氮气风干后送入设备反应室；用机械泵和分子泵把腔体的真空度抽至1.0X10_2Pa，然后把衬底进行700°C热处理30分钟，然后温度降为650°C ；
[0094]打开旋转电机，调节衬底托的转速为1000转/分，通入含有反应源的载气Ar气，气流量为1sccm,再通入氧气，气流量为200sccm,进行沉积得到结构式为Sr3ScP3O121.0lCe3+, 0.08Eu3+ 的发光薄膜，厚度为 300nm。
[0095]实施例10
[0096]一种钪磷酸盐发光薄膜，结构式为Sca3ScP3O12 = 0.02Ce3+, 0.04Eu3+，通过以下方法制得:
[0097]以摩尔比为3:1:3:0.02:0.04的双环戊二烯钡、三甲基钪、磷烷、四甲基庚二酮铈、四甲基庚二酮铕为反应源；
[0098]以ITO玻璃为衬底，先后用甲苯、丙酮和乙醇超声清洗5分钟，然后用蒸馏水冲洗干净，氮气风干后送入设备反应室；用机械泵和分子泵把腔体的真空度抽至4.0X 10_3Pa，然后把衬底进行700°C热处理20分钟，然后温度降为500°C ；
[0099]打开旋转电机，调节衬底托的转速为300转/分，通入含有反应源的载气Ar气，气流量为1sccm,再通入氧气，气流量为120sccm,进行沉积得到结构式为Sca3ScP3O121.02Ce3+, 0.04Eu3+ 的发光薄膜，厚度为 150nm。
[0100]实施例11
[0101]—种钪磷酸盐发光薄膜，结构式为Sca3ScP3012:0.05Ce3+, 0.0lEu3+,通过以下方法制得:
[0102]以摩尔比为3:1:3:0.05:0.01的双环戊二烯钡、三甲基钪、磷烷、四甲基庚二酮铈、四甲基庚二酮铕为反应源；
[0103]以ITO玻璃为衬底，先后用甲苯、丙酮和乙醇超声清洗5分钟，然后用蒸馏水冲洗干净，氮气风干后送入设备反应室；用机械泵和分子泵把腔体的真空度抽至1.0X10_3Pa，然后把衬底进行700°C热处理10分钟，然后温度降为250°C ；
[0104]打开旋转电机，调节衬底托的转速为50转/分，通入含有反应源的载气Ar气，气流量为1sccm,再通入氧气，气流量为1sccm,进行沉积得到结构式为Sca3ScP3O121.05Ce3+, 0.0lEu3+ 的发光薄膜，厚度为 80nm。
[0105]实施例12
[0106]一种钪磷酸盐发光薄膜，结构式为Sca3ScP3O12 = 0.0lCe3+, 0.08Eu3+，通过以下方法制得:
[0107]以摩尔比为3:1:3:0.01:0.08的双环戊二烯钡、三甲基钪、磷烷、四甲基庚二酮铈、四甲基庚二酮铕为反应源；
[0108]以ITO玻璃为衬底，先后用甲苯、丙酮和乙醇超声清洗5分钟，然后用蒸馏水冲洗干净，氮气风干后送入设备反应室；用机械泵和分子泵把腔体的真空度抽至1.0X10_2Pa，然后把衬底进行700°C热处理30分钟，然后温度降为650°C ；
[0109]打开旋转电机，调节衬底托的转速为1000转/分，通入含有反应源的载气Ar气，气流量为1sccm,再通入氧气，气流量为200sccm,进行沉积得到结构式为Sca3ScP3O121.0lCe3+, 0.08Eu3+ 的发光薄膜，厚度为 300nm。
[0110]实施例13
[0111]一种薄膜电致发光器件，该薄膜电致发光器件的结构为依次层叠的玻璃衬底1、阳极2，为ITO透明导电薄膜、发光层3，为发光薄膜、阴极4，为Ag，其中发光层3中的发光薄膜为实施例1中制得的结构式为Mg3ScP3O12:0.02Ce3+, 0.04Eu3+的发光薄膜。
[0112]图3为本发明实施例13提供的薄膜电致发光器件，其中I为玻璃衬底；2为阳极；3为发光层；4为阴极。
[0113]请参阅图4，图4为实施例1制备的薄膜电致发光器件的电压与电流和亮度关系图，在图4中曲线I是电压与电流密度关系曲线，可看出器件可看出器件从5.5V开始发光，曲线2是电压与亮度关系曲线，最大亮度为85cd/m2，表明器件具有良好的发光特性。
[0114]以上所述仅为本发明的较佳实施例而已，并不用以限制本发明，凡在本发明的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。
【权利要求】
1.一种钪磷酸盐发光薄膜,其特征在于，结构式为Me3ScP3O12:xCe3+，yEu3+,其中，Me为Mg、Ca、Sr或Ba，x的取值范围为0.01?0.05，y的取值范围为0.01?0.08。
2.如权利要求1所述的钪磷酸盐发光薄膜，其特征在于，X的取值为0.02，y的取值为0.04。
3.权利要求1所述的钪磷酸盐发光薄膜，其特征在于，所述发光薄膜的厚度为80?300nmo
4.一种钪磷酸盐发光薄膜的制备方法，其特征在于，包括以下步骤: 以摩尔比为3:l:3:X:y的双环戊二烯碱土盐、三甲基钪、磷烷、四甲基庚二酮铈、四甲基庚二酮铕为反应源； 在真空度为1.0X 10_2?1.0X 10_3Pa的气相沉积设备中，将衬底转速设置为50?1000转/分，通入含有反应源的惰性气体，气流量为5?15Sccm，再通入氧气，在所述衬底上沉积得到所述钪磷酸盐发光薄膜； 所述钪磷酸盐发光薄膜的结构式为Me3ScP3O12: xCe3+，yEu3+，其中，Me为Mg、Ca、Sr或Ba，X的取值范围为0.01?0.05，y的取值范围为0.01?0.08。
5.如权利要求4所述的制备方法，其特征在于，X的取值为0.02，y的取值为0.04。
6.如权利要求4所述的制备方法，其特征在于，所述双环戊二烯碱土盐为双环戊二烯镁、双环戊二烯钙、双环戊二烯锶或双环戊二烯钡。
7.如权利要求4所述的制备方法，其特征在于，所述氧气的气流量为10?200SCCm。
8.一种薄膜电致发光器件，包括衬底、发光层和阴极，其特征在于，所述发光层的材质为钪磷酸盐发光薄膜，所述钪磷酸盐发光薄膜的结构式为Me3ScP3O12: xCe3+，yEu3+，其中，Me为Mg、Ca、Sr或Ba，x的取值范围为0.01?0.05，y的取值范围为0.01?0.08。
9.如权利要求8所述的薄膜电致发光器件，其特征在于，X的取值为0.02，y的取值为0.04。
10.一种薄膜电致发光器件的制备方法，其特征在于，包括以下步骤: 提供清洁的衬底； 以摩尔比为3:l:3:X:y的双环戊二烯碱土盐、三甲基钪、磷烷、四甲基庚二酮铈、四甲基庚二酮铕为反应源； 在真空度为1.0X 10_2?1.0X 10_3Pa的气相沉积设备中，将衬底转速设置为50?1000转/分，通入含有反应源的惰性气体，气流量为5?15Sccm，再通入氧气，在所述衬底上沉积得到所述钪磷酸盐发光薄膜，所述钪磷酸盐发光薄膜的结构式为Me3ScP3O12: xCe3+, yEu3+,其中，Me为Mg、Ca、Sr或Ba，x的取值范围为0.01?0.05，y的取值范围为0.01?0.08 ; 继续通入氧气，待冷却后在所述发光薄膜上蒸镀阴极； 以上步骤完成后，得到所述薄膜电致发光器件。
【文档编号】C09K11/71GK104449712SQ201310440219
【公开日】2015年3月25日 申请日期:2013年9月25日 优先权日:2013年9月25日
【发明者】周明杰, 陈吉星, 王平, 张振华 申请人:海洋王照明科技股份有限公司, 深圳市海洋王照明技术有限公司, 深圳市海洋王照明工程有限公司