直接充装mo源的装置制造方法
【专利摘要】本发明提供一种直接充装MO源的装置，包括MO源储罐和MO源钢瓶，所述MO源钢瓶上设置有进气管和出气管，所述MO源储罐设置有出料口，所述MO源储罐的出料口通过三通接头连接在进气管上，所述MO源钢瓶内部设置有液位探头，所述液位探头通过PLC控制器连接在MOCVD信号接收器上，所述PLC控制器与三通接头电连接，通过液位探头和MOCVD信号接收器探测到的信号对三通接头进行控制。无需将MO源钢瓶拆卸更换，通过三通接头将MO源钢瓶和MO源储罐连接在一起，并通过惰性气体将MO源储罐中的MO源带入MO源钢管中，解决了MO源充装困难的问题。
【专利说明】直接充装MO源的装置
【技术领域】
[0001 ] 本发明涉及一种充装装置，尤其一种可直接对MO源进行充装工作的装置。
【技术领域】
[0002]MO源在MOCVD设备中使用非常特殊，物料在使用时需要保持恒温(±0.1 °C )，恒压(± ltorr)，稳定气体流量(± I seem)。MO源存储在钢瓶(一般称为MO源钢瓶)中，惰性气体(一般用氢气或者氮气)通过深入钢瓶内部的管道进入MO源钢瓶中，经过MO源时产生鼓泡效应，MO源在鼓泡过程中大量蒸发，形成MO源的饱和蒸汽与惰性气体混合输送出来。而目前在对于MO源进行充装的领域内，并没有一种较为有效的手段在不拆卸MO源钢瓶的情况下对其进行充装，而拆卸MO源钢瓶进行更换耗费时间，工作效率低下。因此，解决MO源充装困难的问题就显得尤为重要了。
【发明内容】
[0003]本发明的目的是提供了一种可直接对MO源进行充装工作的装置，无需将MO源钢瓶拆卸更换，通过三通接头将MO源钢瓶和MO源储罐连接在一起，并通过惰性气体将MO源储罐中的MO源带入MO源钢管中，解决了 MO源充装困难的问题。
[0004]为了解决上述问题，本发明提供一种直接充装MO源的装置，包括MO源储罐和MO源钢瓶，所述MO源钢瓶上设置有进气管和出气管，所述MO源储罐设置有出料口，所述MO源储罐的出料口通过三通接头连接在进气管上，所述MO源钢瓶内部设置有液位探头，所述液位探头通过PLC控制器连接在MOCVD信号接收器上，所述PLC控制器与三通接头电连接，通过液位探头和MOCVD信号接收器探测到的信号对三通接头进行控制。
[0005]进一步改进在于:所述MO源储罐的数量为两个，一个使用，另一个备用，所述两个MO源储罐的出料口同时连接在三通接头上，所述MO源储罐使用惰性气体进行充装载体。
[0006]进一步改进在于:所述两个MO源储罐为一组，每组MO源储罐可充装三个MO源钢瓶，所述每个MO源钢瓶放置在恒温水浴槽中。
[0007]进一步改进在于:所述MO源储罐内部同样设置有液位探头，所述MO源储罐上设置有警报灯，所述液位探头电连接在警报灯上。
[0008]在MO源钢瓶上安装I个液位探头。设置I个高位报警点和I个低位报警点。高位报警点用于控制充装。低于低位报警点时提醒用户进行设备检查。
[0009]液位探头需要满足:探头与MO源接触部分均是316L材质不锈钢，探头接口是1/2”VCR接口，信号响应及时(< ls)，液位测量精度高(≤2mm)。
[0010]在不改变现有MO源钢瓶结构时，在MO源钢瓶的进出口处增加三通管道接头和阀门，通过1/4” VCR接头与MO源钢瓶相连。
[0011]MO源储槽与MOCVD设备上MO源钢瓶通过管道连接，管道上采用气动隔膜阀，并通过PLC控制器进行控制，根据设备使用状态，实时自动补充MO源。
[0012]本发明的有益效果是:通过液位探头对MO源钢瓶中的MO源量进行测量，并在MO源不足时通过PLC控制器对三通接头进行控制，使MO源储罐中的MO源通过惰性气体带入MO源钢瓶中，解决了 MO源钢瓶无法充装，必须拆卸更换的问题，提高了工作效率。
【专利附图】
【附图说明】
[0013]图1是本发明的示意图。
[0014]其中:1-MO源储罐，2-M0源钢瓶，3-进气管，4-出气管，5-三通接头，6-液位探头，7-PLC控制器，8-M0CVD信号接收器，9-出料口，10-恒温水浴槽，11-警报灯。
【具体实施方式】
[0015]为了加深对本发明的理解，下面将结合实施例对本发明作进一步详述，该实施例仅用于解释本发明，并不构成对本发明保护范围的限定。
[0016]如图1所示，本实施例提供了 一种直接充装MO源的装置，包括MO源储罐I和MO源钢瓶2，所述MO源钢瓶2上设置有进气管3和出气管4，所述MO源储罐I设置有出料口9，所述MO源储罐I的出料口 9通过三通接头5连接在进气管3上，所述MO源钢瓶2内部设置有液位探头6，所述液位探头6通过PLC控制器7连接在MOCVD信号接收器8上，所述PLC控制器7与三通接头5电连接，通过液位探头6和MOCVD信号接收器8探测到的信号对三通接头5进行控制。所述MO源储罐I的数量为两个，一个使用，另一个备用，所述两个MO源储罐I的出料口 9同时连接在三通接头5上，所述MO源储罐I使用惰性气体进行充装载体。所述两个MO源储罐为I 一组，每组MO源储罐I可充装三个MO源钢瓶2，所述每个MO源钢瓶2放置在恒温水浴槽10中。所述MO源储罐I内部同样设置有液位探头6，所述MO源储罐I上设置有警报灯11，所述液位探头6电连接在警报灯11上。通过液位探头6对MO源钢瓶2中的MO源量进行测量，并在MO源不足时通过PLC控制器7对三通接头5进行控制，使MO源储罐I中的MO源通过惰性气体带入MO源钢瓶2中，解决了 MO源钢瓶无法充装，必须拆卸更换的问题，提高了工作效率。
【权利要求】
1.一种直接充装MO源的装置，其特征在于:包括MO源储罐(I)和MO源钢瓶(2)，所述MO源钢瓶(2)上设置有进气管(3)和出气管(4)，所述MO源储罐(I)设置有出料口(9)，所述MO源储罐(I)的出料口( 9 )通过三通接头(5 )连接在进气管(3 )上，所述MO源钢瓶(2 )内部设置有液位探头(6 )，所述液位探头(6 )通过PLC控制器(7 )连接在MOCVD信号接收器(8)上，所述PLC控制器(7)与三通接头(5)电连接，通过液位探头(6)和MOCVD信号接收器(8)探测到的信号对三通接头(5)进行控制。
2.如权利要求1所述的直接充装MO源的装置，其特征在于:所述MO源储罐(I)的数量为两个，一个使用，另一个备用，所述两个MO源储罐(I)的出料口( 9 )同时连接在三通接头(5)上，所述MO源储罐(I)使用惰性气体进行充装载体。
3.如权利要求1所述的直接充装MO源的装置，其特征在于:所述两个MO源储罐(I)为一组，每组MO源储罐(I)可充装三个MO源钢瓶(2 )，所述每个MO源钢瓶(2 )放置在恒温水浴槽(10)中。
4.如权利要求1-3任意一项所述的直接充装MO源的装置，其特征在于:所述MO源储罐(I)内部同样设置有液位探头(6 )，所述MO源储罐(I)上设置有警报灯(11)，所述液位探头(6)电连接在警报灯(11)上。
【文档编号】B67C3/10GK103922257SQ201410168849
【公开日】2014年7月16日 申请日期:2014年4月25日 优先权日:2014年4月25日
【发明者】俞冬雷, 武利曙, 徐昕 申请人:安徽亚格盛电子新材料有限公司