涂布系统的制作方法
【专利摘要】本实用新型公开一种涂布系统，该涂布系统包括用于承载基板的装载台，以及用于对所述基板进行涂覆的长条状的喷嘴；其特征在于，所述涂布系统还包括报警装置和位置检测装置，该位置检测装置用于检测所述喷嘴的下端面的至少一部分的位置，所述报警装置与所述位置检测装置电连接，且所述报警装置设置为当所述位置检测装置检测到所述喷嘴的下端面的至少一部分的位置发生变化时发出报警信号。本实用新型所提供的涂布系统可以避免因喷嘴的下端面与基板的上表面之间的距离不均匀而造成的喷涂不良。
【专利说明】涂布系统
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及显示【技术领域】，具体地，涉及一种涂布系统。
【背景技术】
[0002]在液晶面板等显示面板的制造过程中，在形成阵列基板上的各种图形(例如，栅线、数据线、薄膜晶体管的栅极、源极、漏极以及有源层等)时，光刻是非常重要的一步。光刻是利用涂布系统在金属薄膜或非金属薄膜上涂敷一层光刻胶，然后曝光显影，形成所需的图形。
[0003]图1中所示的是常见的涂布系统的示意图，所述涂布系统包括装载台20和悬置在装载台20上方的喷嘴10。通常，喷嘴10由两块不锈钢板拼接而成，在两块不锈钢板之间形成有间隙，光刻胶从间隙中流出。在进行喷涂时，将基板70设置在装载台20的上表面上，从喷嘴10中喷出的光刻胶喷涂在基板70上。
[0004]最初始时，喷嘴10的下端面是平面，如图2所示，喷嘴10的下端面各处与基板70的上表面之间的距离是相等的(图2中都为d)。由于喷嘴10自身重量较大，随着涂布系统的使用，喷嘴10可能会产生弯曲，使得喷嘴10的下端面各处与基板70的上表面之间的距离并不一定相等(例如，在图3中，喷嘴10的下端面的中间部分与基板70的上表面之间的距离为Cl1，而喷嘴10的下端面的两侧与基板70的上表面之间的距离则分别为(12和d3)。喷嘴10的下端面各处与基板70的上表面之间的距离不相等可能会导致喷涂在基板70上的光刻胶喷涂不良(主要是厚薄不均)，从而会影响到后续的曝光、显影等工序。
[0005]因此，如何防止喷涂在基板上的光刻胶产生喷涂不良成为本领域亟待解决的技术问题。
实用新型内容
[0006]本实用新型的目的在于提供一种涂布系统，利用该涂布系统向设在在装载台上的基板喷涂光刻胶时，可以使得防止所述基板上光刻胶喷涂不良。
[0007]为了实现上述目的，本实用新型提供一种涂布系统，该涂布系统包括用于承载基板的装载台，以及用于对所述基板进行涂覆的长条状的喷嘴；其中，所述涂布系统还包括报警装置和位置检测装置，该位置检测装置用于检测所述喷嘴的下端面的至少一部分的位置，所述报警装置与所述位置检测装置电连接，且所述报警装置设置为当所述位置检测装置检测到所述喷嘴的下端面的至少一部分的位置发生变化时发出报警信号。
[0008]优选地，所述报警装置包括控制单元和报警信号发出单元，所述控制单元和所述位置检测单元分别电连接，所述控制单元能够接收所述位置检测装置发出的位置信号，并当所述控制单元根据该位置信号判定所述喷嘴的下端面的至少一部分的位置发生变化时，所述控制单元控制所述报警信号发出单元发出所述报警信号。
[0009]优选地，所述位置检测装置包括至少一个第一位置检测单元，该第一位置检测单元用于检测所述喷嘴的下端面的至少一部分的位置，并向所述控制单元发出位置信号，所述控制单元设置为当任意一个所述第一位置检测单元发出的位置信号与预定位置不一致时判定所述喷嘴的下端面的至少一部分的位置发生变化。
[0010]优选地，所述位置检测装置包括多个第二位置检测单元，该多个第二位置检测单元沿所述喷嘴的长度方向设置以分别检测所述喷嘴的不同部位的下端面的位置，多个所述第二位置检测单元能够分别将检测到的位置信号传递给所述控制单元，所述控制单元能够将多个所述第二位置检测单元发送的位置信号进行比较，并且能够在多个所述第二位置检测单元发送的所述位置信号不同时判定所述喷嘴的下端面的至少一部分位置发生变化。
[0011]优选地，所述位置检测装置包括光信号发射件和光信号接收件，所述喷嘴设置在所述光信号发射件和所述光信号接收件之间，所述光信号接收件与所述控制单元电连接，以向所述控制单元发出位置信号，所述控制单元设置为当所述光信号发射件发射出的光信号被所述喷嘴阻挡而未到达所述光信号接收件时，所述控制单元判定所述喷嘴的下端面的至少一部分位置发生变化。
[0012]优选地，所述光信号发射件固定设置在所述装载台上；
[0013]所述光信号发射件和所述光信号接收件分列于所述喷嘴的长度方向上的两侧，或者所述光信号发射件和所述光信号接收件分列于所述喷嘴的宽度方向的两侧。
[0014]优选地，当所述光信号发射件和/或光信号接收件通过第一导轨设置在所述装载台上，使得所述光信号发射件和/或所述光信号接收件能够沿着所述喷嘴的长度方向移动。
[0015]优选地，所述位置检测装置包括设置在所述喷嘴的下端面和所述装载台的上表面中的一者上的至少一个第一感应块和设置在所述喷嘴的下端面和所述装置台的上表面中的另一者上的至少一个第一传感器，该至少一个第一传感器与所述至少一个第一感应块一一对应，所述第一传感器与所述控制单元电连接，所述位置检测装置设置为当所述第一传感器检测到所述第一感应块时向所述控制单元发出位置信号，所述控制单元根据该位置信号判定所述喷嘴发生变形。
[0016]优选地，所述位置检测装置包括两个所述第一感应块，且两个所述第一感应块分别设置在所述喷嘴的长度方向的两端。
[0017]优选地，所述涂布系统还包括固定在所述喷嘴前侧面上的防护板，该防护板的长度方向与所述喷嘴板的长度方向一致，且所述防护板的下端面与所述装载台的上表面之间的距离小于所述喷嘴的下表面与所述装载台的上表面之间的距离。
[0018]优选地，所述涂布系统还包括障碍检测装置，该障碍检测装置与所述控制单元电连接，且所述障碍检测装置设置为当检测到所述装载台的上表面上有从所述装载台的上表面向上凸起预定高度的障碍物时向所述控制单元发出障碍物信号，所述控制单元根据该障碍物信号控制所述报警装置报警。
[0019]优选地，所述涂布系统还包括第二导轨，所述喷嘴通过所述导轨在所述装载台上移动。
[0020]优选地，所述涂布系统包括两条平行设置的所述第二导轨，所述喷嘴在长度方向上的两端设置有支撑部，所述支撑部下端与所述第二导轨的上端匹配，以使得所述喷嘴能够沿轨道移动。
[0021]在本实用新型所提供的涂布系统中，如果所述位置检测装置检测到的喷嘴的至少一部分的下端面的位置发生变化时，报警装置发出报警信号，从而提醒操作者对喷嘴进行维修和更换，进而可以避免因喷嘴的下端面与基板的上表面之间的距离不均匀而造成的喷涂不良。
【专利附图】
【附图说明】
[0022]附图是用来提供对本实用新型的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与下面的【具体实施方式】一起用于解释本实用新型，但并不构成对本实用新型的限制。在附图中:
[0023]图1是现有的涂布系统的示意图；
[0024]图2是展示未变形的喷嘴的下端面与基板的上表面之间的距离的示意图；
[0025]图3是展示已变形的喷嘴的下端面与基板的上表面之间的距离的示意图；
[0026]图4是本实用新型所提供的涂布系统的第三种实施方式的示意图；
[0027]图5是本实用新型所提供的涂布系统的第四种实施方式的示意图；
[0028]图6是本实用新型所提供的涂布系统的第五种实施方式的示意图。
[0029]附图标记说明
[0030]10:喷嘴20:装载台
[0031]31:第一传感器 32 --第一感应块
[0032]33:光信号发射件`34:支架
[0033]35:光信号接收件41:防护板
[0034]42:第二传感器43:第二感应块
[0035]50:第二导轨 60:障碍物
[0036]70:基板
【具体实施方式】
[0037]以下结合附图对本实用新型的【具体实施方式】进行详细说明。应当理解的是，此处所描述的【具体实施方式】仅用于说明和解释本实用新型，并不用于限制本实用新型。
[0038]本领域技术人员应当理解的是，如图4至图6中的实线箭头方向所示，在本实用新型中所用到的方位词“前”是指涂布系统的喷头在喷涂光刻胶时的移动方向，而方位词“后”是指与涂布系统的喷头在喷涂光刻胶时的移动方向相反的方向。方位词“上”是指与重力方向相反的方向，方位词“下”是指与重力方向相同的方向。
[0039]如图4和图6所示，本实用新型提供一种涂布系统，该涂布系统包括用于承载基板70的装载台20，以及用于对基板70进行涂覆的长条状的喷嘴；其中，所述涂布系统还包括报警装置(未示出)和位置检测装置，该位置检测装置用于检测喷嘴10的下端面的至少一部分的位置，所述报警装置与所述位置检测装置电连接，且所述报警装置设置为当所述位置检测装置检测到所述喷嘴的下端面的至少一部分的位置发生变化时发出报警信号。
[0040]在喷嘴10未变形时，喷嘴10的下端面的各个部分都处在“正确”的位置，使得喷嘴10的下端面与基板70 (或装载台20)的上端面之间的距离处处相等。而此处所述的“喷嘴10的下端面的至少一部分的位置发生变化”是指喷嘴10的下端面的所述至少一部分偏离的“正确”的位置(通常为向上偏离或向下偏离)，使得喷嘴10的下端面的所述至少一部分与基板70 (或装载台20)的上表面之间的距离不再处处相等。[0041]如上所述，所述位置检测装置检测到喷嘴10的至少一部分的下端面的位置发生了变化(即，偏离了“正确”的位置)，则说明喷嘴10在该部分产生了变形，此时所述位置检测装置可以向所述报警装置发出信号(该信号通常是电信号)，所述报警装置对所述位置检测装置发出的信号进行判定，从而确定喷嘴10是否发生了变形。如果报警装置判定喷嘴10发生了变形，则发出警报信号，操作者在接收到报警装置发出的警报信号后，可以及时地停止喷涂，对喷嘴10进行检修，以避免产生喷涂不良。
[0042]在本实用新型中，导致喷嘴10的下端面位置发生变化的原因可能有两种，第一种是安装时未能将喷嘴10正确安装，第二种则是在使用过程中，喷嘴10在自身重力的作用下产生变形。无论是那种原因导致的变形，在利用本实用新型所提供的涂布系统喷涂光刻胶时均能及时发现，从而可以避免光刻胶喷涂不良。
[0043]为了对所述位置检测装置发出的信号进行判定，优选地，所述报警装置可以包括控制单元和报警信号发出单元，所述控制单元和所述位置检测单元分别电连接，所述控制单元能够接收所述检测装置发出的位置信号，并当所述控制单元根据该位置信号判断喷嘴10的下端面的至少一部分的位置发生变化时，所述控制单元控制所述报警信号发出单元发出所述报警信号。
[0044]优选地，所述控制单元可以为PLC，而报警信号发出单元发出的报警信号既可以是声信号，也可以使光信号，也可以是声信号和光信号的结合，只要可以提醒操作者即可。
[0045]下面结合【具体实施方式】介绍所述控制单元如何判定喷嘴10的下端面是否发生了变形。
[0046]作为本实用新型的第一种实施方式，所述位置检测装置可以包括至少一个第一位置检测单元，所述控制单元内设定有预定位置，所述控制单元设置为当任意一个所述第一位置检测单元检测到所述喷嘴的下端面的至少一部分的位置与所述预定位置不一致时判定所述喷嘴的下端面的至少一部分的位置发生变化。
[0047]通常，所述预定位置可以是喷嘴10未发生变形且安装正确时，喷嘴10的下端面与基板70的上表面或装载台20的上表面之间的距离。所述第一位置检测单元在沿喷嘴10的长度方向上无位移，从而可以检测喷嘴10的下端面的特定部分的位置。
[0048]在本实施方式中，喷嘴10的下端面上位置变化最大的部分为最容易检测的部分，通常，如果喷嘴10发生了变形，则喷嘴10的长度部分的中间以及喷嘴10长度部分的两端位置变化最大。为了便于检测，可以设置一个第一位置检测单元，该第一位置检测单元用于检测喷嘴10的下端面在沿该喷嘴10的长度方向的中间部分的位置。或者，也可以将第一检测单元设置为检测喷嘴10的长度反向的任意一端。
[0049]为了使检测结果更加精确，优选地，所述位置检测装置可以包括多个第一位置检测单元，该多个第一位置检测单元沿喷嘴10的长度方向间隔均匀地设置在装载台20上。
[0050]在第一位置检测单元中，可以利用声波来测定喷嘴10的下端面的位置，也可以利用光信号来测定喷嘴10的下端面的位置。
[0051]在本实用新型中对第一位置检测单元的设置位置并不做限定，只要可以确保每个第一位置检测单元均不在喷嘴10的长度方向上发生位移，且不影响喷嘴10正常喷涂光刻胶即可。例如，通常喷嘴10由两块钢板拼合而成，该两块钢板之间设置具有缝隙，光刻胶沿缝隙喷出，可以将第一位置检测单元设置在形成喷嘴10的两块钢板的任意一块上，只要不遮挡所述缝隙即可。或者，可以将第一位置检测单元设置在装载台20上。
[0052]作为本实用新型的第二种实施方式，所述位置检测装置可以包括多个第二位置检测单元，该多个第二位置检测单元沿喷嘴10的长度方向设置，以分别检测喷嘴10的不同部位的下端面的位置，多个所述第二位置检测单元可以分别将检测到的位置信号传递给所述控制单元，所述控制单元可以对多个所述第二位置检测单元发送的所述位置信号进行比较，并且可以在多个所述第二位置检测单元发送的所述位置信号不同时判定喷嘴10的下端面的至少一部分位置发生变化。当所述控制单元判定喷嘴10的下端面的至少一部分的位置发生变化后，控制报警信号发出单元发出报警信号。
[0053]优选地，可以设置三个第二位置检测单元，该三个第二位置检测单元分别位于喷嘴10沿长度方向的两端以及喷嘴10沿长度方向的中部。
[0054]第二位置检测单元的设置方式与第一位置检测单元的设置方式大致类似，这里不再赘述。
[0055]作为本实用新型的第三种实施方式，如图4所示，所述位置检测装置包括光信号发射件33和光信号接收件35。喷嘴10设置在光信号发射件33和光信号接收件35之间，光信号接收件35与所述控制单元电连接，以向所述控制单元发出光信号接收信号，所述控制单元设置为当光信号发射件33发射出的光信号被喷嘴10阻挡而未到达光信号接收件35时，所述控制单元判定喷嘴10的下端面的至少一部分位置发生变化。
[0056]此处所述的“喷嘴10设置在光信号发射件33和光信号接收件35之间”可以有如下两种情况:第一种情况，光信号发射件33和光信号接收件35分别设置在喷嘴10的前后两侧(如图4所示)；第二种情况，光信号发射件33设置在喷嘴10的长度方向的两端。
[0057]光信号接收件35与所述控制单元电连接，在喷嘴10未发生变形且安装正确的情况下，光信号发射件33发射出的光信号可以照射在光信号接收件35上，光信号接收件35向所述控制单元发出第一信号(可以为电压信号或电流信号)，此时控制单元判定喷嘴10未发生变形。
[0058]当喷嘴10未正确安装或者发生变形后，光信号发射件33发射出光信号照射在喷嘴10上，无法到达光信号接收件35，此时光信号发射件35向控制单元发出第二信号(可以为不同于第一信号的电压信号或电流信号)，或者不发出信号。在这种情况下，所述控制单元判定喷嘴10发生了变形，从而控制所述报警信号发出单元发出所述报警信号。
[0059]可以将光信号发射件33固定设置在装载台20上，以固定检测喷嘴10的特定位置是否发生变形。例如，可以将光信号发射件33设置为对应于喷嘴10的长度方向的中间位置，以检测喷嘴10的长度方向的中间位置的位置变化。
[0060]为了便于设置光信号发射件33，可以在装载台20上设置支架34，支架34的一端固定在装载台20上，将光信号发射件33设置在支架34的另一端。可以采取同样的方式设置光信号接收件35。下文中还将介绍光信号接收件35的另一种设置方式，这里先不赘述。
[0061]优选地,光信号发射件33和光信号接收件35可以沿垂直于10喷嘴的移动方向(即，光信号发射件33和光信号接收件35的移动方向平行于喷嘴10的长度方向)的方向从装载台20的一侧移动至该装载台20的另一侧。将光信号发射件33和光信号接收件35设置为可沿装载台20移动的优点在于，可以沿喷嘴10的整个长度方向检测喷嘴10是否发生变形。应当理解的是，光信号接收件35沿喷嘴10的长度方向的移动与光信号发射件33沿喷嘴10的长度方向的移动是同步的。
[0062]为了实现光信号发射件33沿喷嘴10的长度方向的移动，所述位置检测装置还可以包括驱动支架34移动的驱动机构。支架34的一端设置在装载台20上，另一端设置有光信号发射件33。在本实用新型中，对驱动机构的具体形式并不做限制，例如，可以利用活塞缸驱动支架34带动光信号发射件33从装载台20的宽度方向的一侧移动至装载台20的宽度方向的另一侧，也可以利用齿轮齿条等机构驱动支架34带动光信号发射件33从装载台20的宽度方向的一侧移动至装载台20的宽度方向的另一侧。具体采用哪种驱动机构驱动支架34移动可以根据现场的工作环境来选择。
[0063]为了便于光信号发射件33和光信号接收件35的移动，优选地，可以在装载台20上设置第一导轨(未示出)，该第一导轨在装载台20上沿喷嘴10的长度方向延伸。设置有光信号发射件33和/或光信号接收件35的支架34与所述第一导轨相匹配，以使得光信号发射件33和光信号接收件35可以沿所述第一导轨移动。
[0064]在本实用新型中，可以设置两条第一导轨，该两条第一导轨分别对应于光信号发射件33和光信号接收件35。
[0065]或者，可以只设置对应于光信号发射件33光信号接收件35中的一者的第一导轨，利用移动装置(例如，活塞缸等)驱动光信号发射件33和光信号接收件35中的另一者沿喷嘴10的长度方向移动。
[0066]如图5所示，作为本实用新型的第四种实施方式，所述位置检测装置可以包括设置在喷嘴10的下端面和装载台20的上表面中的一者上的至少一个第一感应块32和设置在喷嘴10的下端面和装载台20的上表面中的另一者上的至少一个第一传感器31，该至少一个第一传感器31与至少一个第一感应块32 —一对应，第一传感器31与所述控制单元电连接，所述位置检测装置设置为当一个第一传感器31检测到与该第一传感器31对应的第一感应块32时向所述控制单元发出位置信号，所述控制单元根据该位置信号判定所述喷嘴的下端面的至少一部分位置发生变化。
[0067]下面具体介绍第一传感器31和第一感应块32的工作原理。第一传感器31向自身的检测范围内发射感应信号，如果第一感应块32在第一传感器31的检测范围外，则第一传感器31会向控制单元输出正常信号(该正常信号可以为电压信号，也可以为电流信号)，如果第一感应块32进入了第一传感器31的范围内，第一感应块32与感应信号相互作用，从而使得第一传感器31输出位置信号(该位置信号也为电压信号，也可以为电流信号)。由于位置信号不同于正常信号(电压不同，或电流不同)，因此，所述控制单元可以据此作出判断。
[0068]在喷嘴10安装正确且喷嘴10未发生变形的情况下，第一传感器31并不能检测到第一感应块32,即第一感应块32位于第一传感器31的检测范围外，因此第一传感器31不会向所述控制单元输出所述位置信号。如果第一传感器31检测到了第一感应块32，S卩，第一感应块32位于第一传感器31的检测范围之内，则说明喷嘴10的下端面上安装第一感应块32或第一传感器31的部分的位置发生了变化，此时所述位置检测装置向所述控制单元发出位置信号，所述控制单元根据位置控制所述报警信号发出单元报警。
[0069]由于第一传感器31上通常设置有与控制单元电连接的电线，因此，优选地，可以将第一传感器31设置在固定不动的装载台20的上表面上，而将第一感应块32设置在喷嘴10的下端面上。
[0070]应当理解的是，设置第一感应块32不应影响光刻胶的正常喷涂。在图5中所示的本实用新型的第四种实施方式中，第一感应块32设置在喷嘴10的下端面的后方。在本实用新型中，对第一感应块32和第一传感器31的具体个数并不做限定。可以设置一个第一传感器31和一个与该第一传感器31对应的第一感应块32,也可以设置多个第一传感器31和与该多个第一传感器31 —一对应的多个第一感应块32。
[0071]通常，喷嘴10的两端是变形最大的部位，因此，为了便于设置，优选地，所述位置检测装置可以包括两个第一感应块32，且两个第一感应块32分别设置在喷嘴10的长度方向的两端。容易理解的是，在这种实施方式中，设置有两个第一传感器31，该两个第一传感器31分别与两个第一感应块32 对应。
[0072]为了保护喷嘴10并保证基板70的清洁，优选地，如图4至图6所示，所述涂布系统还可以包括固定在所述喷嘴10前侧面上的防护板41，该防护板41的长度方向与喷嘴10的长度方向一致，且防护板41的下端面与装载台20的上表面之间的距离，小于喷嘴10的下表面与装载台20的上表面之间的距离。应当理解的是，设置防护板41不应妨碍将基板70设置在装载台20的上表面上。在本实用新型的第三种实施方式中也可以设置防护板41，此时可以将光信号接收件35设置在防护板41上。
[0073]设置有防护板41的优点在于，如果基板70上有异物，防护板41可以在喷嘴10向基板70喷涂光刻胶之前将异物刮除。
[0074]进一步优选地，如图5和图6所示，所述涂布系统还包括障碍检测装置，该障碍检测装置与所述控制单元电连接，且所述障碍检测装置设置为当检测到装载台20的上表面上有从装载台20的上表面向上凸起预定高度的障碍物时向所述控制单元发出障碍物信号，所述控制单元根据该障碍物信号控制所述报警装置报警。应当理解的是，所述障碍物通常形成在基板70上。
[0075]具体地，如图5和6所示，所述障碍检测装置可以包括分别设置在喷嘴10的长度方向的两端的第二传感器42和第二感应块43，第二传感器42和第二感应块43相对设置，所述障碍检测装置设置为当第二传感器42无法检测到第二感应块43时发出所述障碍物信号。
[0076]具体地，第二传感器42向该第二传感器42检测范围内的空间内发出感应信号，第二感应块43设置在第二传感器42的检测范围内。如果基板70上没有障碍物，第二感应块43与第二传感器42发出的感应信号互相作用，使得第二传感器42向所述控制单元发出无障碍物的信号(该无障碍物信号可以为电压信号或电流信号)。当第二传感器42与第二感应块43有障碍物阻挡时，第二感应块43无法与第二传感器42发出的感应信号互相作用，因此，第二传感器42向所述控制单元发出障碍物信号(该障碍物信号也可为电压信号或电源信号)。由于无障碍物信号不同于障碍物信号(电压不同或电流不同)，因此所述控制单元可以作出基板70上是否有障碍物的判断。
[0077]应当理解的是，当所述涂布系统的所述障碍检测装置安装完毕后，对所述涂布系统进行供电后，如果基板70上没有障碍物，第二传感器42始终可以检测到第二感应块43。
[0078]在本实用新型中，第二传感器42和第二感应块43可以直接固定在喷嘴10上，或者直接固定在防护板41上。当然，为了防止障碍物对防护板41造成损伤，可以在将第二传感器42和第二感应块43设置在防护板41的前方。在这种情况下，如图6所示，第二感应块43和第二传感器42分别通过相应的连杆与喷嘴10固定连接。
[0079]虽然本实用新型的第五种实施方式中仅设置了一组第二传感器42和第二感应块43，但是，本领域技术人员应当理解的是，可以根据需要设置多组第二传感器42和第二感应块43。
[0080]如图6所示，如果基板70上的障碍物60达到一定高度(例如，可以是预定高度，或者大于预定高度)，会将第二感应块43发送给第二传感器42的感应信号挡住，此时可以认为所述障碍检测装置检测到了障碍物60，从而向控制单元发出障碍物信号，控制单元根据该障碍物信号控制所述报警装置报警，以提醒操作者对基板70进行清理。
[0081]优选地，所述涂布系统还可以包括设置在所述装载台20的宽度方向的至少一侧的第二导轨50，喷嘴10支撑在第二导轨50上。利用第二导轨50支撑喷嘴10可以防止喷嘴10变形。
[0082]在本实用新型中，对第二导轨50的条数并没有特别的限制，可以设置一条第二导轨50，可以设置多条第二导轨50。优选地，可以在装载台20的宽度方向的两侧均设置有第二导轨50，从而对喷嘴10进行均匀地支撑。在本实用新型中，可以在喷嘴10的两端设置支撑部(未示出)，该支撑部的下端与第二导轨50的上端相匹配，以使得喷嘴10能够沿轨道移动。可以在所述支撑部的下端设置凸台，在第二导轨50的上端设置与所述凸台相匹配的凹槽。或者，可以在支撑部的下端面设置凹槽，而在第二导轨50的的上端设置与所述凹槽相匹配的凸台。
[0083]应当理解的是，支撑部与第二导轨50相接触的表面应当非常光滑，从而减小喷嘴10在移动时受到的摩擦阻力。
[0084]下面结合图6中介绍本实用新型的第五种实施方式。如图6所示，所述涂布系统包括装载台20和悬置于装载台20上方的喷嘴10。在装载台20的宽度方向的两侧均设置有第二导轨50，从而可以防止喷嘴10变形。
[0085]喷嘴10的前侧面上设置有防护板41，且所述涂布系统还设置有包括第二传感器42和第二感应块43的障碍检测装置。在喷涂的过程中，防护板41可以将基板70上的障碍物刮除。如果基板70上的障碍物60体积过大，第二传感器42无法接收到第二感应块43发出的感应信号，则所述障碍检测装置向所述控制单元发出障碍物信号，所述控制单元根据该障碍物信号控制所述报警信号发出单元，提醒操作人员清除基板70上的障碍物60。优选地，所述报警信号发出单元设置为可以发出两种不同的信号，该两种不同的信号分别对应于喷嘴10发生弯曲和基板70上存在障碍物。
[0086]所述位置检测装置包括设置在装载台20的前端的两个第一传感器31和设置在喷嘴10上的与两个第一传感器31 对应的两个第一感应块32。当完成一次喷涂后,喷嘴10返回初始位置(即，装载台20的前端)，如果任意一个第一传感器31能够检测到第一感应块32，则说明喷嘴10发生了变形，所述位置检测装置向所述控制单元发出位置信号，所述控制单元根据该位置信号控制所述报警信号发出单元报警，提醒工作人员更换喷嘴10或对喷嘴10进行维修。
[0087]可以理解的是，以上实施方式仅仅是为了说明本实用新型的原理而采用的示例性实施方式，然而本实用新型并不局限于此。对于本领域内的普通技术人员而言，在不脱离本实用新型的精神和实质的情况下，可以做出各种变型和改进，这些变型和改进也视为本实用新型的保护范围。
【权利要求】
1.一种涂布系统，该涂布系统包括用于承载基板的装载台，以及用于对所述基板进行涂覆的长条状的喷嘴；其特征在于，所述涂布系统还包括报警装置和位置检测装置，该位置检测装置用于检测所述喷嘴的下端面的至少一部分的位置，所述报警装置与所述位置检测装置电连接，且所述报警装置设置为当所述位置检测装置检测到所述喷嘴的下端面的至少一部分的位置发生变化时发出报警信号。
2.根据权利要求1所述的涂布系统，其特征在于，所述报警装置包括控制单元和报警信号发出单元，所述控制单元和所述位置检测单元分别电连接，所述控制单元能够接收所述位置检测装置发出的位置信号，并当所述控制单元根据该位置信号判定所述喷嘴的下端面的至少一部分的位置发生变化时，所述控制单元控制所述报警信号发出单元发出所述报警信号。
3.根据权利要求2所述的涂布系统，其特征在于，所述位置检测装置包括至少一个第一位置检测单元，该第一位置检测单元用于检测所述喷嘴的下端面的至少一部分的位置，并向所述控制单元发出位置信号，所述控制单元设置为当任意一个所述第一位置检测单元发出的位置信号与预定位置不一致时判定所述喷嘴的下端面的至少一部分的位置发生变化。
4.根据权利要求2所述的涂布系统，其特征在于，所述位置检测装置包括多个第二位置检测单元，该多个第二位置检测单元沿所述喷嘴的长度方向设置以分别检测所述喷嘴的不同部位的下端面的位置，多个所述第二位置检测单元能够分别将检测到的位置信号传递给所述控制单元，所述控制单元能够将多个所述第二位置检测单元发送的位置信号进行比较，并且能够在多个所述第二位置检测单元发送的所述位置信号不同时判定所述喷嘴的下端面的至少一部分位置发生变化。
5.根据权利要求2所述的涂布系统，其特征在于，所述位置检测装置包括光信号发射件和光信号接收件，所述喷嘴设置在所述光信号发射件和所述光信号接收件之间，所述光信号接收件与所述控制单元电连接，以向所述控制单元发出位置信号，所述控制单元设置为当所述光信号发射件发射出的光信号被所述喷嘴阻挡而未到达所述光信号接收件时，所述控制单元判定所述喷嘴的下端面的至少一部分位置发生变化。
6.根据权利要求5所述的涂布系统，其特征在于，所述光信号发射件固定设置在所述装载台上； 所述光信号发射件和所述光信号接收件分列于所述喷嘴的长度方向上的两侧，或者所述光信号发射件和所述光信号接收件分列于所述喷嘴的宽度方向的两侧。
7.根据权利要求5所述的涂布系统，其特征在于，当所述光信号发射件和/或光信号接收件通过第一导轨设置在所述装载台上，使得所述光信号发射件和/或所述光信号接收件能够沿着所述喷嘴的长度方向移动。
8.根据权利要求2所述的涂布系统，其特征在于，所述位置检测装置包括设置在所述喷嘴的下端面和所述装载台的上表面中的一者上的至少一个第一感应块和设置在所述喷嘴的下端面和所述装置台的上表面中的另一者上的至少一个第一传感器，该至少一个第一传感器与所述至少一个第一感应块一一对应，所述第一传感器与所述控制单元电连接，所述位置检测装置设置为当所述第一传感器检测到所述第一感应块时向所述控制单元发出位置信号，所述控制单元根据该位置信号判定所述喷嘴发生变形。
9.根据权利要求8所述的涂布系统，其特征在于，所述位置检测装置包括两个所述第一感应块，且两个所述第一感应块分别设置在所述喷嘴的长度方向的两端。
10.根据权利要求2至9中任意一项所述的涂布系统，其特征在于，该涂布系统还包括固定在所述喷嘴前侧面上的防护板，该防护板的长度方向与所述喷嘴板的长度方向一致，且所述防护板的下端面与所述装载台的上表面之间的距离小于所述喷嘴的下表面与所述装载台的上表面之间的距离。
11.根据权利要求10所述的涂布系统，其特征在于，该涂布系统还包括障碍检测装置，该障碍检测装置与所述控制单元电连接，且所述障碍检测装置设置为当检测到所述装载台的上表面上有从所述装载台的上表面向上凸起预定高度的障碍物时向所述控制单元发出障碍物信号，所述控制单元根据该障碍物信号控制所述报警装置报警。
12.根据权利要求1至9中任意一项所述的涂布系统，其特征在于，该涂布系统还包括第二导轨，所述喷嘴通过所述导轨在所述装载台上移动。
13.根据权利要求12所述的涂布系统，其特征在于，该涂布系统包括两条平行设置的所述第二导轨，所述喷嘴在长度方向上的两端设置有支撑部，所述支撑部下端与所述第二导轨的上端匹配，以使得所述喷嘴能够沿轨道移动。
【文档编号】B05C5/00GK203470265SQ201320356665
【公开日】2014年3月12日 申请日期:2013年6月20日 优先权日:2013年6月20日
【发明者】贾丕健, 李礼 申请人:京东方科技集团股份有限公司, 北京京东方显示技术有限公司