周转箱的制作方法
【专利摘要】本实用新型涉及一种周转箱，包括：箱体和至少一个卡合单元；所述箱体具有一用于取放物料的开口；所述卡合单元的两端均设置有弹性部件，所述卡合单元靠近所述开口并通过所述弹性部件与所述箱体连接。在本实用新型提供的周转箱中，在箱体靠近开口的位置处增设至少一个卡合单元，通过所述卡合单元卡住所述周转箱内的晶圆，能够避免晶圆在运输或操作过程中从所述周转箱的开口中滑出。
【专利说明】周转箱
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及集成电路制造领域，特别涉及一种周转箱。
【背景技术】
[0002]在集成电路制造过程中通常使用周转箱(cassette，也称卡匣)进行物料如晶圆的存储和运输。为了便于取放，现有的周转箱通常采用开放式结构。
[0003]图1为现有技术的周转箱的结构示意图。如图1所示,现有的周转箱100包括底板Iio和侧板120，所述侧板120围绕于所述底板110的四周并与所述底板110固定形成箱体，所述侧板120中相对的两面分别设置有多个插槽122，所述多个插槽122相互配合用以放置多个晶圆，所述底板110相对的一侧为开口 130，所述开口 130用于取放晶圆。通常的，所述开口 130比所述底板110略宽。
[0004]使用所述晶圆周转箱100时，将晶圆放置于所述侧板120与底板110配合形成的箱体内部，并插入所述插槽122中以避免相互碰撞。但是由于所述晶圆周转箱100不是封闭式结构，其在运输和操作过程中一旦出现倾斜，晶圆容易从所述开口 130中滑出，造成晶圆损伤或破片。
[0005]基此，亟需提供一种可防止所存放的晶圆滑出而造成晶圆破损的周转箱。
实用新型内容
[0006]本实用新型的目的在于提供一种周转箱，以解决现有技术中晶圆容易从晶圆周转箱中滑出而造成晶圆破损的问题。
[0007]为解决上述问题，本实用新型提供一种周转箱，所述周转箱包括:箱体和至少一个卡合单元；所述箱体具有一用于取放物料的开口 ；所述卡合单元的两端均设置有弹性部件，所述卡合单元靠近所述开口并通过所述弹性部件与所述箱体连接。
[0008]可选的，在所述的周转箱中，所述卡合单元包括卡合杆、第一控制杆和第二控制杆；所述第一控制杆和第二控制杆垂直设置且分别与所述卡合杆固定。
[0009]可选的，在所述的周转箱中，所述第一控制杆位于所述卡合杆的中部，所述第二控制杆位于所述卡合杆的一端。
[0010]可选的，在所述的周转箱中，所述箱体包括矩形底板和侧板，所述侧板围绕于所述矩形底板的四周并与所述矩形底板固定；所述侧板上设置有至少一个第一滑槽和至少一个第二滑槽，所述第一滑槽和第二滑槽分别位于相邻的面，所述第一控制杆和第二控制杆分别沿着所述第一滑槽和第二滑槽移动。
[0011 ] 可选的，在所述的周转箱中，所述侧板中相对的两面分别设置有多个插槽，所述多个插槽相互配合用于放置多个晶圆。
[0012]可选的，在所述的周转箱中，所述卡合杆具有多个V型卡槽，所述多个V型卡槽的间距和宽度与所述多个插槽的间距和宽度相等。
[0013]可选的，在所述的周转箱中，所述多个插槽位于所述第一滑槽的同一面和相对面。[0014]可选的，在所述的周转箱中，所述第一滑槽和第二滑槽的数量均与所述卡合单元的数量均为2N个，N为正整数。
[0015]可选的，在所述的周转箱中，所述卡合单元的数量为两个，所述第二滑槽的数量为两个且均设置于同一面上，所述第一滑槽的数量为两个且分别设置于相对的面上。
[0016]可选的，在所述的周转箱中，所述第一滑槽与其相邻的第一滑槽和第二滑槽均连为一体。
[0017]综上所述，在本实用新型提供的周转箱中，在箱体靠近开口的位置处增设至少一个卡合单元，通过所述卡合单元卡住所述周转箱内的晶圆，能够避免晶圆在运输或操作过程中从所述周转箱的开口中滑出。
【专利附图】
【附图说明】
[0018]图1是现有技术的晶圆周转箱的结构示意图；
[0019]图2是本实用新型实施例一的周转箱的结构示意图；
[0020]图3是本实用新型实施例一的卡合单元的结构示意图
[0021]图4是本实用新型实施例二的箱体的结构示意图；
[0022]图5是本实用新型实施例二的周转箱的结构示意图； [0023]图6是本实用新型实施例三的周转箱的结构示意图。
【具体实施方式】
[0024]以下结合附图和具体实施例对本实用新型提出的周转箱作进一步详细说明。根据下面说明和权利要求书，本实用新型的优点和特征将更清楚。需说明的是，附图均采用非常简化的形式且均使用非精准的比例，仅用以方便、明晰地辅助说明本实用新型实施例的目的。
[0025]【实施例一】
[0026]请结合参考图2和图3，其为本实用新型实施例的周转箱的结构示意图。如图2所示，所述周转箱200包括:箱体210和至少一个卡合单元220 ;所述箱体210具有一用于取放物料的开口 213 ;所述卡合单元220的两端均设置有弹性部件230，所述卡合单元220靠近所述开口 213并通过所述弹性部件230与所述箱体210连接。
[0027]具体的，所述卡合单元220包括卡合杆221、第一控制杆222和第二控制杆223，所述卡合杆221的形状为长条状，所述第一控制杆222和第二控制杆223垂直设置且分别与所述卡合杆221固定。其中，所述第一控制杆222位于所述卡合杆221的中部，所述第二控制杆223位于所述卡合杆221的一端。如此，通过所述第一控制杆222和第二控制杆223分别对所述卡合杆22施加作用力，可以使得所述卡合杆22前后左右移动。
[0028]为了方便操作，所述第一控制杆222靠近所述第二控制杆223，操作人员的一个手可以同时握住所述第一控制杆222和第二控制杆223，通过单手可以推动第一控制杆222和所述第二控制杆223。
[0029]本实施例中，所述第一控制杆222的长度dl为15mm，所述第二控制杆223的长度d2为20mm,所述卡合杆221的长度d3为160mm。
[0030]请继续参考图2，所述箱体210包括矩形底板211和侧板212，所述侧板212围绕于所述矩形底板211的四周并与所述矩形底板211固定，所述矩形底板211相对的一侧为开口 213，所述开口 213用于取放晶圆。所述开口 213比所述形底板211略宽，这样便于存放圆形的晶圆。
[0031]具体地说，所述侧板212包括依次连接的四个面，所述侧板212上具有至少一个第一滑槽212a和至少一个第二滑槽212b，所述第一滑槽212a和第二滑槽212b分别位于所述侧板212相邻的面上，且均靠近所述开口 213。推动所述第一控制杆222和第二控制杆223时，所述卡合单元220的卡合杆221能够分别沿着所述第一滑槽212a和第二滑槽212b移动。
[0032]优选的，所述第一滑槽212a和第二滑槽212b的宽度相等，所述第一滑槽212a和第二滑槽212b与所述底板210的距离相同。所述第一滑槽212a和第二滑槽212b的数量均与所述卡合单元220的数量相等。所述第一滑槽212a和第二滑槽212b连为一体。
[0033]所述侧板212中相对的两面分别设置有多个插槽212c，所述多个插槽212c通常位于所述第一滑槽212a的同一面和相对面，所述多个插槽212c相互配合用于放置多个晶圆。所述卡合单元220的卡合杆221具有多个V型卡槽，所述多个V型卡槽的深度d5和间距d4与所述多个插槽212c的深度和间距相同。
[0034]请继续参考图2，所述卡合单元220的两端设置有弹性部件230，所述卡合单元220通过所述弹性部件230与所述侧板212实现弹性连接，所述卡合单元220的卡合杆221位于所述箱体210的内部，所述卡合单元220的第一控制杆222和第二控制杆223分别设置于所述第一滑槽212a和第二滑槽212b中，从所述箱体210的外部推动所述第一控制杆222和第二控制杆223，能 够使得所述卡合杆221前后左右移动，其中，所述第一控制杆222沿着所述第一滑槽212a来回移动，所述第二控制杆223沿着所述第二滑槽212b来回移动，所述第一控制杆222的长度dl和所述第二控制杆223的长度d2决定了所述卡合杆221的移动范围。本实施例中，所述弹性部件230为弹簧。
[0035]使用所述周转箱200时，通过所述开口 213将多个晶圆分别插入多个相对而设的插槽212c中。为了防止晶圆在运输和操作过程中从所述周转箱200的开口 213中滑出，作业人员同时按压所述第一控制杆222和第二控制杆223，使得所述卡合杆221的多个V型卡槽与晶圆接触并卡住晶圆。不需要对晶圆进行运输和操作时，作业人员松开所述第一控制杆222和第二控制杆223，所述卡合杆221在弹性部件230的作用下自动回到原始位置，不与晶圆接触。
[0036]本实施例中,所述周转箱200包括一个卡合单元220,相应的,所述箱体210上包括一个第一滑槽212a和一个第二滑槽212b。
[0037]【实施例二】
[0038]请结合参考图4和图5，其为本实用新型实施例二的周转箱的结构示意图。如图4和图5所示，本实施例与实施例一区别在于，所述卡合单元220的数量为两个，所述箱体210上设置有两个第一滑槽212a和两个第二滑槽212b，两个第二滑槽212b均设置于侧板212的同一面上，两个第一滑槽212a分别设置于侧板212的两个相对的面上。两个卡合单元220相对设置且均通过弹性部件230与所述箱体210固定，所述卡合单元220的第一控制杆222和第二控制杆223分别设置于所述第一滑槽212a和第二滑槽212b中，从所述箱体210的外部推动所述第一控制杆222和第二控制杆223，能够使得所述卡合杆221前后左右移动，不对所述卡合单元220的第一控制杆222和第二控制杆223施加压力时，两个卡合单元220的卡合杆221均处于原始位置，不与所述周转箱200内的晶圆接触，分别对两个卡合单元220的第一控制杆222和第二控制杆223施加压力时，两个卡合杆221分别沿着所述第一滑槽212a和第二滑槽212b移动并靠近晶圆。
[0039]为了防止晶圆在运输和操作过程中从所述周转箱200的开口 213中滑出，作业人员推动两个卡合单元220的第一控制杆222和第二控制杆223，使得两个卡合杆221的多个V型卡槽分别从晶圆的两侧卡住晶圆。
[0040]本实施例中，采用两个相对设置的卡合单元220，其可靠性更高。
[0041]【实施例三】 [0042]请参考图6，其为本实用新型实施例三的周转箱的部分结构示意图。
[0043]如图6所示，本实施例与实施例一区别在于，所述卡合单元220的数量为四个，所述箱体210上设置有四个第一滑槽212a和四个第二滑槽212b。四个第一滑槽212a分成两组，每组两个，分别设置于侧板的相对的面上。同样的，四个第二滑槽212b也分成两组，每组两个，分别设置于侧板的相对的面上。并且，所述第一滑槽212a和第二滑槽212b设置于不同的面。四个卡合单元220均通过弹簧与所述箱体210固定，每个卡合单元220的第一控制杆222和第二控制杆223均设置于相邻的第一滑槽212a和第二滑槽212b中，从所述箱体210的外部推动所述第一控制杆222和第二控制杆223，能够使得所述卡合单元220的卡合杆221前后左右移动。
[0044]为了防止晶圆在运输和操作过程中从所述周转箱200的开口 213中滑出，作业人员推动四个卡合单元220的第一控制杆222和第二控制杆223，使得四个卡合杆221上的V型卡槽分别从晶圆的两侧卡住晶圆，进一步提高可靠性。
[0045]综上可见，在本实用新型实施例提供的周转箱中，在箱体靠近开口的位置处增设至少一个卡合单元，通过所述卡合单元卡住周转箱内的晶圆，能够避免晶圆在运输或操作过程中从周转箱的开口中滑出，从而降低晶圆破损的风险。
[0046]上述描述仅是对本实用新型较佳实施例的描述，并非对本实用新型范围的任何限定，本实用新型领域的普通技术人员根据上述揭示内容做的任何变更、修饰，均属于权利要求书的保护范围。
【权利要求】
1.一种周转箱，其特征在于，包括:箱体和至少一个卡合单元；所述箱体具有一用于取放物料的开口 ；所述卡合单元的两端均设置有弹性部件，所述卡合单元靠近所述开口并通过所述弹性部件与所述箱体连接。
2.如权利要求1所述的周转箱，其特征在于，所述卡合单元包括卡合杆、第一控制杆和第二控制杆，所述第一控制杆和第二控制杆垂直设置且分别与所述卡合杆固定。
3.如权利要求2所述的周转箱，其特征在于，所述第一控制杆位于所述卡合杆的中部，所述第二控制杆位于所述卡合杆的一端。
4.如权利要求2所述的周转箱，其特征在于，所述箱体包括矩形底板和侧板，所述侧板围绕于所述矩形底板的四周并与所述矩形底板固定；所述侧板上设置有至少一个第一滑槽和至少一个第二滑槽，所述第一滑槽和第二滑槽分别位于相邻的面，所述第一控制杆和第二控制杆分别沿着所述第一滑槽和第二滑槽移动。
5.如权利要求4所述的周转箱，其特征在于，所述侧板中相对的两面分别设置有多个插槽，所述多个插槽相互配合用于放置多个晶圆。
6.如权利要求5所述的周转箱，其特征在于，所述卡合杆具有多个V型卡槽，所述多个V型卡槽的间距和宽度与所述多个插槽的间距和宽度相等。
7.如权利要求5所述的周转箱，其特征在于，所述多个插槽位于所述第一滑槽的同一面和相对面。
8.如权利要求4所述的周转箱，其特征在于，所述第一滑槽和第二滑槽的数量均与所述卡合单元的数量均为2N个，N为正整数。
9.如权利要求8所述的周转箱，其特征在于，所述卡合单元的数量为两个，所述第二滑槽的数量为两个且均设置于同一面上，所述第一滑槽的数量为两个且分别设置于相对的面上。
10.如权利要求8所述的周转箱，其特征在于，所述第一滑槽与其相邻的第一滑槽和第二滑槽均连为一体。
【文档编号】B65D25/10GK203806313SQ201420234673
【公开日】2014年9月3日 申请日期:2014年5月8日 优先权日:2014年5月8日
【发明者】张学良, 高海林 申请人:中芯国际集成电路制造(北京)有限公司