硅片匀胶烘干操作台的制作方法
【专利摘要】硅片匀胶烘干操作台，包括操作台本体、匀胶机和烘干装置，在所述操作台本体桌面上设置有通孔，所述匀胶机的托盘固定在所述通孔中；所述烘干装置包括加热丝、开关和烘干板，所述开关设置在操作台本体的桌面一侧，所述加热丝位于烘干板下方，所述烘干板上表面等间距设置有若干凸筋。本实用新型设计合理，操作方便，不需要操作人员频繁起身。
【专利说明】硅片匀胶烘干操作台
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及一种硅片匀胶烘干操作台。
【背景技术】
[0002]在硅片制作工艺中，匀胶是利用高速旋转的离心力将光刻胶涂平，匀胶后会高温处理，蒸发掉其中水分，定型。目前，硅片利用匀胶机处理后，需要把匀胶后的硅片放到烘干箱内烘干，由于匀胶机一次只能处理一片硅片，处理完后操作人员需要将单片硅片放入烘干箱内，需要频繁起身，操作不方便。
实用新型内容
[0003]为了克服现在硅片匀胶烘干操作不方便的问题，本实用新型的目的在于提供一种操作方便，操作人员不需要频繁起身的硅片匀胶烘干操作台。
[0004]为了解决上述问题，本实用新型采用以下技术方案:一种硅片匀胶烘干操作台，其特征在于:包括操作台本体、匀胶机和烘干装置，在所述操作台本体桌面上设置有通孔，所述匀胶机的托盘固定在所述通孔中；所述烘干装置包括加热丝、开关和烘干板，所述开关设置在操作台本体的桌面一侧，所述加热丝位于烘干板下方，所述烘干板上表面等间距设置有若干凸筋。
[0005]进一步的，在所述操作台本体上设置有棚罩，棚罩的顶端呈三角形。
[0006]优选的，所述匀胶机开关为脚踏式开关。
[0007]本实用新型的有益效果是:它将匀胶机和烘干装置巧妙的设计在操作台上，实现了匀胶和烘干在同一操作台操作；烘干板上等间距设置的凸筋方便硅片的取放；匀胶机采用脚踏式开关，设计合理，操作方便；三角形棚罩可防止蒸汽凝结后落到硅片上。
【专利附图】
【附图说明】
[0008]下面结合附图和实施例对本实用新型做进一步的说明:
[0009]图1为本实用新型的整体结构示意图；
[0010]图2为本实用新型的烘干板侧视图。
[0011]图中，I本体、12棚罩、2匀胶机、21脚踏式开关、3烘干装置、31开关、32烘干板、321凸筋。
【具体实施方式】
[0012]下面结合附图对本实用新型的具体实施例做详细说明:
[0013]如图1和图2所示，本实用新型的具体实施包括操作台本体1、匀胶机2和烘干装置3。
[0014]在所述操作台本体I的桌面上设置有通孔，所述匀胶机2的托盘固定在所述通孔中匀胶机2的机体固定在操作台本体I的桌面的下方，优选的，所述匀胶机2的开关为脚踏式开关21。所述烘干装置3包括加热丝、开关31和烘干板32，所述开关31设置在操作台本体I的桌面一侧。所述加热丝位于烘干板32下方，加热丝与电热炉中的加热丝相同，加热丝对烘干板加热，实现对烘干板32上的硅片烘干。所述烘干板32上表面等间距设置有若干凸筋321，烘干板32优选为铝板，其上面的凸筋321可以横向设置，也可以纵向设置，图1和图2中为纵向设置。在图1中，匀胶机2设置了两台，它们用一个脚踏式开关21控制，当然，匀胶机2也可以设置一台或多台。
[0015]为了防止灰尘落入匀胶的硅片上，在所述操作台本体I上设置有棚罩12。为了防止在烘干过程中蒸汽在棚罩12上凝结后滴落到硅片上，棚罩12的顶端为三角形结构设计，与常见的三角形房顶相同，这样凝结的水珠会沿着房顶落到一侧。棚罩12优选的采用透明玻璃制成。
[0016]使用时，工作人员坐在操作台本体I前方，踩下脚踏式开关21，开始匀胶，匀胶完成后直接将硅片按顺序放在烘干板21上开始烘干。
[0017]以上所述只是本实用新型的优选实施方式，对于本【技术领域】的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型原理的前提下，还可以做出若干改进和润饰，这些改进和润饰也被视为本实用新型的保护范围。
【权利要求】
1.一种硅片匀胶烘干操作台，其特征在于:包括操作台本体、匀胶机和烘干装置，在所述操作台本体桌面上设置有通孔，所述匀胶机的托盘固定在所述通孔中；所述烘干装置包括加热丝、开关和烘干板，所述开关设置在操作台本体的桌面一侧，所述加热丝位于烘干板下方，所述烘干板上表面等间距设置有若干凸筋。
2.根据权利要求1所述的硅片匀胶烘干操作台，其特征在于:在所述操作台本体上设置有棚罩，棚罩的顶端呈三角形。
3.根据权利要求1所述的硅片匀胶烘干操作台，其特征在于:所述匀胶机开关为脚踏式开关。
【文档编号】B05C9/14GK204182540SQ201420651955
【公开日】2015年3月4日 申请日期:2014年11月4日 优先权日:2014年11月4日
【发明者】李佳珊 申请人:李佳珊