一种不易变形的链式刻蚀机送料机构的制作方法

本实用新型属于链式刻蚀机技术领域，具体涉及一种不易变形的链式刻蚀机送料机构。

背景技术：

晶硅太阳能电池生产过程包括有制绒-扩散-刻蚀-pecvd镀膜-丝网印刷-测试分选等，刻蚀工序的作用是去掉硅片背面和硅片侧面的pn结，达到正面与背面绝缘的目的，所采用的设备一般是链式刻蚀机。现有的链式刻蚀机虽然是放置在恒温车间中，但是刻蚀槽两端的支架在辊筒转动的动力作用以及刻蚀反应产生的温度变化作用下还是容易变形，导致输送硅片的辊筒水平异常，辊筒之间高度发生错位，进而导致硅片在输送时不稳定，影响硅片的刻蚀效果。

技术实现要素：

为解决上述技术问题，本实用新型采用的技术方案是：一种不易变形的链式刻蚀机送料机构，所述链式刻蚀机包括有刻蚀槽，送料机构安装在刻蚀槽中，所述送料机构包括有若干依次间隔连接的送料单元，每个送料单元包括有若干相互平行的辊筒以及位于辊筒两侧的支撑板，支撑板包括有固定在刻蚀槽底面上的底座部分和与底座部分一体连接的挡板部分，辊筒的两端分别可转动的安装在挡板部分，辊筒的一端穿过挡板部分后固定安装有齿轮，齿轮通过驱动机构驱动转动，相邻送料单元之间通过位于送料单元两侧的连接板固定连接。

作为上述技术方案的优选，所述连接板包括有嵌入部和位于嵌入部两侧的安装耳构成，底座部分的两端分别设有卡槽，相邻两个底座部分的卡槽拼接形成供嵌入部嵌入的连接槽，嵌入部嵌入连接槽后安装耳分别与底座部分通过螺栓连接。

作为上述技术方案的优选，所述支撑板的上端设有若干溢流口，溢流口与辊筒一一对应。

作为上述技术方案的优选，所述相邻溢流口之间形成凸柱，相邻支撑板之间通过固定套连接，固定套套在两个支撑板上相互靠近的两个凸柱上。

作为上述技术方案的优选，所述螺栓、固定套与支撑板的材质相同。

作为上述技术方案的优选，所述驱动机构包括有由电机驱动转动的齿轮轴，齿轮轴垂直于辊筒，齿轮轴上安装有若干第一锥形齿轮，辊筒固定安装的齿轮为第二锥形齿轮，第一锥形齿轮与第二锥形齿轮一一对应，第一锥形齿轮与对应的第二锥形齿轮齿合。

本实用新型的有益效果是：本实用新型的链式刻蚀机送料机构，可以有效减少送料机构因变形造成的水平异常情况，相邻两个送料单元之间互相牵连，不易变形，提高硅片刻蚀过程输送的稳定性，提高刻蚀效果。

附图说明

图1是本实用新型的截面示意图；

图2是本实用新型另一角度的截面示意图；

具体实施方式

下面将结合附图对本实用新型的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

如图1-2所示，一种不易变形的链式刻蚀机送料机构，所述链式刻蚀机包括有刻蚀槽1，送料机构安装在刻蚀槽1中，所述送料机构包括有若干依次间隔连接的送料单元2，每个送料单元包括有若干相互平行的辊筒3以及位于辊筒3两侧的支撑板，支撑板3包括有固定在刻蚀槽1底面上的底座部分4和与底座部分4一体连接的挡板部分5，辊筒3的两端分别可转动的安装在挡板部分5上，辊筒5的一端穿过挡板部分5后固定安装有齿轮，齿轮通过驱动机构驱动转动，相邻送料单元2之间通过位于送料单元2两侧的连接板6固定连接。依次间隔连接的送料单元2构成送料机构，能够有效消除支撑板内的内应力，减少支撑板的变形。相邻送料单元2的两侧分别通过连接板6连接，减少变形导致辊筒3的位置发生变化，维持整个送料机构送料平稳，保证硅片刻蚀效果。

进一步的，所述连接板6包括有嵌入部7和位于嵌入部7两侧的安装耳8构成，底座部分4的两端分别设有卡槽9，相邻两个底座部4分的卡槽9拼接形成供嵌入部7嵌入的连接槽，嵌入部7嵌入连接槽后安装耳8分别与底座部分4通过螺栓10连接。嵌入部7使得相邻底座部分4形成整体，减少送料单元2各自形变后导致送料单元2之间差异过大。

进一步的，所述支撑板的上端设有若干溢流口11，溢流口11与辊筒3一一对应。溢流口11保持刻蚀液液面稳定，辊筒3转动及硅片的输送过程对液面产生影响时，减少液面波动。

进一步的，所述相邻溢流口11之间形成凸柱12，相邻支撑板之间通过固定套13连接，固定套13套在两个支撑板上相互靠近的两个凸柱12上。固定套13进一步减少送料单元2之间的形变差异，保证多有辊筒3能够维持在同一水平面。

进一步的，所述螺栓10、固定套13与支撑板的材质相同。例如peek材料或pvdf材料。

进一步的，所述驱动机构包括有由电机驱动转动的齿轮轴14，齿轮轴14垂直于辊筒3，齿轮轴14上安装有若干第一锥形齿轮15，辊筒3固定安装的齿轮为第二锥形齿轮16，第一锥形齿轮15与第二锥形齿轮16一一对应，第一锥形齿轮15与对应的第二锥形齿轮16齿合。通过齿轮轴14驱动所有辊筒3转动，使得辊筒3的转速一致，提高液面稳定性。

值得一提的是，本实用新型专利申请涉及的链式刻蚀机的其他部件、电机等技术特征应被视为现有技术，这些技术特征的具体结构、工作原理以及可能涉及到的控制方式、空间布置方式采用本领域的常规选择即可，不应被视为本实用新型专利的发明点所在，本实用新型专利不做进一步具体展开详述。

以上详细描述了本实用新型的较佳具体实施例，应当理解，本领域的普通技术人员无需创造性劳动就可以根据本实用新型的构思做出诸多修改和变化，因此，凡本技术领域中技术人员依本实用新型的构思在现有技术的基础上通过逻辑分析、推理或者有限的实验可以得到的技术方案，皆应在由权利要求书所确定的保护范围内。

技术特征：

1.一种不易变形的链式刻蚀机送料机构，所述链式刻蚀机包括有刻蚀槽，送料机构安装在刻蚀槽中，其特征在于，所述送料机构包括有若干依次间隔连接的送料单元，每个送料单元包括有若干相互平行的辊筒以及位于辊筒两侧的支撑板，支撑板包括有固定在刻蚀槽底面上的底座部分和与底座部分一体连接的挡板部分，辊筒的两端分别可转动的安装在挡板部分，辊筒的一端穿过挡板部分后固定安装有齿轮，齿轮通过驱动机构驱动转动，相邻送料单元之间通过位于送料单元两侧的连接板固定连接。

2.如权利要求1所述的不易变形的链式刻蚀机送料机构，其特征在于，所述连接板包括有嵌入部和位于嵌入部两侧的安装耳构成，底座部分的两端分别设有卡槽，相邻两个底座部分的卡槽拼接形成供嵌入部嵌入的连接槽，嵌入部嵌入连接槽后安装耳分别与底座部分通过螺栓连接。

3.如权利要求2所述的不易变形的链式刻蚀机送料机构，其特征在于，所述支撑板的上端设有若干溢流口，溢流口与辊筒一一对应。

4.如权利要求3所述的不易变形的链式刻蚀机送料机构，其特征在于，相邻溢流口之间形成凸柱，相邻支撑板之间通过固定套连接，固定套套在两个支撑板上相互靠近的两个凸柱上。

5.如权利要求4所述的不易变形的链式刻蚀机送料机构，其特征在于，所述螺栓、固定套与支撑板的材质相同。

6.如权利要求1所述的不易变形的链式刻蚀机送料机构，其特征在于，所述驱动机构包括有由电机驱动转动的齿轮轴，齿轮轴垂直于辊筒，齿轮轴上安装有若干第一锥形齿轮，辊筒固定安装的齿轮为第二锥形齿轮，第一锥形齿轮与第二锥形齿轮一一对应，第一锥形齿轮与对应的第二锥形齿轮齿合。

技术总结
本实用新型公开了一种不易变形的链式刻蚀机送料机构，链式刻蚀机包括有刻蚀槽，送料机构安装在刻蚀槽中，送料机构包括有若干依次间隔连接的送料单元，每个送料单元包括有若干辊筒以及位于辊筒两侧的支撑板，支撑板包括有固定在刻蚀槽底面上的底座部分和与底座部分一体连接的挡板部分，辊筒的两端分别可转动的安装在挡板部分，辊筒的一端穿过挡板部分后固定安装有齿轮，齿轮通过驱动机构驱动转动，相邻送料单元之间通过位于送料单元两侧的连接板固定连接。本实用新型可以有效减少送料机构因变形造成的水平异常情况，相邻两个送料单元之间互相牵连，不易变形，提高硅片刻蚀过程输送的稳定性，提高刻蚀效果。

技术研发人员：张飞;朱玉龙;田鹏鹏
受保护的技术使用者：浙江鸿禧能源股份有限公司
技术研发日：2019.12.30
技术公布日：2020.10.27