涂布单元、使用该涂布单元的涂布装置及涂布方法
【专利摘要】一种涂布单元，能准确地将液状材料涂布于较大面积的被涂布区域，且涂布作业的效率较好。该涂布单元(2)将多根涂布针(3)的基端(3b)固定于针座构件(19)的针支承面(19a)，并与被涂布区域的形状相对应地排列多根涂布针(3)的前端(3a)。通过调节涂布针的形状、尺寸及排列的间距，能以期望的膜厚、较少的涂布次数准确地将修正墨水(11)涂布成被涂布区域的形状。
【专利说明】涂布单元、使用该涂布单元的涂布装置及涂布方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及涂布单元、使用该涂布单元的涂布方法及涂布装置，特别地，涉及用于液晶画面用滤色器基板的RGB像素修正、电极糊料朝电极图案基板、半导体元件的涂布或外涂层材料的涂布等的涂布单元、使用该涂布单元的涂布装置及涂布方法。
【背景技术】
[0002]近年来，因FPD (平板显示器)的大画面化而使滤色器基板的像素尺寸大形化，需要通过液状材料即修正墨水的涂布进行修正的像素缺陷的面积也有扩大的倾向。
[0003]现在，需要将修正墨水涂布于直径为数百μ m的面积。另外，在朝电极图案、元件零件的涂布用途中，有时也需要将修正墨水涂布于直径为数mm的面积。
[0004]作为现有的涂布装置，存在一种通过改变一根涂布针的形状、大小或改变粘度等修正墨水的性质，从而与缺陷部分相适应地调节涂布形状或膜厚等的装置(例如参照专利文献I)。
[0005]另外，也已知有一种使涂布针的前端面的形状与需要修正的被涂布区域的形状相一致地设为长方形、正方形等矩形的修正方法(例如参照专利文献2)。
[0006]现有技术文献
[0007]专利文献
[0008]专利文献1:日本专利特开2007-94341号公报
[0009]专利文献2:日本专利特开2002-258025号公报
[0010]然而，在如专利文献I那样使用一根涂布针涂布修正墨水以进行缺陷的修正的装置中，限制了一次所能涂布的修正墨水的分量。因此，在根据缺陷使被涂布区域形成为较大面积的情况、或膜厚需处于一定尺寸以上的情况下，必须使涂布针往复移动来反复地涂布修正墨水。当上述涂布次数增加时，为修正一处部位的被涂布区域所需的耗时变长，涂布作业的效率变差。
[0011]另外，在被涂布区域的面积变大，并与之相应地设定一根涂布针的前端面的形状的情况下，该前端面的形状因修正墨水的特性或被涂布区域的形状而不同，但存在修正墨水被涂布成比作为目标的厚度厚的倾向，有时无法涂布成目标的厚度。另外，在被涂布区域为方形的情况下，即便使涂布针的前端面的形状维持圆形地增大，有时也不易使从涂布针的前端涂布的修正墨水流入被涂布区域的角部等，从而无法到达。
[0012]另外，在如专利文献2那样将涂布针的前端面的形状与被涂布区域的形状相一致地设为正方形或长方形的涂布方法中，存在因修正墨水的特性、涂布面积而无法涂布成正方形或长方形，涂布的修正墨水扩展而变为圆形或椭圆形这样的问题。
【发明内容】
[0013]因此，本发明的目的在于提供一种能准确地将液状材料涂布于较大面积的被涂布区域、且涂布作业的效率较佳的涂布单元，使用该涂布单元的涂布装置及涂布方法。[0014]本发明的涂布单元将液状材料涂布于规定形状的被涂布区域，包括:多根涂布针，这多根涂布针将附着于它们前端部的液状材料涂布于被涂布区域；以及针座构件，该针座构件对多个涂布针进行保持。多个涂布针的前端被排列成与被涂布区域相对应的形状，多个涂布针的基端固定于针座构件。
[0015]根据本发明的涂布单元，多根涂布针的基端固定于针座构件，多根涂布针的前端被排列成与被涂布区域相对应的形状。因此，能增大可同时对被涂布区域进行涂布的液状材料的分量，即便被涂布区域是比较大的面积，也能以一次或较少的次数进行均质的涂布以缩短耗时，从而能提高涂布作业的效率。
[0016]另外，将多根涂布针排列成与被涂布区域相对应的形状，因此，无需将涂布针单体的前端的尺寸设定得较大或改变形状。此外，也无需改变液状材料的粘性等特性，即便对于目前难以涂布的被涂布区域的角部等，也能直接从涂布针涂布液状材料，能容易地对膜厚进行控制。因此，能准确地将液状材料涂布于较大面积的被涂布区域。
【专利附图】
【附图说明】
[0017]图1是表示本发明实施方式一的涂布装置的整体结构和涂布单元的主要部分的图。
[0018]图2是表示图1所示的涂布单元的结构的图。
[0019]图3是用于说明涂布单元在被涂布区域倾斜的情况下的动作的图。
[0020]图4是表示使用图2所示的涂布单元将修正墨水涂布于工件表面的工序的图。
[0021]图5是表示实施方式一的比较例一的图。
[0022]图6是表示实施方式一的比较例二的图。
[0023]图7是表示实施方式一的比较例三的图。
[0024]图8是表示实施方式一的比较例四的图。
[0025]图9是表示本发明实施方式二的涂布单元的主要部分的侧视图。
[0026]图10是从下方观察图9所示的涂布单元的图。
[0027]图11是表示本发明实施方式三的涂布单元的主要部分的侧视图。
[0028]图12是从下方观察图11所示的涂布单元的图。
[0029]图13是表示本发明实施方式四的涂布单元的主要部分的图。
[0030]图14是表示本发明实施方式五的涂布单元的主要部分的图。
[0031]图15是表示本发明实施方式六的涂布单元的主要部分的图。
[0032]图16是表示本发明实施方式七的涂布单元的主要部分的图。
[0033]图17是表示实施方式八的比较例的图。
[0034]图18是表示使用图17所示的涂布单元而被涂布的修正墨水的形状的俯视图。
[0035]图19是表示本发明实施方式八的涂布单元的主要部分的图。
[0036]图20是表示使用图19所示的涂布单元而被涂布的修正墨水的形状的俯视图。
[0037]图21是表示本发明实施方式九的涂布方法中使用的两个涂布单元的主要部分的图。
[0038]图22是表示使用图21所示的两个涂布单元的涂布方法的图。
[0039]图23是表示本发明实施方式十的涂布方法中使用的涂布单元的主要部分的图。[0040]图24是表示使用图23所示的涂布单元的涂布方法的图。
[0041]图25是用于说明本发明实施方式十一的涂布单元的目的的图。
[0042]图26是用于说明本发明实施方式十一的涂布单元的目的的另一图。
[0043]图27是用于说明本发明实施方式十一的涂布单元的目的的又一图。
[0044]图28是表示本发明实施方式十一的涂布单元的主要部分的图。
[0045]图29是表示图28所示的涂布单元的动作的图。
[0046]图30是表示本发明实施方式十二的涂布单元的主要部分的结构及动作的图。
[0047]图31是表示本发明实施方式十三的涂布单元的主要部分的图。
[0048](符号说明)
[0049]I 涂布装置
[0050]2、2A、2B 涂布单元
[0051]3、13、23、33 涂布针
[0052]3a 前端
[0053]3b 基端
[0054]4 墨水供给机构
[0055]5 底座移动机构
[0056]10 线性台
[0057]11 修正墨水
[0058]12 墨盒
[0059]14 刮板
[0060]15 导轨部
[0061]16 滑动构件
[0062]17U7A 可动底座构件
[0063]18 弹性支承部
[0064]19 针座构件
[0065]19a 针支承面
[0066]20 切割用激光部
[0067]30 主计算机
[0068]31 操作面板
[0069]40 XY 工作台
[0070]43 辅助针
[0071]50 CCD 摄像头
[0072]60 Z工作台
[0073]70 观察光学系统
[0074]80、90 涂布针连接体
[0075]81,91 连接部
[0076]82、92、93 凹部
[0077]100 镀层
[0078]111、IllA XY 导向部[0079]112、112A、114、114A 导轨部
[0080]113、115 滑动部
[0081]120 致动器
[0082]121 臂
【具体实施方式】
[0083]以下，参照附图对本发明的实施方式进行说明。在以下的说明中，对于相同的零件标注相同的符号。它们的名称及功能也是相同的。因此，不重复对它们的详细说明。
[0084](实施方式一)
[0085]如图1所示，本发明实施方式一的涂布装置I包括:涂布单元2，该涂布单元2使用多个涂布针3而将修正墨水11涂布于缺陷；观察光学系统70，该观察光学系统70对滤色器基板(以下称为工件W)的表面进行观察；切割用激光部20，该切割用激光部20通过观察光学系统70对工件W的表面的缺陷进行激光切割；主计算机30，该主计算机30对装置整体进行控制；XY工作台40，在该XY工作台40上装载具有缺陷的工件W ;以及Z工作台60，该Z工作台60与涂布单元2 —起在上下方向上对观察光学系统70、CXD摄像头50进行驱动。
[0086]XY工作台40使工件W的表面上需要进行涂布修正的位置移动至涂布单元2的下方，或使工件W的表面上欲观察的位置移动至观察光学系统70的下方。该XY工作台40采用使工件W这个构件移动的方式。然而，伴随着工件W的尺寸大形化而较多的采用以下方式:将工件W保持于作为非可动部的固定着的卡盘部上，并使被称为龙门型的XY工作台在固定的卡盘部上移动。龙门型采用门型形状的Y工作台被设成横跨卡盘部的形状，在门型上部装载X轴，并在该X轴工作台上装载沿着Z轴驱动的Z工作台的结构。XY工作台40和Z工作台60的结构并未被限定，XY工作台40和Z工作台60也被定义为能使观察光学系统70、涂布单元2相对于工件W进行相对移动的构件。
[0087]这些涂布单元2、XY工作台40及Z工作台60等的动作被作为控制部的主计算机30控制。
[0088]该主计算机30与作为输入驱动指令的输入部的操作面板31等连接，从而能进行期望工序的驱动动作。
[0089]图2是表示涂布单元2的结构的图。在图2中，涂布单元2使作为液体状材料的修正墨水11附着于多个涂布针3的前端3a，并将该修正墨水11涂布于作为被涂布物的滤色器基板(以下记为工件W)的被涂布区域。安装于本实施方式一的涂布装置I的涂布单元2将工件W的白色缺陷等缺陷部分作为被涂布区域，并通过将修正墨水11涂布于该被涂布区域来对缺陷部分进行修正。
[0090]涂布单元2包括:墨水供给机构4 ;设有多个涂布针3的针座构件19 ；以及使针座构件19在靠近、远离工件W的方向(Z方向)上移动的底座移动机构5。
[0091]墨水供给机构4具有:线性台10:以及载置于线性台10的上表面并收容修正墨水11的墨盒12。
[0092]线性台11能相对于针座构件19相对地在左右方向(以下记为X方向)及前后方向(以下记为Y方向)中的至少任一方的水平方向(以下记为XY方向)上移动。除了墨盒12之外，在线性台10上也可装载洗净装置、空气净化装置等，作为伴随着上述构件的更换的移动机构，也可装载以转轴为中心而被驱动旋转的旋转台。
[0093]墨盒12形成为对修正墨水11进行贮存、保持的平盘状，包括朝上表面侧打开的开口部。该开口部形成与针座构件19的面积相对应的大小，能使固定于针座构件19的多个涂布针3同时出入。此外，还能同时使墨盒12内的修正墨水11附着于多个涂布针3的前端3a ο
[0094]底座移动机构5使滑动构件16沿着导轨部15滑动，该导轨部15沿着Z方向延伸。在滑动构件16的侧面固定着可动底座构件17。
[0095]在可动底座构件17的下表面固定着由能弹性变形的橡胶构件等构成的弹性支承部18的上表面。此外，在该弹性支承部18的与上表面相反一侧的下表面固定着针座构件19的上表面。在该针座构件19的针支承面19a —侧以一定的间隔排列着多个涂布针3。
[0096]因此，多个涂布针3以使各个前端3a从通过弹性支承部18悬挂着的针座构件19的针支承面19a朝向下方的状态突出设置。此外，多个涂布针3伴随着供可动底座构件17固接的滑动构件16在Z方向上的滑动驱动而在Z方向上移动，从而能靠近、远离墨盒12或被涂布物。
[0097]线性台10构成为能在可供给修正墨水11和退避位置之间沿XY方向直线状地移动。此外，通过线性台10在XY方向上的直线状的移动，使墨盒12的开口部移动至多个涂布针3的下方位置。然后，多个涂布针3被底座移动机构5驱动，并与针座构件19 一起下降，以朝各个前端3a附着、供给修正墨水11。
[0098]如图1所示，从形成于针座构件19的下表面侧的针支承面19a以与对象工件(被涂布物)W相对的方式朝下方突出设置有多根涂布针3。各涂布针3的基端3b固定于针支承面19a。以多根涂布针3的前端3a位于从针支承面19a远离规定尺寸的位置的同一平面上的方式突出设置各涂布针3。因此，排列在针支承面19a上的多根涂布针3的前端3a以工件W的表面为基准而排列在相同的高度。
[0099]针座构件19通过由弹性构件构成的弹性支承部18支持于可动底座构件17，该可动底座构件17固接于滑动构件16。此外，当该滑动构件16因底座移动机构5的驱动而在上下方向上滑动移动时，排列在针支承面19a上的多个涂布针3的前端3a能一边保持到工件W为止的距离为等距离，一边靠近、远离工件W。当利用底座移动机构5使多个涂布针3朝工件W下降时，附着于多个涂布针3的前端的修正墨水11进行涂布，以涂布出与作为对象的工件W的被涂布部形状相同的形状即大致矩形形状。
[0100]图3是表示涂布单元2在被涂布区域WV倾斜的情况下的动作的图。设于针座构件19下表面侧的多根涂布针3的前端3a中的一部分前端3a比其它前端3a先与被涂布区域WV的表面抵接时，来自先与前端3a抵接的涂布针3的按压力经由针座构件19而传递至弹性支承部18。传递来的按压力对先抵接的涂布针3的正上方的弹性支承部18的周缘进行按压以使其弹性变形。由此，针座构件19相对于可动底座构件17沿着被涂布区域WV倾斜，并与被涂布区域WV的表面平行。因此，包括先抵接的涂布针3的前端3a和其它涂布针3的前端3a在内的所有涂布针3的前端3a与被涂布区域WV的表面均等地抵接。
[0101]因此，即便被涂布区域WV的表面倾斜了，所有涂布针3的前端3a也都均等、且因弹性支承部18的弹性而以具有期望的缓冲性的方式弹性接触。[0102]另外，作为弹性支承部18，只要是橡胶制、板簧制等以多个涂布针3的前端3a能与被涂布区域的表面均等地抵接的方式发生弹性变形的构件即可，构成弹性支承部18的构件的形状、数量及材质并未被特別限定。
[0103]图4(al)?图4 (d2)是表示涂布装置I的涂布动作的图。如图4 (al)、图4 (a2)所示，在针座构件19的针支承面19a上排列地安装有多根涂布针3。首先，多根涂布针3的前端3a固定于与墨盒12的修正墨水11的液面相对的位置。
[0104]接着，驱动底座移动机构5使针座构件19及多根涂布针3下降，如图4(al)所示，将多根涂布针3的前端3a浸在墨盒12内的修正墨水11中。此时，各涂布针3的前端3a以规定的深度浸在修正墨水11中。
[0105]接着，驱动底座移动机构5使针座构件19及多根涂布针3上升，以将各涂布针3的前端3a移动至墨盒12的上方。如图4(bl)所示，在从墨盒12内提升的各涂布针3的前端3a的周围附着有期望量的修正墨水11。各涂布针3的前端3a的修正墨水11保持与其它涂布针3的前端3a的修正墨水11独立的状态。
[0106]如图4(b2)所示，在从墨盒12内提升的各涂布针3的前端3a上附着有大致球形的修正墨水11。
[0107]接着，如图4 (Cl)所示，使用由主计算机30控制的XY工作台40，使工件W的被涂布区域相对移动至针座构件19的针支承面19a的下方。然后，当驱动底座移动机构5使固定于针座构件19的涂布针3下降时，各涂布针3的前端3a与工件W的表面抵接，以将修正墨水11涂布于被涂布区域。
[0108]此时，如图3所示，插入针座构件19与可动底座构件17之间的弹性支承部18通过弹性变形来吸收施加于涂布针3的前端的力。由此，能降低因偏负载而使涂布针3的前端变形等的可能性。
[0109]即，在实施方式一的涂布单元2中，如图3所示，即便在工件W倾斜的情况下，也能因弹性支承部18的弹性变形使针座构件19追随着工件W的倾斜而倾斜。因此，涂布针3的前端3a分别与工件W的被涂布区域的表面大致均等地抵接。另外，在图3中，用双点划线示出了处于正常的水平状态下的工件W，用实线示出了相对于水平面倾斜的工件W。
[0110]由此，多根涂布针3的前端3a的按压力变得均等，从而不会对一部分涂布针3的前端3a施加不均的负载。因此，能从多根涂布针3的前端3a朝工件W的表面的被涂布区域均质地涂布修正墨水11。
[0111]在刚涂布之后，当驱动底座移动机构5使涂布针3上升时，如图4(c2)所示，修正墨水11呈点状地残留于工件W的表面。
[0112]如图4 (dl)、图4 (d2)所示，当从涂布起经过规定时间时，涂布于工件W的表面的修正墨水11流动，相邻的修正墨水11彼此合体、混合而成为一体，并成为具有均匀厚度的膜状的墨水层。最后，使该墨水层干燥、固化，并结束缺陷部分的修正。
[0113][比较例一]
[0114]图5是表不实施方式一的比较例一的俯视图。
[0115]在该比较例一中，如图5所示，使用一根涂布针3对工件W的表面的被涂布区域Wl整体进行涂布。在利用涂布针3涂布修正墨水11的涂布直径比被涂布区域Wl小的情况下，必须反复进行多次涂布动作。[0116]因此，存在为进行涂布修正所需的耗时增大这样的问题。
[0117][比较例二]
[0118]图6是表不实施方式一的比较例二的俯视图。
[0119]在该比较例二中，如图6所示，为了使涂布一次修正墨水11的面积比工件W的表面的被涂布区域Wl大，将涂布针3的前端面积设定得较大。
[0120]这样，当使涂布直径变得较大时，涂布膜厚具有增厚的倾向，有时不能涂布成目标厚度。因此，难以就这样使用目前使用的修正用墨水，必须要改变墨水的特性。
[0121]另外，如图6所示，在工件W的表面的被涂布区域Wl为矩形的情况下，修正墨水11难以流入角部WC1、涂布有修正墨水11的部分之间的间隙部分。
[0122]为了使墨水流入角部WC1、涂布的部分的间隙，利用了墨水的流动性、毛细管现象产生的流入，但当将涂布针的前端面积设定得较大时，角部WC1、间隙部分WC2的面积变大，难以使墨水到达全部区域。
[0123][比较例三]
[0124]图7是表示实施方式一的比较例三的图，其是表示四棱柱状的涂布针13形成为正方形形状的前端和附着于该前端的墨水的端面图。
[0125]在该比较例三中，示出了与被涂布区域的角部等的形状相一致地，将涂布针13的前端部的形状形成为正方形或长方形等的情况。
[0126]这种涂布针13以能通过一次涂布就能将修正墨水11涂布于工件W的表面的被涂布区域Wl的方式，使前端的形状与工件W的表面的被涂布区域Wl—致。然而，存在因修正墨水11的粘性等特性而使附着于涂布针13的前端的修正墨水11的外形形状呈圆形或椭圆形等，而与角部等不相适合这样的问题。
[0127]S卩，当以易流入被涂布区域Wl的角部的方式改变修正墨水11的特性来提高流动性时，即便将涂布针13的前端形状设为矩形形状，修正墨水11所涂布的形状也不呈期望的长方形或正方形，而是呈圆形、椭圆形形状，因而此时产生不易确定涂布形状这样的问题。
[0128][比较例四]
[0129]图8是表示实施方式一的比较例四的图，其是表示四棱柱状的涂布针23的圆形状的前端和附着于该前端的修正墨水11的端面图。
[0130]在该比较例四中，修正墨水11的附着形状呈与图8所示的涂布针23的外形形状大致相同的圆形，修正墨水11在该圆形的状态下、另外还因被涂布区域的表面的保液性而以与该圆形相似的形状一边朝外侧扩展一边涂布。当将上述比较例三的涂布针13与比较例四的涂布针23进行比较时，即便前端面的形状被从圆形改变为方形等，附着于前端的修正墨水11的外形形状也呈圆形，因而与被涂布区域的角部等不相适合。
[0131 ] 接着，对本实施方式一的涂布单元、使用该涂布单元的涂布装置及涂布方法的效果进行说明。如图2所示，根据该涂布装置I的涂布单元2，多根涂布针3的基端3b分别固定于针座构件19的针支承面19a，并与被涂布区域WV的形状相对应地将多根涂布针3的前端3a排列成规定的形状。
[0132]因此，通过调节多根涂布针3的形状、尺寸及排列的间距，能容易地对应于工件W表面的被涂布区域的形状。例如，在对于需要修正的缺陷形成薄膜层的情况下，通过使用与缺陷的大小及形状相一致地排列的多根涂布针3，能一次将期望分量的修正墨水11涂布于缺陷，并能以较少的涂布次数准确地形成期望膜厚的薄膜。
[0133]另外，使修正墨水11附着于多根涂布针3的前端3a。因此，与如现有技术那样使用一根涂布针来涂布修正墨水11的情况相比，能增大一次涂布可以附着并涂布的修正墨水11的分量。
[0134]由此，即便是比较大的面积的修正部位，也能以一次或较少的次数涂布成期望的膜厚，从而能缩短耗时。另外，在隔开等间隔地沿XY方向排列多根、例如3X8 = 24根涂布针3，将24根涂布针3的前端3a的外形形状设为长方形的情况下，无需如现有技术那样将一根涂布针的前端的面积与涂布区域相一致地设定得较大，即便使涂布针13位于不易涂布的角部等，也能直接接触以进行涂布。因此，无需以易流入的方式改变修正墨水11的粘度等特性，能利用目前所使用的修正墨水11进行涂布作业，并能提高修正工序的效率。
[0135](实施方式二)
[0136]图9是从正面观察本发明实施方式二的涂布单元的主要部分的图，图10是从下方观察涂布单元的图。另外，对于其它结构及作用效果，标注与实施方式一相同的符号而不重复说明。在该涂布单元中，使用圆柱形状的涂布针23，例如3X8 = 24根涂布针23隔开等间隔地沿XY方向排列于针座构件19的下表面的针支承面19a。24根涂布针23具有相同的长度方向尺寸，并从前端到基端形成为相同的粗细(径向尺寸)。涂布针23的粗细、涂布针23的间隔根据修正墨水的粘度、特性、涂布时所需的膜厚而被恰当地设定。
[0137](实施方式三)
[0138]图11是从正面观察本发明实施方式三的涂布单元的主要部分的图，图12是从下方观察涂布单元的图。另外，对于其它结构及作用效果，标注与实施方式一、二相同的符号而不重复说明。该涂布单元的涂布针33形成得比实施方式二所示的圆柱形状的涂布针23粗，其前端部形成为锥状(随着从基端侧朝向前端而变细的形状)。
[0139]在该涂布单元上，例如3X8 = 24根涂布针33沿XY方向排列于针座构件19的针支承面19a。在涂布针33的前端33a形成有圆形的平坦面。24根涂布针33具有相同的长度方向尺寸，并从前端的锥形状的结束部分到基端形成为相同的粗细(径向尺寸)。另外，24根涂布针33的锥部以相同的倾斜角度形成相同的长度。另外，24根涂布针33的前端33a的平坦面形成为相同的面积。
[0140]涂布针33的粗细、相邻配置的涂布针33与涂布针33的间隔或形状、数量及材质根据修正墨水的粘度、特性、涂布时所需的膜厚来设定。
[0141]另外，涂布针33的前端33a的平坦面的形状并不限于圆形，也可以是包括正方形、长方形、平行四边形、梯形的方形形状、三角形或五边形以上的其它多边形形状等。
[0142](实施方式四)
[0143]图13(a)是从正面观察本发明实施方式四的涂布单元的主要部分的图，图13 (b)是从下方观察涂布单元的图。在图13 (a)、图13(b)中，在该涂布单元的针座构件19的下表面设有三个涂布针连接体80。各涂布针连接体80包括等间隔地排列于针座构件19的下表面的多个涂布针23。在各涂布针连接体80中，各相邻配置的两根涂布针23之间被连接部81连接。
[0144]在各连接部81的两侧面分别形成有凹部82、82，如图13(b)所示，将与被涂布区域相对的端面的形状设为以规则地收缩变窄的方式形成的线状。[0145]在该实施方式四中，与涂布针23 —根根独立固定的实施方式二相比，相邻配置的两根涂布针23之间由连接部81连接而被相互加强。另外，若将连接部81的各个基端部与涂布针23的基部一起固定于针座构件19的下表面，则被进一步加强。因此，能增大涂布单兀的强度，并提闻耐久性。
[0146]此外，在连接部81的两侧面形成有凹部82、82。因此，能通过利用凹部82、82调节修正墨水11的量来对膜厚进行控制。另外，对于其它结构及作用效果，标注与实施方式二的涂布针23相同的符号而不重复说明。
[0147](实施方式五)
[0148]图14(a)是从正面观察本发明实施方式四的涂布单元的主要部分的图，图14(b)是从下方观察涂布单元的图。在图14(a)、图14(b)中，在该涂布单元的针座构件19的下表面设有三个涂布针连接体90。各涂布针连接体90包括等间隔地排列于针座构件19的下表面的多个涂布针13。各涂布针13形成为四棱柱状。在各涂布针连接体90中,各相邻配直的两根涂布针13之间被连接部91连接。
[0149]在各连接部91的两侧面分别形成有凹部92、92。另外，在各连接部91的与被涂布区域相对的下表面侧的端面形成有凹部93。
[0150]在该实施方式五中，利用连接部91连接各相邻的两根涂布针13来提高强度，并提高了耐久性。
[0151]此外，能利用形成于连接部91的两侧面的凹部92和形成于下表面侧的凹部93调节修正墨水11的量，并对膜厚进行控制。另外，对于其它结构及作用效果，由于与实施方式一的涂布针13及实施方式四的涂布针连接体80相同，因此，标注相同的符号而不重复说明。
[0152](实施方式六)
[0153]图15 (a)、图15(b)是表示本发明实施方式六的涂布单元中包括的墨水供给机构4的结构及动作的图。
[0154]在图15(a)、图15(b)中，将修正墨水11供给至多个涂布针3等的墨水供给机构4作为对修正墨水11朝涂布针3供给的供给量进行调节的调节部，包括:将底面部12a设为平面状并敞开上表面的墨盒12 ;以及使收容于墨盒12内的修正墨水11的表面Ilf变为平坦，并对从底面部12a到表面Ilf为止的膜厚的尺寸进行调节以变得均匀的刮板14。
[0155]如图15 (a)、图15(b)所示，使用刮板14，将修正墨水11的表面Ilf变得平坦，并使从墨盒12的底面部12a到修正墨水11的表面Ilf为止的膜厚变为均等的尺寸。
[0156]因此，当将多根涂布针3从上方插入墨盒12内并附着修正墨水11时，通过使多根涂布针3的前端3a与底面部12a抵接，能使浸入修正墨水11的长度尺寸变得均等。藉此，通过一次附着作业，就能使相同量的修正墨水11附着于多根涂布针3的前端3a。其它结构及作用效果与实施方式一至实施方式五相同，因此，不重复相同的说明。
[0157](实施方式七)
[0158]图16(bl)、图16(b2)是表示本发明实施方式七的涂布单元的主要部分的图。图16 (bl)是涂布单元的侧视图，图16 (b2)是从下方观察涂布单元的图。另外，对于使用与图9所示的实施方式二的涂布针23及针座构件19相同的结构的部分，标注相同的符号并不重复说明。[0159]在图16(al)、图16(a2)所示的实施方式二的涂布单元中，由在针座构件19上固定有基端的多根涂布针23附着的修正墨水11的分量有时比期望的分量少。
[0160]在这种情况下，通过增大涂布针23的前端23a的面积，或利用附着修正墨水11的能力较高、即提高了所谓保液性的材质来构成涂布针23的前端23a，从而能增加修正墨水11附着于涂布针23的前端23a的分量。
[0161]在该实施方式七中，如图16(bl)、图16 (b2)所示，在各涂布针23的前端部23a上形成有规定厚度的镀层100。
[0162]另外，以各涂布针23在基端侧露出的部分的保液性比较低的方式预先由具有斥液性的材质形成涂布针23，或以在涂布针23的外表面发挥出斥液性的方式进行斥液处理。
[0163]另外，提高了涂布针23的前端部23a形成镀层100的部分的保液性(湿润性)。因此，各涂布针23的前端部23a的保液性被设定得比其基端部的保液性高。
[0164]在该实施方式七中，在涂布针23的前端部23a形成有规定厚度的镀层100。能利用该镀层100的厚度增大前端部23a的表面积，从而能增加一次涂布的修正墨水11的分量。
[0165]此外，涂布针23的前端部23a的保液性被设定成比不施加镀层100而露出的基端部的保液性高。因此，能增大附着于前端部23a的修正墨水11的量，并能防止多余的修正墨水11附着于基端部。
[0166]因此，当朝被涂布区域涂布修正墨水11时，能使附着于涂布针23而残留的修正墨水11的量减少，并能有效地将适量的修正墨水11涂布于被涂布区域。
[0167](实施方式八)
[0168]图17(a)是表示作为本发明实施方式八的比较例的涂布单元的主要部分的侧视图，图17(b)是从下表面侧观察涂布单元的图。
[0169]在该比较例中，如图17(a)所示，以多根涂布针13的长度保持为一定的方式将各个的基端13b固定于针支承面19a。藉此，在同一平面内存在多根涂布针13的前端13a。
[0170]在该涂布单元中，如图17(a)所示，以当使修正墨水11附着于多根涂布针13的前端13a时、保持于相邻的两根涂布针13的前端13a的修正墨水11连接的方式，设定修正墨水11的粘性，并将各涂布针13间的尺寸设定为规定的大小。
[0171]如图17(b)所示，在修正墨水11附着于多根涂布针13的前端13a的状态下，修正墨水11集中在中央，位于外周缘的涂布针13的前端13a露出一半。
[0172]另外，图18是表示使用比较例的涂布单元而涂布于具有被涂布区域WV的由玻璃基板构成的工件W的修正墨水11的形状的俯视图。
[0173]附着于图17(a)、图17(b)所示的多根涂布针13的前端13a的修正墨水11汇集在一起而涂布于工件W的被涂布区域WV。
[0174]在该比较例中，保持于多根涂布针13的前端13a的修正墨水11连接、成为一块而被涂布。因此，能增大一次涂布的修正墨水11的总量。
[0175]然而，在该比较例中，位于外周缘的多根涂布针13被排列成与期望的被涂布区域WV的外周缘大致一致。在这种情况下，如图17(a)、图17(b)所示，附着于多根涂布针13的前端13a的修正墨水11集中在中央，位于外周缘的修正墨水11露出一半。当在该状态下进行涂布时，如图18中的实线所示，修正墨水11涂布在比期望的被涂布区域WV的面积小一圈的涂布面积上。
[0176]图19(al)?图19(b2)是表示本发明实施方式八的涂布单元的主要部分的图，特别地，图19(al)、图19 (a2)是该涂布单元的侧视图，图19(bl)、图19 (b2)是从下方观察该涂布单元的图。
[0177]在该涂布单元中，如图19(al)、图19(bl)所示，包括多根辅助针43，这多根辅助针43在比位于外侧的多根涂布针13更靠外侧的位置，以隔开规定间隔并围住多根涂布针13的外侧的方式整周排列，这多根辅助针43的基端43b固定于针座构件19的针支承面19a。多根辅助针43各自的长度被设定成比多根涂布针13各自的长度短。
[0178]如图19(a2)、图19(b2)所示，在修正墨水11附着于全部涂布针13的前端13及全部辅助针43的前端43a的状态下，修正墨水11集中在中央，各涂布针13的前端13a被修正墨水11完全覆盖，各辅助针43的前端43a露出一半。另外，辅助针43比涂布针13短，因此，即便在涂布针13的前端13a与被涂布区域WV的表面抵接的状态下，辅助针43的前端43a也不与被涂布区域WV的表面直接抵接。
[0179]在该状态下，如图20所示，当将修正墨水11涂布于具有被涂布区域WV的由玻璃基板构成的工件W时，实线所示的修正墨水11的形状与期望的被涂布区域WV的形状大致—致。
[0180]在该实施方式八中，与被涂布区域WV —致地排列多根涂布针13，并绕着多根涂布针13排列多根辅助针43，因此，能用修正墨水11覆盖全部涂布针13的前端13，并能将修正墨水11准确地涂布于被涂布区域WV。
[0181](实施方式九)
[0182]图21 (al)?图21 (b2)是表示本发明实施方式九的涂布方法的图。在该涂布方法中，使用两个涂布单元2A、2B。图21(al)是表示涂布单元2A的主要部分的侧视图，图21 (bl)是从下方观察该涂布单元2A的图。另外，图21(a2)是表示涂布单元2B的主要部分的侧视图，图21 (b2)是从下方观察该涂布单元2B的图。
[0183]两个涂布单元2A、2B均在针座构件19的下表面隔开规定的间隔将多根涂布针13排列成锯齿状。然而，涂布单元2A、2B的涂布针13的排列图案彼此错开二分之一的周期。
[0184]图22 (Cl)?图22 (c3)是表示使用涂布单元2A、2B的涂布方法的图。当按照涂布工序的顺序进行说明时，首先，使修正墨水11附着于一方涂布单元2A的多根涂布针13的前端部，并将该修正墨水11涂布于工件W的表面的被涂布区域。藉此，如图22 (Cl)所示，修正墨水11的液滴Ila以与涂布针13的排列图案相同的图案呈点状或斑状地涂布于工件W的被涂布区域。
[0185]接着，使修正墨水11附着于另一方涂布单元2B的多根涂布针13的前端部，并将该修正墨水11涂布于工件W的表面的被涂布区域。藉此，如图22 (C2)所示，在除了由一方涂布单元2A涂布于被涂布区域内的部分之外的未涂布部分，以与涂布针13的排列图案相同的图案呈点状或斑状地涂布有修正墨水11的液滴lib。
[0186]然后，在图22(c3)所示的最终的涂布状态下，涂布的修正墨水11沿着工件W的表面扩展，各相邻的两个液滴IlaUlb变为一体，从而形成薄膜状的修正墨水11c。
[0187]在该实施方式九中，在使用一方涂布单元2A将修正墨水11的液滴Ila呈点状或斑状地涂布于被涂布区域之后，使用另一方涂布单元2B，将修正墨水11的液滴Ilb呈点状或斑状地涂布于被涂布区域中的未涂布有液滴Ila的部分。因此，能准确地将修正墨水11涂布于被涂布区域WV。
[0188](实施方式十)
[0189]图23(al)~图23 (b2)是表示本发明实施方式十的涂布方法的图。在该涂布方法中，在使用涂布单元2A进行涂布之后，使涂布单元2A仅偏移涂布针13的排列图案的二分之一周期以再次进行涂布。图23 (al)是表示涂布单元2A的主要部分的侧视图，图23 (bl)是从下方观察该涂布单元2A的图。另外，图23(a2)是表示偏移二分之一周期后的涂布单元2A的主要部分的侧视图，图23 (b2)是从下方观察该涂布单元2A的图。
[0190]在该涂布单元2A中，如图23 (al)、图23 (bl)所示，多根涂布针13隔着规定的间隔呈锯齿状地排列于针座构件19的针支承面19a(下表面)。
[0191]在该涂布方法中，使涂布单元2A的相对于被涂布区域的相对位置从图23(a2)、图
23(b2)的双点划线所示的位置移动至实线所示的位置，并在该双点划线所示的位置和实线所示的位置这两个位置处将修正墨水11涂布于被涂布区域。
[0192]图24(cl)~图24(c3)是表示使用涂布单元2A的涂布方法的图。当按照涂布工序的顺序进行说明时，首先，使修正墨水11附着于涂布单元2A的多根涂布针13的前端部，并将该修正墨水11涂布于 工件W的表面的被涂布区域。藉此，如图24(cl)所示，修正墨水11的液滴Ila以与涂布针13的排列图案相同的图案呈点状或斑状地涂布于工件W的被涂布区域。
[0193]接着，使修正墨水11附着于涂布单元2A的多根涂布针13的前端部，并使涂布单元2A移动二分之一周期，以将修正墨水11涂布于工件W的表面的被涂布区域。藉此，如图
24(c2)所示，在最初由涂布单元2A涂布于被涂布区域内的部分之外的未涂布部分，呈点状或斑状地涂布有修正墨水11的液滴lib。
[0194]然后，在图24(c3)所示的最终的涂布状态下，涂布的修正墨水11的液滴IlaUlb沿着工件W的表面扩展，各相邻的两个液滴I la、I Ib变为一体，从而形成薄膜状的修正墨水lid。
[0195]在该实施方式十中，与实施方式九那样需要两个涂布单元2A、2B的情况相比，不用增加涂布单元2A的数量及种类，用一个涂布单元2A就能将膜厚较薄的层状的修正墨水Ild准确地涂布于工件W的被涂布区域WV。
[0196](实施方式十一)
[0197]在实施方式一的涂布单元2中，在多根涂布针3的前端3a所沿着的平面与被涂布区域WV不平行的情况下，利用弹性支承部18的弹性变形来吸收倾斜，以使多根涂布针3的前端3a与被涂布区域WV的表面均等地抵接。
[0198]然而，严格地说，为了吸收倾斜，需使涂布针3的前端3a以相对于被涂布区域WV滑动的方式移动，或使涂布针3的基端3b在水平方向上移动。
[0199]例如，如图25所示，假设弹性支承部18的变形仅吸收倾斜，并假设在弹性支承部18的上部中心存在支点P。另外，在图25中，为了简化附图和说明，省略了针座构件19的图示，并用一个四边形表示多个涂布针3。在该情况下，当使弹性支承部18及涂布针3朝向倾斜的工件W垂直下降时，根据工件W的倾斜使弹性支承部18及涂布针3的倾斜变动。此时，如图25所示，涂布针3的前端3a与工件W的表面接触的接触位置从涂布前到涂布时移动某一距离dl。另外，若涂布针3的前端3a不移动，则无法吸收工件W的倾斜。
[0200]然而，当涂布针3的前端3a的接触位置移动时，涂布位置的精度降低，产生涂布形状变为椭圆等不良影响。为了改善涂布精度的降低、涂布形状的变动，如图26所示，需使弹性支承部18以最初接触的涂布针3的前端3a为支点移动某一距离。
[0201]也可考虑通过由能吸收工件W的倾斜、涂布针3的基端3b的移动的材料、例如橡胶、压缩弹簧等那样柔软且较长的材料构成弹性支承部18，来吸收工件W的倾斜、涂布针3的基端3b的移动。
[0202]然而，如图27 (a)、图27 (b)所示，从工件W对涂布针3的前端3a施加的反作用力Fl被分为能用于吸收倾斜的力F2和能用于吸收位置移动的力F3，与F2相比，F3极小。因此，需使用能以较小的力对位置移动进行吸收的弹性支承部18，但存在以下缺点:这种弹性支承部18容易受到涂布动作时的振动影响，另外，弹性力较弱难以返回至原来的位置。
[0203]另外，也可考虑通过使用难以受到振动影响程度的硬度的弹性支承部18来增强按压力，从而增强吸收位置移动的力，但若在涂布针3的前端3a倾斜的状态大力按压时，工件W可能会破损。
[0204]因此，在本实施方式十一中，提供了一种能以较轻的按压力稳定且高精度地涂布修正墨水11的涂布单元。 [0205]图28是表示本发明实施方式十一的涂布单元的主要部分的图，其是与图2进行对比的图。参照图28，该涂布单元与图2的涂布单元的不同点在于，在可动底座构件17与弹性支承部18之间追加了 XY导向部111这点。
[0206]XY导向部111包括导轨部112、114和滑动部113、115。导轨部112朝向Y方形(前后方向)固定于可动底座构件17的下表面。滑动部113安装于导轨部112，并被设成能沿着导轨部112的下表面在Y方向上滑动。导轨部114朝向X方形(左右方向)固定于滑动部113的下表面。滑动部115安装于导轨部114，并被设成能沿着导轨部114的下表面在X方向上滑动。
[0207]图29 (a)、图29 (b)是表示该涂布单元的动作的图。在图29 (a)、图29 (b)中，工件W相对于水平面稍许倾斜。在图中，示出了工件W的右侧比左侧稍高的情况。在该情况下，当利用底座移动机构5使可动底座构件17下降时，如图29(a)所示，首先，右端的涂布针3的前端3a与工件W的表面接触。当进一步下降时，滑动部115以右端的涂布针3的前端3a为支点P朝图中的左方向(箭头的方向)移动，并且弹性支承部18变形，全部涂布针3的前端3a与工件W的表面接触。
[0208]另外，在图29 (a)、图29 (b)中，对工件W仅朝X方向倾斜的情况进行了说明，但在工件W仅朝Y方向倾斜的情况下，滑动部113移动，在工件W朝X方向及Y方向倾斜的情况下，滑动部113、115这两个滑动部都移动。
[0209]在该实施方式十一中，设有将弹性支承部18支承成能在XY方向上移动的XY导向部111，因此，能防止因涂布针3的前端3a与被涂布区域WV接触地移动而导致的涂布位置精度降低。另外，针座构件19能容易地倾斜，能减弱施加于先抵接的涂布针3的前端3a的按压力。
[0210](实施方式十二)
[0211]图30(a)~图30(d)是表示本发明实施方式十二的涂布单元的主要部分及其动作的图，其是与图29 (a)、图29 (b)进行对比的图。参照图30 (a)?图30 (d)，该涂布单元与图29(a)、图29(b)的涂布单元的不同点在于，追加了四组致动器120及臂121这点。
[0212]四组致动器120及臂121构成将涂布针30复位至基准位置的复位部。另外，在图30(a)?图30(d)中，为了简化附图及说明，仅示出了排列在X方向(左右方向)上的两组致动器120及臂121，省略了排列在Y方向(前后方向)上的两组致动器120及臂121的图
/Jn ο
[0213]S卩，可动底座构件17、弹性支承部18及针座构件19分别形成为长方体状。在可动底座构件17的图中的左右侧面，分别以能沿X方向伸缩的方式固定有致动器120。在各致动器120的前端部的下端固定有L字型的臂121的一端，臂121的另一端与弹性支承部18的侧面相对。
[0214]当各致动器120收缩时，滑动部113、115各自的位置被复位至原点，当各致动器120伸长时，滑动部113、115分别能在两个臂121间移动。滑动部113、115的原点分别是导轨部112、114的长度方向的中心。当滑动部113、115各自位于原点时，弹性支承部18配置
于基准位置。
[0215]接着，对该涂布单元的动作进行说明。在图30 (a)、图30(b)中，工件W相对于水平面稍许倾斜。在图中，示出了工件W的右侧比左侧稍高的情况。如图30(a)所示，在涂布前，各致动器120伸长而使滑动部112、115可移动。另外，弹性支承部18配置于基准位置。当利用底座移动机构5使可动底座构件17下降时，首先，右端的涂布针3的前端3a与工件W的表面接触。
[0216]当进一步使可动底座构件17下降时，如图30(b)所示，滑动部115以右端的涂布针3的前端3a为支点P朝图中的左方向移动，并且弹性支承部18变形，全部涂布针3的前端3a与工件W的表面接触。
[0217]如图30(c)所示，在涂布后，利用底座移动机构5使可动底座构件17上升。此时，滑动部115从原点(导轨部114的中心)朝左侧偏移，弹性支承部18从基准位置朝左侧偏移。在该状态下进行下次涂布时，涂布位置从目标位置偏移。
[0218]因此，如图30(d)所示，在涂布结束之后，使四个致动器120收缩。藉此，四根臂121的间隔缩小，滑动部113、115各自的位置复位至原点，弹性支承部18返回至基准位置。藉此，可防止在下次涂布中涂布位置从目标位置偏移。
[0219]另外，在图30(a)?图30(d)中，对工件W仅朝X方向倾斜的情况进行了说明，但在工件W仅朝Y方向倾斜的情况下，滑动部113移动，在工件W朝X方向及Y方向移动的情况下，滑动部113、115这两个滑动部都移动。
[0220]在该实施方式十二中，在涂布结束之后，将滑动部113、115各自的位置复位至原点并使弹性支承部18返回至基准位置，因此，能防止涂布位置偏移。
[0221](实施方式十三)
[0222]图31是表示本发明实施方式十三的涂布单元的主要部分的图，其是与图29(a)、图29(b)进行对比的图。参照图31，该涂布单元与图29(a)、图29(b)的涂布单元的不同点在于，可动底座构件17被可动底座构件17A替换、XY导向部111被XY导向部IllA替换这点。
[0223]可动底座构件17A呈将长方体状的可动底座构件17的下端部斜向切削后的形状。即，可动底座构件17A的下端面的一角比其它三个角低。另外，在图31中，为了简化附图，示出了可动底座构件17A的下表面仅在X方向上倾斜、下表面的右端比左端低的状态。
[0224]另外，XY导向部IllA是用导轨部112A、114A替换XY导向部111的导轨部112、114之后获得的导向部。导轨部112A是在导轨部112的两端设有限位件(未图示)的构件。导轨部114A是在导轨部114的两端设有限位件(标注了斜线的部分)的构件。
[0225]因此，在可动底座构件17A配置于工件W的上方的情况下，利用重力使滑动部113的位置复位至导轨部112A的一端部即原点，并利用重力使滑动部115的位置复位至导轨部114A的一端部即原点。当滑动部113、115各自位于原点时，弹性支承部18配置于基准位置。其它结构及动作与实施方式十一的涂布单元相同，因此，不重复其说明。
[0226]在该实施方式十二中，在涂布结束之后，将滑动部113、115各自的位置复位至原点并使弹性支承部18返回至基准位置，因此，能防止涂布位置偏移。
[0227]另外，在滑动部113、115仅因自重而无法返回至原点的情况下，也可设置将滑动部113、115按压至原点的弹簧等。
[0228]最后，再次参照附图，对以上说明的实施方式进行总结。
[0229]如图1及图2所示，在该涂布装置I的涂布单元2中，多根涂布针3的基端3b分别固定于针座构件19的针支承面19a，并与被涂布区域的形状相对应地将多根涂布针3的前端3a排列成期望的形状。
[0230]因此，通过调节涂布针3的形状、尺寸及排列的间距，能容易地对应于被涂布区域的形状。例如，能用期望的膜厚且以较少的涂布次数将薄膜层涂布于需要修正的缺陷部位。
[0231]另外，使修正墨水11附着于多根涂布针3等，因此，与现有技术那样使用一根涂布针涂布修正墨水11的情况相比，能增大通过一次涂布可涂布的修正墨水11的分量。
[0232]由此，即便是比较大的面积的修正部位，也能以一次或较少的次数将涂布成期望的膜厚，并能缩短耗时。另外，无需以与被涂布区域相一致的方式，将排列的多个涂布针13设定成将各涂布针13的前端加工得较大等形状。因此，也能由涂布针13直接对目前难以涂布的角部等进行涂布，无需以易流入的方式改变修正墨水11的粘度等特性，从而能提高涂布作业的效率。
[0233]另外，如图19所示，还包括多根辅助针43，这多根辅助针43被排列成围住多个涂布针13的外侧，并且这多根辅助针43的基端43b固定于针座构件19。多根辅助针43各自的长度被设定成比多根涂布针13各自的长度短。藉此，不会使涂布针13的前端13a露出，能与期望的被涂布区域WV的形状相一致地维持修正墨水11。
[0234]此外，如图1及图2所示，包括对针座构件19进行支承的弹性支承部18。如图3所示，当多根涂布针3的前端3a与被涂布区域WV抵接时，弹性支承部18通过弹性变形而对存在于针座构件19与被涂布区域的表面之间的倾斜进行吸收。
[0235]因此，即便构成被涂布区域WV的零件倾斜地载置，涂布针3的前端3a也均等地与被涂布区域的表面抵接，从而能进行均等的涂布。
[0236]此外，如图28所示，还包括XY导向部111，该XY导向部111将弹性支承部18支承成能在与多个涂布针3延伸的方向正交的方向上移动。XY导向部111通过使弹性支承部18在与多根涂布针3延伸的方向正交的方向上移动，来使多根涂布针3的前端与被涂布区域抵接。[0237]此外，如图30(a)?图30(d)所示，还包括复位部，该复位部在多根涂布针3的前端3a远离被涂布区域的情况下，使弹性支承部18返回至基准位置。在该情况下，能防止涂布位置偏离目标位置。
[0238]此外，在图13及图14中，构成涂布针连接体80 (或90)的多根涂布针13 (或23)呈行列状地排列于针座构件19，并且各相邻的两根涂布针13、13 (或23、23)之间被连接部81 (或91)连接。在该情况下，能利用连接部81 (或91)加强涂布针13、13(或23、23)，以提高涂布针13、13(或23、23)的强度及耐久性。
[0239]此外，通过在连接部81 (或91)的端面或下表面中的至少任一方形成凹部82 (或92、93)，能调节修正墨水11的涂布量。在实施方式四(或五)中，涂布针连接体80 (或90)以等间隔地形成为三列的线状的方式排列在针座构件19的下表面，但并不特别限定于此，也可以是三角形、正方形、长方形等多边形形状、像素的形状或C字状、L字状。涂布针连接体80 (或90)只要是连接多根涂布针3(或13)的构件即可，数量、形状及材质并未被特别限定。
[0240]此外，如图13(a)所示，该涂布针连接体80以相邻配置的涂布针23之间大致呈长方体状的方式通过连接部81按列连接。
[0241]在各连接部81的两侧面分别形成有凹部82、82，如图13(b)所示，将与被涂布区域相对的端面的形状设为以规则地收缩变窄的方式形成的线状。
[0242]此外，如图16(bl)、图16 (b2)所示，在涂布针23的前端部23a上形成有规定厚度的镀层100。能利用镀层100增大前端部23a的表面积，从而能增加一次可涂布的修正墨水11的量。
[0243]此外，涂布针23的前端部23a的保液性被设定得比其基端部的保液性高。因此，增大了附着于前端部23a的修正墨水11的量，并且多余的修正墨水11不会附着于基端部。
[0244]此外，图2所示的涂布单元2包括将修正墨水11供给至涂布针3、13等的作为液状材料供给机构的墨盒12。墨盒12包括对修正墨水11朝涂布针3供给的供给量进行调节的调节部。利用该调节部对附着于多个涂布针3的修正墨水11的供给量进行调节以使其均等。在实施方式中，利用作为调节部的一例的刮板14来调节修正墨水11的膜厚。
[0245]另外，图1所示的涂布装置I主要由涂布单元2、观察光学系统70、切割用激光部20及主计算机30构成，其中，上述涂布单元2使用多个涂布针3将修正墨水11涂布于缺陷，上述观察光学系统70对工件W的表面进行观察，上述切割用激光部20通过观察光学系统70对基板表面的缺陷进行激光切割，上述主计算机30对装置整体进行控制。另外，在该实施方式一中，涂布装置I包括将涂布单元2等定位于工件W的缺陷的作为定位部的XY工作台40及Z工作台60。
[0246]此外，当利用观察光学系统70观察被涂布区域的缺陷形状时，根据由CCD摄像头50拍摄到的图像来进行基于激光切割的缺陷的去除、被涂布区域的周缘形状的整形。此时，通过利用XY工作台40进行定位动作，能容易地对激光切割位置和涂布单元2的涂布位置进行对位。
[0247]本次公开的实施方式在所有点上均为例示，应当认为不对本发明作出限制。本发明的范围是由权利要求书来表示的而不是由上述说明来表示的，本发明包括与权利要求书等同的意思和范围内的所有变更。
【权利要求】
1.一种涂布单元，将液状材料涂布于规定形状的被涂布区域，其特征在于，包括: 多根涂布针，这多根涂布针将附着于前端部的所述液状材料涂布于所述被涂布区域；以及 针座构件，该针座构件对所述多根涂布针进行保持， 所述多根涂布针的前端被排列成与所述被涂布区域相对应的形状，所述多根涂布针的基端固定于所述针座构件。
2.如权利要求1所述的涂布单元，其特征在于， 所述涂布单元还包括多根辅助针，这多根辅助针被排列成围住所述多根涂布针的外侧，所述多根辅助针的基端固定于所述针座构件， 所述多根辅助针各自的长度被设定成比所述多根涂布针各自的长度短。
3.如权利要求1所述的涂布单元，其特征在于， 所述涂布单元还包括驱动部，该驱动部通过所述针座构件使所述多根涂布针移动，以将附着于所述多根涂布针的前端的所述液状材料涂布于所述涂布区域。
4.如权利要求3所述的涂布单元，其特征在于， 所述涂布单元还包括对所述针座构件进行支承的弹性支承部， 所述驱动部通过所述弹性支承部使所述多根涂布针移动， 所述弹性支承部通过弹性变形而使所述多根涂布针的前端与所述被涂布区域抵接。
5.如权利要求4所述的涂布单元，其特征在于， 所述涂布单元还包括XY导向部，该XY导向部将所述弹性支承部支承成能在与所述多根涂布针延伸的方向正交的方向上移动， 所述驱动部通过所述XY导向部使所述多根涂布针移动， 所述XY导向部使所述弹性支承部在与所述多根涂布针延伸的方向正交的方向上移动，以使所述多根涂布针的前端与所述被涂布区域抵接。
6.如权利要求5所述的涂布单元，其特征在于， 所述涂布单元还包括复位部，该复位部在所述多根涂布针的前端远离所述被涂布区域的情况下，使所述弹性支承部返回至基准位置。
7.如权利要求5所述的涂布单元，其特征在于， 所述XY导向部包括: 第一导轨部，该 第一导轨部与所述驱动部结合，且一端部配置于比另一端部低的位置； 第一滑动部，该第一滑动部沿着所述第一导轨部移动； 第二导轨部，该第二导轨部固定于所述第一滑动部，且一端部配置于比另一端部低的位置；以及 第二滑动部，该第二滑动部保持所述弹性支承部，并沿着所述第二导轨部移动， 在所述多根涂布针的前端远离所述被涂布区域的情况下，利用重力使所述第一滑动部及所述第二滑动部分别移动至所述第一导轨部及所述第二导轨部的一端部，并使所述弹性支承部返回至基准位置。
8.如权利要求1所述的涂布单元，其特征在于， 所述多根涂布针呈行列状地排列于所述针座构件，所述涂布单元还包括连接部，该连接部将各相邻的两根涂布针之间连接。
9.如权利要求8所述的涂布单元，其特征在于， 在所述连接部的侧面或端面中的至少任一方形成有凹部。
10.如权利要求1所述的涂布单元，其特征在于， 在各涂布针的前端部形成有规定厚度的镀层。
11.如权利要求1所述的涂布单元，其特征在于， 各涂布针的如端部的保液性比各涂布针的基端部的保液性闻。
12.如权利要求1所述的涂布单元，其特征在于， 所述涂布单元还包括液状材料供给机构，该液状材料供给机构将所述液状材料供给至所述涂布针， 所述液状材料供给机构包括调节部，该调节部对所述液状材料朝所述涂布针供给的供给量进行调节。
13.如权利要求12所述的涂布单元，其特征在于， 所述调节部具有对所述 液状材料的膜厚进行调节的刮板。
14.一种涂布方法，其特征在于， 设置两组权利要求1所述的涂布单元， 所述涂布方法包括: 两组所述涂布单元中的所述多根涂布针的排列图案彼此不同，使用一方的所述涂布单元将所述液状材料涂布于所述被涂布区域的步骤；以及 使用另一方的所述涂布单元将所述液状材料涂布于所述被涂布区域的未涂布部分的步骤。
15.—种涂布方法，其特征在于， 设置权利要求1所述的涂布单元， 将所述多根涂布针隔开规定的间隔排列， 所述涂布方法包括: 使用所述涂布单元将所述液状材料涂布于所述被涂布区域的步骤；以及使所述涂布单元的位置移动，以将所述液状材料涂布于所述被涂布区域的未涂布部分的步骤。
16.一种涂布装置，其特征在于，包括: 权利要求1至权利要求13中任一项所述的涂布单元； 观察光学部，该观察光学部用于对所述被涂布区域的表面进行观察；以及 定位部，该定位部将所述涂布单元定位于所述被涂布区域。
【文档编号】B05D1/30GK103962275SQ201410045271
【公开日】2014年8月6日 申请日期:2014年1月30日 优先权日:2013年2月1日
【发明者】清水茂夫 申请人:Ntn株式会社