一种运转半导体器件的减震机构和方法与流程

本发明涉及半导体运转，具体为一种运转半导体器件的减震机构和方法。

背景技术：

1、半导体行业，wafer晶圆厚度60-800纳米，焊线工序，焊线复杂单颗芯片线数3-3000根，线与线交叉，线与线高低弧并行，任何碰撞、震动都会造成晶圆工序隐裂、破损，焊线工序焊线错位、变形、塌陷、高度变更、短路，从而导致产品损坏、电气特性失效。当前运载小车机械弹簧减震，无震动等级测量，无震动预警装置，无震动干预、减速、刹车、外力反震等。因此，运转工具无论采用智能小车，还是人工小车，减震抗震是半导体行业必须攻克的难题。

技术实现思路

1、针对现有技术的不足，本发明提供了一种运转半导体器件的减震机构和方法，以解决上述背景技术中提到的问题。

2、为解决上述技术问题，本发明提供如下技术方案：

3、一种运转半导体器件的减震机构，包括推车、震动传感器、震动控制器、震动报警装置、震动减速装置、反震干预装置；所述推车包括底板、车框、连接于车框上的多层置物板，震动控制器位于底板上，底板的四角连接有安装耳，安装耳上连接有滚轮支架，滚轮支架上通过转轴转动连接有滚轮，安装耳上连接有反震干预装置，反震干预装置上连接有惯性质量块，车框连接于惯性质量块上；所述震动传感器由多个探测器组成，分散到推车的安装耳、推车的底部收集震动信号；所述震动报警装置设置于震动控制器上；所述震动传感器、所述震动报警装置、所述震动减速装置、所述反震干预装置均与震动控制器电性连接，震动传感器收集震动信号，将机械信号转换成数字曲线信号，传送至震动控制器，震动控制器分析震动等级，当到达设定等级时发出报警，同时启动震动减速装置发出机械式点刹，减慢推车速度，同时反震干预装置启用，抵销外力震动。

4、优选的，所述震动减速装置包括延伸板，所述延伸板为两张，分别连接于推车一端的两个滚轮支架上，所述延伸板的两侧连接有轴承座，每张延伸板上的两轴承座上均转动连接有丝杆，丝杆两端的外壁设有反向的螺纹，丝杆的两端螺纹连接有刹车板，延伸板上位于两轴承座之间开设有滑孔，刹车板滑动设置于滑孔内，且刹车板位于滚轮的两侧，所述震动减速装置还包括驱动两丝杆同时转动的驱动机构，所述驱动机构包括连接于两丝杆相对端的传动杆、连接于两传动杆相对端的第一锥形齿轮、连接于推车上的安装板、设置于安装板上的电机、通过联轴器传动连接于电机上的传动轴、连接于传动轴上的第二锥形齿轮，第二锥形齿轮与两第一锥形齿轮啮合。

5、上述技术方案，当到达震动等级时，震动控制器启动电机，通过第二锥形齿轮与第一锥形齿轮的配合，带动两传动杆同时转动，两传动杆带动两丝杆转动，丝杆传动过程中，带动其上的两刹车板相对运动，通过刹车板将滚轮压紧，实现刹车。

6、优选的，两刹车板相对面均设有若个凹槽，凹槽内设置有弹簧，弹簧的外端连接有点刹块，点刹块的外端通过弹簧的作用延伸在刹车板的外侧，点刹块的内端活动设置于凹槽内。

7、上述技术方案，当两刹车板相对运动时，点刹块首先与滚轮接触，通过点刹块对滚轮实施点刹，以减缓速度，当需要停止推车运动时，则继续驱动两刹车板相对运动，使点刹块收缩至凹槽内，此时通过刹车板将滚轮完全压住，实现刹车。

8、优选的，所述反震干预装置为安装于四个安装耳上的阻尼减震器，惯性质量块安装于阻尼减震器上。

9、上述技术方案，当震动等级到达设定值时，启用阻尼减震器，抵消外力震动，置物板上的产品平稳运输。

10、优选的，所述震动报警装置为蜂鸣报警器。

11、上述技术方案，当震动等级到达或超过设定值时，蜂鸣报警器发出报警声，当震动等级低于设定等级时，停止报警；

12、优选的，所述震动控制器内设有信号采集放大模块、输入模块、等级分析模块和信号输出模块；信号采集放大模块用于将机械信号转换成数字曲线信号，提供人机显示和传送至震动控制器；输入模块，用于设定震动等级；等级分析模块用于分析震动等级；信号输出模块用于输出控制信号，以控制震动报警器、震动减速装置和反动干预装置工作。

13、一种运转半导体器件的减震方法，包括以下步骤：

14、震动等级设定：通过输入模块输入震动等级；

15、信号采集：震动传感器收集推车的震动信号，通过信号采集放大模块将机械震动信号转换成数字曲线信号，提供人机显示和送至震动控制器；

16、震动等级分析：当震动传感器随推车运动时，由阻尼减震器支撑的惯性质量块将与震动传感器发生相对运动，震动传感器记录下惯性质量块的相对振动位移幅值，然后利用惯性质量块与震动传感器的相对振动位移的关系式y＝asin(ωt+φ)，通过等级分析模块得出推车的震动等级；

17、报警：当震动等级到达或超过设定值时，信号输出模块将信号送至蜂鸣报警器，并发出报警声，当震动等级低于设定等级时，停止报警；

18、减速：当蜂鸣报警器触发时，震动控制器启动电机，带动震动减速装置发出机械式点刹，减缓推车速度；

19、反震干预：当震动等级到达设定值时，启用阻尼减震器，抵消外力震动，置物板上的产品平稳运输。

20、与现有技术相比，本发明具备以下有益效果：

21、可以保证运输产品，具有平稳、速度可控、抑制惯性、震动监测、震动报警、震动干预等优点，防止产品损坏。

技术特征：

1.一种运转半导体器件的减震机构，其特征在于，包括推车(1)、震动传感器(2)、震动控制器(3)、震动报警装置(4)、震动减速装置(5)、反震干预装置(6)；

2.根据权利要求1所述的一种运转半导体器件的减震机构，其特征在于，所述震动减速装置(5)包括延伸板(501)，所述延伸板(501)为两张，分别连接于推车一端的两个滚轮支架(105)上，所述延伸板(501)的两侧连接有轴承座(502)，每张延伸板(501)的两轴承座(502)上均转动连接有丝杆(503)，丝杆(503)两端的外壁设有反向的螺纹，丝杆(503)的两端螺纹连接有刹车板(504)，延伸板(501)上位于两轴承座(502)之间开设有滑孔(505)，刹车板(504)滑动设置于滑孔(505)内，且刹车板(504)位于滚轮的两侧，所述震动减速装置(5)还包括驱动两丝杆(503)同时转动的驱动机构。

3.根据权利要求2所述的一种运转半导体器件的减震机构，其特征在于，所述驱动机构包括连接于两丝杆(503)相对端的传动杆(506)、连接于两传动杆相对端的第一锥形齿轮(507)、连接于推车上的安装板(508)、设置于安装板上的电机(509)、通过联轴器传动连接于电机(509)上的传动轴、连接于传动轴上的第二锥形齿轮(510)，第二锥形齿轮(510)与两第一锥形齿轮(507)啮合。

4.根据权利要求3所述的一种运转半导体器件的减震机构，其特征在于，两刹车板(504)相对面均设有若个凹槽，凹槽内设置有弹簧(511)，弹簧(511)的外端连接有点刹块(512)，点刹块(512)的外端通过弹簧的作用延伸在刹车板(504)的外侧，点刹块(512)的内端活动设置于凹槽内。

5.根据权利要求4所述的一种运转半导体器件的减震机构，其特征在于，所述反震干预装置(6)为安装于四个安装耳(104)上的阻尼减震器，惯性质量块(7)安装于阻尼减震器上。

6.根据权利要求5所述的一种运转半导体器件的减震机构，其特征在于，所述震动报警装置(4)为蜂鸣报警器。

7.根据权利要求6所述的一种运转半导体器件的减震方法，其特征在于，所述震动控制器(3)内设有信号采集放大模块、输入模块、等级分析模块和信号输出模块；信号采集放大模块用于将机械信号转换成数字曲线信号，传送至震动控制器；输入模块，用于设定震动等级；等级分析模块用于分析震动等级；信号输出模块用于输出控制信号。

8.根据权利要求7所述的一种运转半导体器件的减震方法，其特征在于，包括以下步骤：

技术总结
本发明公开了一种运转半导体器件的减震机构，包括推车、震动传感器、震动控制器、震动报警装置、震动减速装置、反震干预装置；震动传感器由多个探测器组成，分散到推车的滚轮、推车的底部收集震动信号；所述震动报警装置设置于震动控制器上；所述震动传感器、所述震动报警装置、所述震动减速装置、所述反震干预装置均与震动控制器电性连接，震动传感器收集震动信号，将机械信号转换成数字曲线信号，传送至震动控制器，震动控制器分析震动等级，当到达设定等级时发出报警，同时启动震动减速装置发出机械式点刹，减慢推车速度，同时反震干预装置启用，抵销外力震动。

技术研发人员：张月晟,周理学,符一波
受保护的技术使用者：江苏柒捌玖电子科技有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/1/15