异常接触检测方法、电子元器件保持装置以及电子元器件搬运装置制造方法【专利摘要】本发明的目的在于提供一种可在电子元器件的交付过程中检测电子元器件的异常接触的异常接触检测方法。本发明的异常接触检测方法中，通过升降用马达(4)，经由杆件(32)使下降力(Fr)对保持部(2)进行作用，且通过音圈马达(37)，对杆件(32)赋予与相对于下降力(Fr)的杆件(32)所受的反作用力(Fcr)相等的对抗推力(Fopp)，对响应于电子元器件(D)一边接触于承载带(61)一边下降时产生的阻力(Fd)的、杆件(32)对于音圈马达(37)的相对性上升进行检测，通过对杆件(32)的上升进行检测，而检测下降中途电子元器件(D)对承载带(61)的接触。【专利说明】异常接触检测方法、电子元器件保持装置以及电子元器件搬运装置【
技术领域：
】[0001]本发明是有关一种检测对单元交付电子元器件时的异常接触的异常接触检测方法、利用该方法的电子元器件保持装置、及包括该电子元器件保持装置的电子元器件搬运>J-Uρ?α装直。【
背景技术：
】[0002]半导体组件等电子元器件是在经过切割(dicing)、安装(mounting)、接合(bonding)、及密封(sealing)等各组装步骤而分离成单片后,进行各种检查等步骤。该步骤一般而言是通过称作测试处理器(testhandler)的电子元器件搬运装置而进行。该电子元器件搬运装置包括电子元器件保持装置，且一边由电子元器件保持装置的保持机构保持着电子元器件，一边对各步骤处理单元进行搬运处理。结束步骤处理的电子元器件由作为步骤处理单元之一的卷带单元(tapingunit)收容在承载带(carriertape)的袋体(pocket)中。[0003]在卷带单元中，电子元器件对袋体异常接触的情况下，可能导致电子元器件的电极引脚端子弯曲或破裂等。所谓异常接触是指电子元器件一边接触袋体的边缘一边继续进行对袋体的插入步骤。一般而言，该异常接触的原因在于:电子元器件的保持机构、电子元器件、或承载带的袋体的任一者中产生了位置偏移。[0004]因此，在卷带单元中，对于电子元器件是否以适当的姿势收纳在承载带的袋体中、电子元器件的引脚电极是否异常弯曲、以及电子元器件是否有划痕等不良情况进行检查。以往，提出有各种检查电子元器件的不良的方法(例如参照专利文献I)。[0005]例如，电子元器件插入至袋体后，通过以规定间距卷取承载带，从而使电子元器件移动至外观检查位置，利用摄像机构进行摄像，并且通过图像分析来检查不良。在检测到不良的情况下，使收纳有不良制品的袋体返回至保持机构的正下方，使用保持机构自袋体中取出电子元器件。又，亦提出有如下方法:使主平台反向旋转1/2间距，使保持机构自收容位置撤回，从而使去除机构移动至该收容位置，将电子元器件去除。现有技术文献[0006]专利文献专利文献1:国际公开W02010/089275号公报【
发明内容】本发明要解决的技术问题[0007]如此提出的方法大多是在将电子元器件一次性插入至袋体中后进行。对电子元器件的不良进行检测。在插入至袋体中后，可进行电子元器件外观检查的范围受到限制。例如，在利用摄像机构自上方对插入至袋体中的电子元器件进行摄影，并利用图像分析检查不良的情况下，不易检测自电子元器件延伸的电极引脚端子的微妙弯曲。又，由于原本无法对电子元器件的背面侧进行摄影，故而，亦难以检测在电子元器件的背面侧产生的破裂。[0008]因此，期待如下技术:通过在电子元器件的交付过程中检测成为电子元器件产生不良的一个原因的异常接触，从而不必将存在产生不良的可能性的电子元器件插入至承载带的袋体中。再者，若可建立电子元器件的交付过程中的异常接触的检测技术，则由于在电子元器件的搬运步骤中，较多地存在具有引起电子元器件的异常接触的可能性的交付步骤，故而，可预测该技术的应用范围较广。[0009]本发明是为了解决如上所述的现有技术的问题而提出的，其目的在于提供一种可在电子元器件的交付过程中对电子元器件的异常接触进行检测的异常接触检测方法。用于解决技术问题的技术方案[0010]本发明的异常接触检测方法是电子元器件保持装置对电子元器件的异常接触检测方法，其中所述电子元器件保持装置具有升降用马达，所述升降用马达使由音圈马达支撑的杆件与所述电子元器件的保持机构经由该杆件一并下降，所述异常接触检测方法的特征在于:通过所述升降用马达，经由所述杆件使下降力对所述保持机构进行作用，且通过所述音圈马达，对所述杆件赋予与相对于所述下降力的所述杆件所受的反作用相等的对抗推力，对响应于所述保持机构的下降过程中产生的异常阻力的、所述杆件对于所述音圈马达的相对性的上升进行检测，且通过对所述杆件的上升进行检测，而检测在所述下降的中途对所述电子元器件的异常接触。[0011]亦可使保持所述电子元器件的所述保持机构朝向承载带的袋体下降，对响应于所述电子元器件一边接触所述承载带一边下降时所产生的阻力的、所述杆件对于所述音圈马达的相对性的上升进行检测，且通过对所述杆件的上升进行检测，而检测在所述下降的中途对所述承载带的接触。[0012]若产生所述杆件的所述上升，则亦可中止所述电子元器件对所述袋体的插入，使所述保持机构上升，从而自所述袋体取出所述电子元器件。[0013]若产生所述杆件的所述上升，则亦可将下降中途的所述电子元器件对所述承载带的接触进行通知。[0014]又，本发明的电子元器件保持装置将电子元器件进行交付，其特征在于，包括:保持机构，能一边保持所述电子元器件，一边通过外力朝向交付部位进行升降；升降用马达，产生所述保持机构的下降力；杆件，相对于所述保持机构能升降地设置，且与所述保持机构抵接，将所述升降用马达产生的所述下降力向所述保持机构传递；音圈马达，对所述杆件赋予对抗推力，所述对抗推力与因作用于所述保持机构的所述下降力而产生的朝向所述杆件的反作用相等；以及检测机构，对响应于所述保持机构的下降过程中产生的异常阻力的、所述杆件对于所述音圈马达的相对性的上升进行检测。[0015]所述保持机构可一边保持所述电子元器件，一边朝向作为所述交付部位的承载带的袋体下降，且所述检测机构对响应于所述电子元器件一边接触所述承载带一边下降时产生的阻力的、所述杆件对于所述音圈马达的相对性的上升进行检测。[0016]若通过所述检测机构检测到所述杆件的所述上升，则所述保持机构可中止所述电子元器件对所述袋体的插入，使所述保持机构再上升，从而自所述袋体取出所述电子元器件。[0017]本发明的电子元器件搬运装置是将电子元器件搬运至排列在搬运路径上的各种步骤处理单元，并且将所述电子元器件交付至所述步骤处理单元的电子元器件搬运装置，其特征在于，包括:保持机构，能一边保持所述电子元器件，一边通过外力而升降；搬运用马达，使所述保持机构沿着所述搬运路径进行环绕，并且使所述保持机构在所述步骤处理单元的交付部位上方停止；升降用马达，产生所述保持机构的下降力；杆件，能升降地设置于停止在所述交付部位上方的保持机构的上方，且与所述保持机构抵接，将所述升降用马达产生的所述下降力向所述保持机构传递；音圈马达，对所述杆件赋予对抗推力，所述对抗推力与因作用于所述保持机构的所述下降力而产生的对所述杆件的反作用相等；以及检测机构，对响应于所述保持机构的下降过程中产生的异常阻力的、所述杆件对于所述音圈马达的相对性的上升进行检测。[0018]所述保持机构亦可一边保持所述电子元器件，一边朝向作为所述交付部位的承载带的袋体下降，且所述检测机构亦可对响应于所述电子元器件一边接触所述承载带一边下降时产生的阻力的、所述杆件对于所述音圈马达的相对性的上升进行检测。[0019]亦可还包括电子元器件的不良品排出机构，且所述保持机构在通过所述检测机构检测到所述杆件的所述上升时，中止所述电子元器件对所述袋体的插入，使所述保持机构再上升，从而自所述袋体取出所述电子元器件，向所述不良品排出机构移送所述电子元器件。[0020]亦可还包括通知机构，若产生所述杆件的所述上升，则所述通知机构将下降中途的所述电子元器件对所述承载带的接触进行通知。发明效果[0021]根据本发明，可在电子元器件的交付过程中，检测成为电子元器件产生不良的一个原因的异常接触，从而更可靠地去除具有因该异常接触而产生不良的可能性的电子元器件。【专利附图】【附图说明】[0022]图1是表示本实施方式的电子元器件保持装置的整体构成的侧视图。图2是表示音圈马达的内部构成的侧视图。图3是表示电子元器件保持装置所包括的检测部的外部构成的放大侧视图。图4是表示检测部的整体构成的图。图5是表示电子元器件保持装置的控制部的方块图。图6是表示电子元器件保持装置的控制部的控制动作的流程图。图7是表示通常时电子元器件保持装置的各部分所受的力的侧视图。图8是表示通常时的检测部的状态的侧视图。图9是表示电子元器件接触承载带时电子元器件保持装置的各部分所受的力的侧视图。图10是表示电子元器件接触于承载带时的检测部的状态的侧视图。图11是表示本实施方式的电子元器件搬运装置的整体构成的俯视图。图12是表示本实施方式的电子元器件搬运装置的整体构成的侧视图。图13是表示异常接触检测时电子元器件搬运装置的控制部的构成的方块图。图14是表示异常接触检测时电子元器件搬运装置的控制部的处理的流程图。图15是送料机(partsfeeder)的局部放大图。图16是位置修正单元的局部放大图。图17是测试接触装置的局部放大图。【具体实施方式】[0023]以下，一边参照附图，一边详细地说明本发明的电子元器件搬运装置的电子元器件保持装置的异常接触检测方法的实施方式。[0024](电子元器件保持装置)图1是表示电子元器件保持装置I的整体构成的侧视图。图1所示的电子元器件保持装置I是将电子元器件D交付至步骤处理单元74(参照图11)的装置。步骤处理单元74是对电子元器件D实施步骤处理的装置，且包含卷带单元6。卷带单元6是间歇性地移送收纳电子元器件D的袋体62经压花(emboss)加工而成的承载带61。[0025]对于卷带单元6，电子元器件保持装置I将电子元器件D插入至袋体62内，且在袋体62内使电子元器件D脱离。此时，电子元器件保持装置I将防止因电子元器件D未适当地插入至袋体62中而产生的不良制品直接捆包在承载带61。S卩，电子元器件保持装置I在对袋体62的插入阶段检测电子元器件D的异常接触。异常接触检测方法是感应承载带61与电子元器件D—边接触一边持续进行插入步骤时产生的阻力的方法。[0026]该电子元器件保持装置I主要包含保持部2、挤压体3、及升降用马达4。保持部2一边保持电子元器件D，一边通过外力而升降。升降用马达4产生保持部2的下降力，又，控制保持部2的下降终点及下降速度。挤压体3主要将升降用马达4所产生的下降力传递至保持部2ο[0027]保持部2例如为吸附嘴。该保持部2的内部为中空的管道(pipe)，且在前端具有开口。经由连接于后端的接头25，管道内部与气压回路连通，且通过真空的产生而在前端吸附电子元器件D，通过真空破坏而使电子元器件D脱离。亦可通过大气释放而使电子元器件D脱离，亦可依序切换真空破坏与大气释放，使电子元器件D脱离。[0028]该保持部2由相对于袋体62的高度被固定的支臂21支撑，且位于袋体62的上方。支臂21相对于袋体62的开口面大致平行地延伸，且在前端贯通设置有相对袋体62的开口面垂直的轴承22。保持部2使设置有开口的前端朝向袋体62插入至轴承22，从而可滑动地由支臂21支撑。[0029]在支臂21的轴承22上缘设置有压缩弹簧23。压缩弹簧23插入至保持部2的突出部分。保持部2的突出部分是自轴承22的上缘突出的部分。在保持部2的后端侧设置有凸缘(flange)24，压缩弹簧23经由该凸缘24在使保持部2自袋体62分离的方向上施力。若解除对保持部2的朝向袋体62的外力，则保持部2以自袋体62分离的方式上升。[0030]挤压体3在将保持部2往下推的方向上可滑动地支撑于线性导轨(linearguide)31。线性导轨31的轨道部分在与袋体62垂直的方向上延伸，且高度固定。在挤压体3的下端延伸设置有杆件32。杆件32面向保持部2的后端配置，且轴线与保持部2共通。挤压体3在线性导轨31上滑动下降，且通过杆件32的下端抵接于保持部2的后端，从而将朝向下降方向的外力传递至保持部2。[0031]该挤压体3具有大致口字形狀的框架33。挤压体3在框架33的背面的部分由线性导轨31支撑，在框架33的下臂33a包括杆件32。框架33的下臂33a相对于袋体62的开口面水平地延伸，且在其前端与保持部2的轴线相交的部分安装有杆件32。杆件32与下臂33a的延伸方向正交地安装，且前端及后端自下臂33a的上下突出。[0032]在框架33的上臂33b，在其上表面设置有凸轮从动件(camfollower)34。该凸轮从动件34是为了传递升降用马达4的旋转力，将挤压体3往下推而设置。升降用马达4例如为伺服马达。在升降用马达4的旋转轴上固定有圆筒凸轮41。圆筒凸轮41与凸轮从动件34抵接，凸轮从动件34沿着圆筒凸轮41的凸轮面从动。[0033]升降用马达4的旋转力通过该圆筒凸轮41与凸轮从动件34而转换为沿着线性导轨31的直线方向的力，且挤压体3—边挤压保持部2—边下降。在使保持部2下降时，升降用马达4以使保持部2与杆件32—并以规定速度下降的旋转速度及转矩(torque)使旋转轴旋转。又，以相当于以保持部2到达规定的下降终点的方式设定的旋转量使旋转轴旋转。保持部2的下降终点是电子元器件D到达袋体62的底面的地点、或自底面相距固定距离的上方地点。升降用马达4的旋转速度、转矩、及旋转量是通过对升降用马达4的供电来控制。[0034]此处，挤压体3还包括感应因承载带61与电子元器件D接触且同时持续进行插入步骤而产生的阻力的检测机构。该检测机构是检测杆件32的滑动机构、对杆件32提供推力的音圈马达37、及杆件32对于音圈马达37的相对性上升的检测部38。再者，对于音圈马达37的相对性上升换言之为杆件32对于音圈马达37的嵌入。[0035]具体而言，在框架33的下臂33a中贯通设置有相对袋体62的开口面垂直的轴承35。杆件32插入至该轴承35中，且在杆件32的轴线方向上可进行滑动。再者，在框架33的下臂33a的下表面，设置有具有使杆件32自音圈马达37进入的作用力的压缩弹簧36，以辅助音圈马达37的推力。[0036]音圈马达37固定在框架33的上臂33b的下表面。该音圈马达37支撑杆件32的后端侧，使杆件32进入及后退。音圈马达37是电流与推力存在比例关系的线性马达(linearmotor)，且如图2所示，包括磁铁37a及环状线圈(coil)37b。环状线圈37b与杆件32连结，且杆件32与环状线圈37b连动。磁铁37a接近环状线圈37b而赋予磁场。若环状线圈37b通电，贝1J环状线圈37b置于电磁场内，在环状线圈37b中产生劳仑兹力(Lorentzforce)。由此，对连接于环状线圈37b的杆件32，在朝向保持部2的方向上赋予推力。[0037]音圈马达37产生与因杆件32对保持部2传递下降力Fr而产生的对于该杆件32的反作用力Fcr相等的对抗推力Fopp。S卩，音圈马达37产生保持杆件32的平衡状态的静推力，以适当的力维持杆件32相对于音圈马达37的位置。[0038]如图3所示，检测部38包含空气口38a及开闭该空气口38a的盖部38b。空气口38a是与杆件32的进退方向正交的开口，且设置在框架33的下臂33a的上表面。盖部38b位于空气口38a的正上方，且以与杆件32连动地移动的方式自杆件32的周面突出设置。突出设置位置是在杆件32不抵接于保持部2的状态下，盖部38b被覆空气口38a的高度。如图4所示，空气口38a成为连接于气压回路38e的管道38c的一端，且在管道38c内部设置有流量计38d。作为流量计38d，例如为对管道内突出的流孔(orifice)与流孔所划分的两个区域的差压进行检测的差压检测部。[0039]该检测部38检测通过空气口38a的空气的流入或流出，从而对杆件32对于音圈马达37相对性地上升的情况进行检测。其原因在于，若杆件32上升，则盖部38b自空气口38a分尚。[0040]图5是表示具有此种机械性构成的电子元器件保持装置I的控制部5的方块图。该控制部5包括马达控制部51、VCM(VoiceCoilMotor，音圈马达)控制部52、及异常接触判定部53。[0041]马达控制部51控制升降用马达4的转矩、旋转速度、及旋转量。在升降用马达4为伺服马达的情况下，马达控制部51包括编码器(encoder)及转矩检测器。VCM控制部52控制音圈马达37的推力。异常接触判定部53基于来自检测部38的信号，判定电子元器件D对袋体62的异常接触。再者，该控制部5可设置为电子元器件保持装置I的构成的一部分，亦可设置为下述电子元器件搬运装置7的控制部75的一部分。[0042]图6是表示该控制部5的控制动作的流程图，以下，对控制部5的控制动作与电子元器件保持装置I的状态一并进行说明。[0043]首先，在将电子元器件D插入至承载带61的阶段，预先以保持部2的轴线通过袋体62的底面中心的方式，进行保持部2与袋体62的定位。具体而言，保持部2在卷带单元6的设置位置停止，且卷带单元6绕出承载带61，由此，使空的袋体62移动至保持部2的停止位置。又，在保持部2的管道内部产生负压，在保持部2的前端吸附有电子元器件D。[0044]插入阶段中，在步骤S01，马达控制部51使升降用马达4开始驱动。马达控制部51使升降用马达4产生使保持部2与杆件32—同经由该杆件32下降的力。[0045]通过该升降用马达4的驱动，圆筒凸轮41旋转，抵接于圆筒凸轮41的凸轮面的凸轮从动件34受到朝向袋体62的推力。朝向袋体62的推力成为挤压体3朝向保持部2的移动力，使得挤压体3沿着线性导轨31下降。若挤压体3下降，则杆件32抵接于保持部2的后端。马达控制部51进而使升降用马达4驱动，由此，挤压体3将保持部2往下推。保持部2抵抗压缩弹簧23的上推作用力而开始下降。[0046]此时，如图7所示，保持部2自杆件32受到下降力Fr，杆件32受到其反作用力Fcr0该反作用力Fcr在设置有将保持部2往上推的压缩弹簧23的情况下，与对于伸长方向上受到施压的压缩弹簧23的弹力的阻力相等。又，在设置有将杆件32往下推的压缩弹簧36的情况下，杆件32所受的反作用力Fcr与对于自保持部2的压缩弹簧23的弹力减去该压缩弹簧36的弹力所得的力的阻力相等。[0047]又，插入阶段中，在步骤S02，VCM控制部52使音圈马达37开始驱动，在杆件32产生与反作用力Fcr相等的对抗推力Fopp。该音圈马达37开始驱动是与升降用马达4产生推力同时，或者在杆件32即将抵接于保持部2之前。与反作用力Fcr相等的对抗推力是Fopp，且是与反作用力Fcr大小相同但方向相反的推力。严格而言，随着压缩弹簧23受到压缩，反作用力Fcr增大,但亦可通过VCM控制部52,而将对抗推力Fopp控制为与反作用力Fcr成正比地增大。[0048]此时,如图7所示,杆件32受到反作用力Fcr,但由于自音圈马达37受到对抗推力Fopp，故而作用于杆件32的力平衡，杆件32维持平衡状态，相对音圈马达37不进行进退。又，如图8所示，在维持着杆件32的平衡状态的情况下，盖部38b覆盖空气口38a，自空气口38a不产生空气的流入或流出。[0049]继而，在步骤S03中，异常接触判定部53对检测部38是否检测到杆件32上升进行判定。[0050]在杆件32维持着平衡状态时，不产生杆件32对于音圈马达37的相对性上升，故而盖部38b保持着覆盖空气口38a。因此，流量计的值无变化，检测部38将恒定值输出至异常接触判定部53。异常接触判定部53通过将预先存储的阈值与检测部38的输出值加以比较，从而确认该输出值为恒定值，且基于该确认视为未检测到杆件32上升。[0051]另一方面，存在如下情况:由于保持部2的位置、电子元器件D的保持形态、或袋体62的位置中的任一个出现位置偏移，故而如图9所示，在保持部2的下降中途，电子元器件D与承载带61接触。此时，杆件32受到一边使承载带61扭曲一边使电子元器件D与保持部2继续下降时的阻力Fd。[0052]音圈马达37仅对杆件32赋予成为|Fcr|=Fopp的对抗推力Fopp,故而成为Fopp<IFcr+Fd|，对杆件32产生上升力Ff，平衡状态打破。因此，杆件32对于音圈马达37相对性上升，在与袋体62相反的方向上移动。[0053]如图10所示，若杆件32上升，则被覆空气口38a的盖部38b自空气口38a分离。在从盖部38b打开的空气口38a中，空气流入或流出，流量计38d的值出现变化。异常接触判定部53通过将阈值与检测部38的输出值加以比较，从而确认该输出值为变化值，且基于该确认视为检测到杆件32上升。[0054]若检测到杆件32上升(步骤S03，是)，则此情况表示电子元器件D异常接触于袋体62。因此，在步骤S04中，通过其次说明的电子元器件搬运装置7来实施处理动作。[0055]另一方面，若未检测到杆件32上升(步骤S03，否)，则在步骤S05中，马达控制部51对保持部2的下降量是否达到设定值进行判定。设定值是对应于电子元器件D到达袋体62的底面。若保持部2的下降量未达设定值(步骤S05，否)，则异常接触判定部53对检测器是否检测到杆件32上升进行判定(步骤S03)，直至保持部2到达下降终点为止(步骤S05，是)。[0056]若未检测到杆件32上升(步骤S03，否)，且保持部2的下降量到达设定值(步骤S05，是)，则异常接触检测处理结束，电子元器件保持装置I实施将电子元器件D收纳于袋体62的剩余动作。即，使电子元器件D脱离保持部2，且使保持部2上升。具体而言，破坏保持部2的管道内部的真空，使电子元器件D脱离。继而，通过使圆筒凸轮41进而旋转，而解除介由凸轮从动件34对挤压体3的压入，由此，将保持部2自杆件32释放，并通过压缩弹簧23的作用力而使保持部2上升。[0057](电子元器件搬运装置7)其次，对电子元器件搬运装置7进行说明，该电子元器件搬运装置7装载有此种电子元器件保持装置1，且进行检测到异常接触时的处理。图11是表示电子元器件搬运装置7的整体构成的俯视图，图12是侧视图。[0058]电子元器件搬运装置7形成电子元器件D的搬运路径71，且依序对沿着该搬运路径71排列的各步骤处理单元74搬运电子元器件D。该搬运路径71是由转盘(turntable)72及电子元器件保持装置I而形成。转盘72是中心由搬运用马达73的旋转轴支撑，且伴随搬运用马达73的驱动而间歇性旋转规定角度。搬运用马达73例如为直驱式马达(Directdrivemotor)。[0059]电子元器件保持装置I以成为圆周等配位置的方式在该转盘72的外周缘设置多个。具体而言，将支臂21固定在转盘72的外周缘，使保持部2由该支臂21支撑。又，线性导轨31固定在转盘72的外周缘上方，挤压体3因由该线性导轨31支撑而位于转盘72的上方，升降用马达4设置在将线性导轨31固定的固定块。[0060]包含卷带单元6的各步骤处理单元74是沿着转盘72的外周缘排列。作为其它步骤处理单元74,选择性配置有送料机、位置修正单元、测试接触装置、标记单元(markingunit)、外观检查装置、分类排序机构、不良品排出装置74a等中的一种或多种。[0061]本实施方式中，在卷带单元6的后段、即转盘72的旋转方向上卷带单元6的一个下游，设置有将未捆包的电子元器件D自电子元器件检查装置排出的不良品排出装置74a。[0062]保持部2的配置间隔与转盘72的一个间距的旋转角度相等。换言之，直驱式马达是以与保持部2的配置间隔相同的间距使转盘72间歇旋转。挤压体3是设置在与保持部2的停止位置一致的部位。又，处理单元亦设置在与保持部2的停止位置一致的部位。再者，若保持部2的停止位置的数量>搬运处理单元的数量，则这些数量亦可数量不同，且亦可存在未配置有搬运处理单元的保持部2的停止位置。[0063]在此种电子元器件搬运装置7中，保持电子元器件D的保持部2伴随转盘72间歇旋转，而依序移动至设定在圆周等配位置上的停止位置。若保持部2位于停止位置，则存在于保持部2的上方的驱动部使保持部2下降。在保持部2的下降终点，存在步骤处理单元74，电子元器件D是由下降终点的步骤处理单元74而实施步骤处理。若步骤处理结束，则挤压体3使保持部2上升，转盘72使保持部2移动至下一个停止位置。[0064]在对承载带61以外的步骤处理单元74交付电子元器件D时，音圈马达37将电子元器件D推压至步骤处理单元74的平台，且将该推压负荷控制为规定值。[0065]图13是表示此种电子元器件搬运装置7中的异常接触检测时的控制部75的构成的方块图。电子元器件搬运装置7包括转盘72、电子元器件保持机构、及控制各步骤处理单元74的控制部75。该控制部75包括:通知部75a，在异常接触检测时，通知异常接触；以及排出控制部75b，排出不良制品。[0066]通知部75a通知异常接触。该通知部75a若为由通信线路连接的显示器(display)、扬声器(speaker)、打印机(printer)、或警示灯(patrollamp)等可传递至人的五官感觉的装置，则任何一者均可。又，通知部75a亦可包括存储数据的存储器，将产生异常接触的情况记录于存储器中，当使用者产生浏览要求时，可通知异常接触。[0067]排出控制部75b不将异常接触于袋体62的电子元器件D捆包于承载带61中，而使不良品排出装置74a排出该不良制品。图14是表示该排出控制部75b的动作的流程图。[0068]若异常接触判定部53中判定为电子元器件D异常接触，则在步骤Sll中，通知部75a通知异常接触。具体而言，将显示异常接触的数据写入存储器中，且将该数据输出至显示器或打印机。又，使扬声器产生警告音，使警示灯点亮。[0069]又，若在异常接触判定部53中判定为电子部品D异常接触，则排出控制部75b使即将将电子元器件D插入至袋体62中的电子元器件保持装置I的动作中止。即，在步骤S12中，通过使升降用马达4停止旋转，从而使保持部2的下降中途停止。继而，在步骤S13中，通过使挤压体3上升，释放压缩弹簧23的作用力，从而使保持部2以电子元器件D的保持状态上升。[0070]进而，排出控制部75b使异常接触的电子元器件D自电子元器件搬运装置7排出。即，在步骤S14中，使转盘72旋转一个间距，使保持着异常接触的电子元器件D的保持部2位于不良品排出装置74a的上方。继而，在步骤S15中，使保持部2下降并使电子元器件D脱离，由此，将异常接触的电子元器件D转移至不良品排出装置74a。[0071]最后，在步骤S16中，排出控制部75b对不良品排出装置74a进行控制，使异常接触的电子元器件D自电子元器件搬运装置7排出。[0072](效果)如以上说明，本实施方式的异常接触检测方法是通过升降用马达4经由杆件32使下降力Fr对保持部2进行作用，且通过音圈马达37对杆件32赋予与对于下降力Fr的杆件32所受的反作用力Fcr相等的对抗推力Fopp。而且，对响应于电子元器件D—边接触于承载带61—边下降时产生的阻力Fd的、杆件32对于音圈马达37的相对性上升进行检测，且通过检测杆件32的上升这一情况，而检测下降中途对承载带61的接触。[0073]该方法是使音圈马达37作为异常接触检测的一个构成发挥功能。即，对杆件32施加与杆件32所受的反作用力Fcr相等的对抗推力Fopp，由此，使杆件32所受的综合性负荷为O牛顿(newton),感应电子元器件D—边接触于承载带61—边下降时产生的阻力Fd。[0074]就使杆件32所受的综合性负荷为O牛顿而言，较佳为音圈马达37。音圈马达37可产生与电流值成正比的推力，且该推力与其它马达相比可以微小间距进行调节。因此，容易精度良好地使反作用力Fcr与对抗推力Fopp—致，从而可检测来自承载带67等柔软素材的较小的阻力Fd。[0075]由此，可极为简单且精度良好地检测成为电子元器件D的不良产生的一个原因的与承载带6的异常接触，从而可更确实地去除存在因该异常接触而产生不良的可能性的电子元器件D。进而，可转用或并用其它步骤处理单元74中的步骤处理中对电子元器件D赋予适当的负荷所利用的音圈马达37，从而无需特别的机械性构成。[0076]又，以往是将电子元器件D插入至袋体62中后，使该袋体62移动至检查位置，若确认为不良制品，则使袋体62返回至保持部2的位置，由保持部2拾取不良制品。又，因此，亦需要使包括保持部2的转盘72进行反向旋转之类的步骤。[0077]另一方面，在本实施方式的异常接触检测方法中，若产生杆件32的上升，则可通过中止电子元器件D对袋体62的插入，使保持部2上升，从而自袋体62取出电子元器件D。根据该异常接触检测方法，在产生电子元器件D异常接触时，无需经由该以往的电子元器件D的排除步骤。[0078]因此，关于与异常接触相关的不良制品的排除步骤，可飞跃性地缩短所需时间。又，对于环绕搬运路径71的其它电子元器件D，可将排除与异常接触相关的不良制品的步骤造成的时间性影响充分减少。[0079]再者，亦存在因异常接触以外的因素而使电子元器件D产生不良的情形，故而，可并用该以往的检查方式。又，若产生杆件32的上升，则亦可通知下降中途的电子元器件D对承载带61的接触，由使用者将电子元器件D取出。[0080](其它步骤处理单元74)可以此方式检测来自承载带61等柔软素材的较小阻力Fd的本实施方式的异常接触检测方法极其适于检测捆包时的电子元器件D对承载带61的异常接触。但是，当然亦可应用于对其他步骤处理单元交付电子元器件D时。[0081]例如，图15是送料机的局部放大图。图15所示的送料机是将电子元器件D供给至电子元器件搬运装置7的单元。该送料机包括搬运路径81及中转台82。[0082]搬运路径81是在相对其延伸方向倾斜的方向上摆动，且通过该摆动作用而使电子元器件D移动至终端为止。中转台82是将搬运路径81上的电子元器件D中转至保持部2的排放机构，且自搬运路径81获取电子元器件D，通过平行移动而使电子元器件D位于保持部2的停止位置。该中转台82是与搬运路径81的终端对向地配置。在中转台82的前端形成有电子元器件D的载置面82a。在中转台82上以面向载置面82a的方式形成有比载置面82a高出一阶的障壁82b。[0083]在该送料机中，障壁82b具有一个使载置于载置面82a的电子元器件D的姿势一致的功能，但亦偶尔地产生如下的情形:在搬运路径81与中转台82的电子元器件D交付时、或中转台82平行移动时，电子元器件D卡在或倚靠在障壁82b上。[0084]此时，电子元器件D的最高部分与电子元器件D未卡在障壁82b上而正确地载置在载置面82a上时相比变高。因此，以正确地载置在载置面82a为前提而下降的保持部2在下降中途与电子元器件D异常接触。[0085]因此，电子元器件保持装置I中，响应于保持部2的下降过程中产生的该异常接触引起的阻力R，杆件32对于音圈马达37相对性上升，从而由检测部38检测到该上升。因此，可对电子元器件D与保持部2的碰撞进行检测，可抽出可能因该碰撞成为不良的电子元器件D。[0086]又，图16是位置修正单元的局部放大图。该位置修正单元包括修正电子元器件D的姿势的导引构件83。在导引构件83中形成有越接近底部则变得越窄的角锥台状的孔83a。若通过保持部2而将电子元器件D插入至导引构件83的孔83a中，则电子元器件D的姿势将结合孔83a的内壁形状而变化。通过引起该姿势变化，从而位置修正单元将电子元器件D修正为所期望的姿势。[0087]在将电子元器件D插入至该导引构件83中时，预先调整插入电子元器件D的深度。换言之，结合电子元器件D的大小，预先决定保持部2的下降量。然而，偶尔将产生如下的情况:由于电子元器件D的大小或厚度的不均、或电子元器件D由保持部2保持的姿势的偏差等，导致导引构件83与电子元器件D异常接触。[0088]此时，为了将电子元器件D插入至比其大小窄的孔径中，而产生相较使用导引构件83的内壁的姿势变化时产生的通常的阻力大的异常阻力R。[0089]因此，在电子元器件保持装置I中，通过升降用马达4，经由杆件32使下降力对保持部2进行作用。该下降力中，预先加上使用导引构件83的内壁的姿势变化时产生的通常的阻力。又，通过音圈马达37，对杆件32赋予与对于该下降力的杆件32所受的反作用相等的对抗推力。[0090]继而，响应于保持部2的下降过程中产生的异常接触引起的阻力R，杆件32对于音圈马达37相对性上升，且通过检测部38来检测该上升。因此，可检测电子元器件D与导引构件83的碰撞，抽出可能因该碰撞变为不良的电子元器件D。[0091]又，图17是测试接触装置的局部放大图。测试接触装置是使电子元器件D通电从而测试电特性的装置，且在内部包括露出通电用电极的插口(socket)84。[0092]在该测试接触装置中，偶尔亦会产生如下情形:在将电子元器件D插入至插口84内时，电子兀器件D卡在或倚靠在插口84的内侧壁。[0093]此时，电子元器件D的最高部分与正确地插入至插口84内时相比变高。因此，以正确地插入至插口84中为前提而下降的保持部2在下降中途与电子元器件D异常接触。[0094]因此，在电子元器件保持装置I中，响应于保持部2的下降过程中产生的该异常接触引起的阻力R，杆件32对于音圈马达37相对性上升，从而由检测部38检测该上升。因此，可检测电子元器件D与保持部2的碰撞，从而抽出可能因该碰撞变为不良的电子元器件D0(其它实施方式)[0095]以上对本发明的实施方式进行了说明，但可在不脱离发明精神的范围内实施各种省略、替换、变更。而且，该实施方式或其变形包含于发明的范围或精神内，并且包含于权利要求中记载的发明及其均等的范围内。[0096]例如，在本实施方式中，以使用伺服马达作为升降用马达4的情形为例进行了说明，但作为马达，可应用步进马达(steppingmotor)等公知的任一者。又，作为保持部2,采用吸附嘴为例进行了说明，但亦可配置静电吸附方式、白努利吸盘(Bernoullichuck)方式、或机械性夹持电子元器件D的夹盘机构。[0097]进而，可包括压缩弹簧23、36两者，亦可包括任一者，亦可两者均不包括，且与该方式对应地产生与杆件32受到的反作用力Fcr相等的对抗推力Fopp即可。即，所谓下降力Fr包含仅使无压缩弹簧23、36的保持部2下降的力、抵抗压缩弹簧23仅使保持部2下降的力、或抵抗压缩弹簧23、36的弹力差值仅使保持部2下降的力，反作用力Fcr是与该下降力Fr对应的意思。[0098]又，电子元器件保持装置I的控制部5既可由电子元器件保持装置I所包括，亦可使电子元器件搬运装置7所包括的控制部75进行同样的处理。[0099]进而，列举了在一个转盘72中配置有各种步骤处理单元74的情形为例，但作为搬运机构，既可为直线搬运方式，又，亦可由多个转盘72构成一个搬运路径71。各种步骤处理单元74并不限定于所述种类，可与各种步骤处理单元74进行替换，亦可适当变更配置顺序。符号说明[0100]1:电子元器件保持装置2:保持部21:支臂22:轴承23:压缩弹簧24:凸缘25:接头3:挤压体31:线性导轨32:杆件33:框架33a:下臂33b:上臂34:凸轮从动件35:轴承36:压缩弹簧37:音圈马达37a:磁铁37b:环状线圈38:检测部38a:空气口38b:盖部38c:管道38d:流量计38e:气压回路4:升降用马达41:圆筒凸轮5:控制部51:马达控制部52=VCM控制部53:异常接触判定部6:卷带单元61:承载带62:袋体7:电子元器件搬运装置71:搬运路径72:转盘73:搬运用马达74:步骤处理单元74a:不良品排出装置75:控制部75a:通知部75b:排出控制部81:搬运路径82:中转台82a:载置面82b:障壁83:导引构件83a:孔84:插口D:电子元器件【权利要求】1.一种异常接触检测方法，其是电子元器件保持装置对电子元器件的异常接触检测方法，其中所述电子元器件保持装置具有升降用马达，所述升降用马达使由音圈马达支撑的杆件与所述电子元器件的保持机构经由该杆件一并下降，所述异常接触检测方法的特征在于:通过所述升降用马达，经由所述杆件使下降力对所述保持机构进行作用，通过所述音圈马达，对所述杆件赋予与相对于所述下降力的所述杆件所受的反作用相等的对抗推力，对响应于所述保持机构的下降过程中产生的异常阻力的、所述杆件对于所述音圈马达的相对性的上升进行检测，且通过对所述杆件的上升进行检测，而检测在所述下降的中途对所述电子元器件的异常接触。2.如权利要求1所述的异常接触检测方法，其特征在于，使保持所述电子元器件的所述保持机构朝向承载带的袋体下降，对响应于所述电子元器件一边接触所述承载带一边下降时所产生的阻力的、所述杆件对于所述音圈马达的相对性的上升进行检测，且通过对所述杆件的上升进行检测，而检测在所述下降的中途对所述承载带的接触。3.如权利要求2所述的异常接触检测方法，其特征在于，若产生所述杆件的所述上升，则中止所述电子元器件对所述袋体的插入，使所述保持机构上升，从而自所述袋体取出所述电子元器件。4.如权利要求2或3所述的异常接触检测方法，其特征在于，若产生所述杆件的所述上升，则将下降中途的所述电子元器件对所述承载带的接触进行通知。5.一种电子元器件保持装置，将电子元器件进行交付，其特征在于，包括:保持机构，能一边保持所述电子元器件，一边通过外力朝向交付部位进行升降；升降用马达，产生所述保持机构的下降力；杆件，相对于所述保持机构能升降地设置，且与所述保持机构抵接，将所述升降用马达产生的所述下降力向所述保持机构传递；音圈马达，对所述杆件赋予对抗推力，所述对抗推力与因作用于所述保持机构的所述下降力而产生的朝向所述杆件的反作用相等；以及检测机构，对响应于所述保持机构的下降过程中产生的异常阻力的、所述杆件对于所述音圈马达的相对性的上升进行检测。6.如权利要求5所述的电子元器件保持装置，其特征在于，所述保持机构一边保持所述电子元器件，一边朝向作为所述交付部位的承载带的袋体下降，且所述检测机构对响应于所述电子元器件一边接触所述承载带一边下降时产生的阻力的、所述杆件对于所述音圈马达的相对性的上升进行检测。7.如权利要求6所述的电子元器件保持装置，其特征在于，所述保持机构在由所述检测机构检测到所述杆件的所述上升时，中止所述电子元器件对所述袋体的插入，使所述保持机构再上升，从而自所述袋体取出所述电子元器件。8.一种电子元器件搬运装置，将电子元器件搬运至排列于搬运路径上的各种步骤处理单元，并且将所述电子元器件交付至所述步骤处理单元，其特征在于，包括:保持机构，能一边保持所述电子元器件，一边通过外力而升降；搬运用马达，使所述保持机构沿着所述搬运路径进行环绕，并且使所述保持机构在所述步骤处理单元的交付部位上方停止；升降用马达，产生所述保持机构的下降力；杆件，能升降地设置于停止在所述交付部位上方的保持机构的上方，且与所述保持机构抵接，将所述升降用马达产生的所述下降力向所述保持机构传递；音圈马达，对所述杆件赋予对抗推力，所述对抗推力与因作用于所述保持机构的所述下降力而产生的对所述杆件的反作用相等；以及检测机构，对响应于所述保持机构的下降过程中产生的异常阻力的、所述杆件对于所述音圈马达的相对性的上升进行检测。9.如权利要求8所述的电子元器件搬运装置，其特征在于，所述保持机构一边保持所述电子元器件，一边朝向作为所述交付部位的承载带的袋体下降，且所述检测机构对响应于所述电子元器件一边接触所述承载带一边下降时产生的阻力的、所述杆件对于所述音圈马达的相对性的上升进行检测。10.如权利要求9所述的电子元器件搬运装置，其特征在于，还包括电子元器件的不良品排出机构，且所述保持机构在由所述检测机构检测到所述杆件的所述上升时，中止所述电子元器件对所述袋体的插入，使所述保持机构再上升，从而自所述袋体取出所述电子元器件，向所述不良品排出机构移送所述电子元器件。11.如权利要求9或10所述的电子元器件搬运装置，其特征在于，还包括通知机构，若产生所述杆件的所述上升，则所述通知机构将下降中途的所述电子元器件对所述承载带的接触进行通知。【文档编号】B65B15/04GK104136325SQ201280070781【公开日】2014年11月5日申请日期:2012年2月28日优先权日:2012年2月28日【发明者】南日出夫申请人:上野精机株式会社