专利名称：用于晶片的存储系统的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种用于晶片的存储系统，包括至少一个存储舱，其中在类似于圆柱体的包中一个在另一个上面地存储晶片，并且包括插入和分配舱，该插入和分配舱位于邻近存储舱并包括机械手，该机械手具有臂，该臂可基本上在水平面内移动，利用该臂可将预定晶片从预定包中横向移走或插入预定包。
背景技术：
已知该类型的存储系统。
当生产半导体时，已知利用已知的晶片。这些晶片是典型地直径为300mm的圆形平板衬底。在不同处理步骤之间的生产工艺过程中，必须多次缓冲存储晶片。
已知在类似于圆柱体的垂直包中一个在另一个上面地存储晶片。为此，例如可利用具有横向狭槽形的贮槽的类似于柱子的结构。将单独的晶片插入贮槽中，以这种方式存储或缓冲存储。可选地，也已知利用某种“篮”，在各篮中容纳一组晶片，然后同样地一个在另一个上面地堆叠这些篮。
在公知的存储系统中，在这样的圆柱体中以这样的方式一个在另一个上面地存储例如175个晶片。当插入或移走晶片时，如已说明，单独地或成组地输送该晶片。一般优选单独输送。
在开始时说明的类型的已知存储系统情况下，在平面图为U形的存储平板上固定地设置圆柱体状的包。在U形内部的空间中具有输送系统，该输送系统具有机械手，该机械手以这样的方式设计，以使其可任意地移动，直至各单独圆柱体中的各单独晶片或相应的空存储位置。这样，可在存储系统的公共插入和分配位置与任何希望的存储位置之间转移晶片。
已知的存储系统具有与存储系统所需的基础面积有关的存储容量有限的缺点。此外，需要相对复杂的机械手移动操作，以允许其移动至所有的存储位置。
发明内容
因此，本发明基于将开始时说明的类型的存储系统改善至避免上述问题的程度的目的。具体地说，本发明旨在使得提供具有可比面积要求的大存储容量成为可能，并且同样地简化机械手的移动操作。
根据本发明，利用开始时说明的类型的存储系统实现该目的，其中在基本上在水平面内运动的传送装置上在存储舱中设置包，并且其中可以通过所述传送装置将预定包传送至转移位置，在所述转移位置，可在臂与所述预定包之间转移预定晶片。
这样可完全实现本发明所基于的目的。
一方面，由于所述机械手仅仅必须移动至单个位置，即所述转移位置的实际情况，简化了移动操作。另外，在所述传送装置上移动所述包具有这样的优点，即不再需要关心所述机械手的移动操作，因此可将所述包设置为相互更靠近，不必以这样的方式设置，即对于所述机械手的臂所述包单独地可存取。这样，可提高所述包的存储密度，从而，在保持具有其需要的面积要求的单个机械手的同时，可在相同的存储系统中插入更多的包。
在本发明的存储系统的优选细化中，所述传送装置形成为圆盘传送带(carousel)。
该措施具有这样的优点，即可以尤其简单的方式实现所需的包移动操作。
如果所述圆盘传送带具有关于垂直轴相互独立旋转的内转盘和外转盘时，尤其优选该示例性实施例。
该措施具有这样的优点，即可进一步提高所述包的存储密度，而不阻碍存取或提高移动操作的复杂性。
这尤其适用于上述变化的细化，其中所述内转盘和所述外转盘各具有转移位置，将所述转移位置设置为基本上在通过所述垂直轴的径线上，并且其中每当所述内转盘将所述预定包移动至所述内转盘的所述移动位置中以转移所述预定晶片时，所述外转盘能够移动至其具有空位置的转移位置。
该措施具有这样的优点，即对于具有非常简单的移动程序的所有所述外转盘和所述内转盘的所述包而言，最佳的存取是可能的。这尤其适用于在其水平面内所述臂的移动，因为当将其移动至一个或另一个转移位置时，仅仅必须沿着径线以线性方向轻微移动所述臂。
如已说明，可在该存储系统中单独地或成组地转移晶片，后者尤其成某种篮地转移。
在本发明的又一个示例性实施例的情况下，优选如果邻近所述插入和分配舱设置两个基本上相同的存储舱，所述机械手与所述两个存储舱操作连接。
该措施具有这样的优点，即如果将所述机械手指定至不仅一个而是两个存储舱，可能甚至三个或更多存储舱，通过所述一个机械手公共地输送所述所有存储舱，可实现存储密度的进一步提高，并因而进一步降低空间需要。于是仅必须利用所述机械手所需的所述空间需要一次，因此提高了所述存储系统的容量。
在本发明的实施例中，可通过垂直单元使所述机械手移动。在这种情况下，还优选所述臂为弯曲臂。
该措施具有这样的优点，即可在机械手非常简单的移动程序下将所有所述存储位置移动至所述转移位置。这导致移动时间的缩短，并因而缩短了在所述存储系统内的存取时间。
在本发明的范围内，还优选所述插入和分配舱具有用于传感以及，如果可适用，用于修正所述晶片的旋转位置的装置和/或用于传感所述晶片的标记的装置。
该措施具有这样的优点，即可连续地为各单独的晶片的路径提供资料。这尤其有关标准标记(条码)，以离开所谓的“凹口”，即在晶片的周缘的半圆形凹槽限定的间距在晶片的边缘上设置该标准标记。
所述措施具有这样的优点，即可以简单的方式探测所述凹口的位置。如果由此发现所述晶片没有使其凹口位于限定的周缘位置，可首先例如通过转盘转动所述晶片，直至所述凹口在希望的位置。然后，可读出位于邻近所述凹口的标记，并因而确保以适当的形式为所述晶片的所述插入或分配提供资料。
所有这些特征优选地根据本发明在用于所述晶片的插入和分配位置的区域中发生，同样地在所述插入和分配舱中提供这些特征。
在又一组示例性实施例的情况下，所述存储舱具有外壳，所述外壳除了面对所述插入和分配舱的开口之外封闭。
该措施具有这样的优点，即可最佳地保护所述存储的晶片以防污染。
为进行维护工作等，根据本发明也可在所述外壳中设置可封闭的门。
为了在所述存储舱中无污染地存储所述晶片，另外在所述存储舱和/或也在所述插入和分配舱上设置层流单元和/或静电放电单元。
这些措施确保了所述晶片仅仅暴露于此外无静电电荷的净化室气氛。
通过下面的说明和附图可显示出更多的优点。
不言而喻地是，只要不脱离本发明的范围，不仅可在各自特定的结合中，并且可在其它结合中或其本身上利用上述特征以及下面将要说明的特征。
在下面的说明中将更详细地说明并在附图中示出本发明的示例性实施例，其中图1沿着图2的I-I线以横向截面图示出了根据本发明的存储系统的示例性实施例；以及图2同样地沿着图1的II-II线以截面示出了根据图1的存储系统的平面图。
具体实施例方式
在图1和图2中，通过10整体表示用于晶片的存储系统。存储系统10具有存储舱12，该存储舱12横向连接至插入和分配舱14。在本发明的示例性实施例中，甚至可具有在插入和分配舱14的各侧上设置的两个存储舱12、12a，如用点划线表示另一个存储舱12a。另外，具有三个或多个这样的存储舱的设置也是可能的。
存储舱12具有封闭外壳20，该封闭外壳仅在过渡到插入和分配舱14的位置具有作为窗口的开口22。此外，可在外壳20中设置门24，尤其用于维护和检修目的。
在存储舱12内具有可关于垂直轴26旋转的圆盘传送带。该圆盘传送带包括内转盘28和外转盘30。由图2可明显看出，在外转盘30上具有总共十一个位置32a至32k和一个空位置34。另一方面，内转盘28具有五个位置36a至36e。在图1中，通过37表示一个在另一个上面堆叠的晶片包。因此，对于各圆柱体状的包37，如果假定175个晶片的容量，具有总共16个位置32、36的存储舱12将具有2800个晶片的总容量。
在外壳20上具有层流单元38和静电放电单元40。利用这些单元，可以在外壳20内部产生并确保净化室条件，位于外壳20中的空气也可距离静电电荷尽可能远。
为将晶片转移至存储舱12中或转移出存储舱12，在存储舱12中限定两个空间固定的转移部分，即在内转盘28的区域中的内转移位置42和在外转盘30的区域中的外转移位置44。转移位置42、44位于公共径线上，该公共径线与垂直轴26相交，并基本上从开口22的中心穿过。
在图2中，通过箭头46和48也表明，可相互独立地且以不同旋转方向驱动内转盘28和外转盘30。为此设置相应的驱动器，为清楚起见没有在图中示出。本领域的技术人员公知，这也适用于相关的控制系统。
在插入和分配舱14内部具有垂直单元50，其中支架52在垂直圆柱体上运动。支架52支撑机械手54。机械手54具有弯曲臂，该弯曲臂具有第一臂部分56、第二臂部分58和第三臂部分60。通过旋转轴62、64和66，机械手54及臂部分56、58、60相互连接。为清楚起见，并且因为本领域的技术人员熟悉机械手54的驱动器和控制系统，这里又没有示出该驱动器和控制系统。
在图1中示出了机械手54如何用臂部分56、58、60从包37中移走晶片68。为此，在其自由端设置具有手70的第三臂部分60。在图2中用虚线示出了该操作。
为了允许具有臂部分56、58、60的弯曲臂可进入内转盘28的位置36a至36e，需要外转盘30首先移动至这样的位置，其中外转盘30的空位置34位于外转移位置44。
在图2中，通过实现示出了具有臂部分56、58、60的弯曲臂如何将晶片转移至在图2的右侧上的插入和分配位置72。
在此操作发生之前，可进行对晶片的检查或提供资料。
用于此目的的是代码读出器80以及所谓的“凹口探测器”82。凹口探测器82可以是例如数码相机。
上述的这两个单元利用晶片在限定的周缘位置通常具有半圆凹槽即所谓的“凹口”的实际情况。标记，例如条形码，位于与凹口相关的限定位置中的晶片表面上。该标记标识相应的晶片，另外还表明其已通过的处理位置。此外，条形码用作表明与凹口相关的晶片的结晶对准。
因此，例如如果从存储舱12中移走晶片，首先可使机械手54与晶片一起以这样的方式移动，以使在凹口探测器82中首先探测凹口是否在正确的位置。如果情况是这样，进一步将晶片移动至代码读出器80。在此读出标记，并因此为晶片提供资料。
另一方面，如果凹口探测器82确定凹口不在期望的位置，机械手54使晶片移动至转盘(在图中未示出)，在该转盘上以这样的方式转动晶片，以使凹口因而在正确的位置。可在凹口探测器82中再一次检查凹口，或者此时立即将晶片传递到代码读出器80。
如已多次说明，根据本发明的存储系统10可根据单独输送晶片的原则操作，可选地，也可成篮地输送，即以晶片组输送。当然这也对在插入和分配舱14上的插入和分配位置72a、72b的类型有影响。
权利要求
1.一种用于晶片(68)的存储系统，包括至少一个存储舱(12、12a)，其中在类似于圆柱体的包(37)中一个在另一个上面地存储所述晶片(68)；以及插入和分配舱(14)，位于邻近所述存储舱(12、12a)，所述插入和分配舱(14)包括机械手(54)，所述机械手(54)具有臂(56、58、60)，所述臂(56、58、60)基本上在水平面内可移动，利用所述臂(56、58、60)，可将预定晶片(68)从预定包(37)中横向移走或插入所述预定包(37)，其特征在于在基本上在水平面内运动的传送装置(28、30)上在所述存贮舱(12、12a)中设置所述包(37)，并且其中通过所述传送装置(28、30)可将所述预定包(37)传送至转移位置(42、44)中，在所述转移位置(42、44)，可在所述臂(56、58、60)与所述预定包(37)之间转移所述预定晶片(68)。
2.根据权利要求1的存储装置，其特征在于，所述传送装置(28、30)形成为圆盘传送带。
3.根据权利要求2的存储装置，其特征在于，所述圆盘传送带具有关于垂直轴(26)相互独立旋转的内转盘(28)和外转盘(30)。
4.根据权利要求3的存储装置，其特征在于，所述内转盘(28)和所述外转盘(30)各具有转移位置(42、44)，其中将所述转移位置(42、44)设置为基本上在通过所述垂直轴(26)的径线上，并且其中每当所述内转盘(28)将所述预定包(37)移动至所述内转盘(28)的所述移动位置(42)中以转移所述预定晶片(68)时，所述外转盘(30)能够移动至其具有空位置(34)的转移位置(44)。
5.根据权利要求1至4中的任何一项的存储系统，其特征在于，可单独转移所述晶片(68)。
6.根据权利要求1至4中的任何一项的存储系统，其特征在于，可成组地，优选成篮地转移所述晶片(68)。
7.根据权利要求1至6中的任何一项的存储系统，其特征在于，邻近所述插入和分配舱(14)设置两个基本上相同的存储舱(12、12a)，其中所述机械手(54)与所述两个存储舱(12、12a)操作连接。
8.根据权利要求1至7中的任何一项的存储系统，其特征在于，可通过垂直单元(50)使所述机械手(54)移动。
9.根据权利要求1至8中的任何一项的存储系统，其特征在于，所述臂(56、58、60)为弯曲臂。
10.根据权利要求1至9中的任何一项的存储系统，其特征在于，所述插入和分配舱(14)包括用于传感以及，如果可适用，用于修正所述晶片(68)的旋转位置的装置(82)。
11.根据权利要求1至10中的任何一项的存储系统，其特征在于，所述插入和分配舱(14)包括用于传感所述晶片(68)的标记的装置(80)。
12.根据权利要求1至11中的任何一项的存储系统，其特征在于，所述插入和分配舱(14)包括用于所述晶片(68)的插入和分配位置(72a、72b)。
13.根据权利要求1至11中的任何一项的存储系统，其特征在于，所述存储舱(12、12a)包括外壳(20)，所述外壳(20)除了面对所述插入和分配舱(14)的开口(22)之外封闭。
14.根据权利要求13的存储装置，其特征在于，所述外壳(20)也具有可封闭的门(24)。
15.根据权利要求1至14中的任何一项的存储系统，其特征在于，所述存储舱(12、12a)和/或所述插入和分配舱(14)具有层流单元(38)。
16.根据权利要求1至15中的任何一项的存储系统，其特征在于，所述存储舱(12、12a)和/或所述插入和分配舱(14)具有静电放电单元(40)。
全文摘要
一种用于晶片(68)的存储系统(10)，具有至少一个存储舱(12、12a)，其中在类似于圆柱体的包(37)中一个在另一个上面地存储晶片(68)。位于邻近存储舱(12、12a)是包括机械手(54)的插入和分配舱(14)。机械手(54)具有基本上在水平面内可移动的臂(56、58、60)，利用所述臂可将预定晶片(68)从预定包(37)中横向移走或插入预定包(37)。在基本上在水平面内运动的传送装置(28、30)上在存贮舱(12、12a)中设置包(37)。通过所述传送装置可将预定包(37)传送至转移位置(42、44)中，在所述转移位置可在所述臂与预定包(37)之间转移预定晶片(68)。
文档编号B65G1/00GK1816896SQ200480018778
公开日2006年8月9日 申请日期2004年6月19日 优先权日2003年7月2日
发明者T·J·莫兰 申请人:动力微系统半导体设备股份有限公司