生产车间的运行轨道的制作方法

本发明实施例涉及半导体制造领域，尤其涉及一种生产车间的运行轨道。

背景技术：

1、在半导体制造工厂里，以前都是以stk(stocker，仓储)为主，通常通过人力将物料搬运到机台上进行生产，人力成本占整个晶圆制造的比例很低。但随着半导体技术的飞速发展，晶圆的尺寸逐渐增大，晶圆的整体重量也由原先的也随之增大，人工搬送已经无法满足生产的需要，同时加上人员安全、产品良率以及产能效率等因素的考虑，对于工厂的自动化系统提出了更高的要求，为了解决快速稳定的物料传递问题，自动化传输系统(automatic material handling system，amhs)应运而生。

2、在厂房建设中，天车轨道的设计与厂房内部的设备布局具有高度相关性，而设备的布局又受产品类型、厂房形状、设备技术代等多方面因素影响，同时新建厂房往往因首次扩产不会直接满产，而存在预留的弹性轨道，所以在首版天车轨道的背景下设计出合理的改造轨道对于晶圆厂的设备布局有着至关重要的作用。

技术实现思路

1、本发明实施例解决的问题是提供一种生产车间的运行轨道，提升生产车间的运行轨道的生产传输效率。

2、为解决上述问题，本发明实施例提供一种生产车间的运行轨道，生产车间包括多个加工区，加工区沿其延伸方向分布有多个子加工区，子加工区包括多个机台，其特征在于，运行轨道用于固定悬空传输装置、并使悬空传输装置沿运行轨道进行传输，运行轨道包括：主运行轨道，位于加工区的边界位置处，主运行轨道用于使悬空传输装置在加工区之间进行传输；第一分支轨道，位于子加工区的边界位置处，第一分支轨道的两端与主运行轨道相连接，第一分支轨道用于使悬空传输装置在子加工区之间进行传输、以及在子加工区内的机台之间进行传输；第二分支轨道，位于子加工区中，第二分支轨道包括与第一分支轨道平行且与主运行轨道相连接的第一子分支轨道，第二分支轨道用于使悬空传输装置在子加工区内的机台之间进行传输。

3、与现有技术相比，本发明实施例的技术方案具有以下优点：

4、本发明实施例提供的生产车间的运行轨道，第一分支轨道位于子加工区的边界位置处，第二分支轨道位于子加工区中，第二分支轨道包括与第一分支轨道平行且与主运行轨道相连接的第一子分支轨道，则在子加工区中，在利用了第一分支轨道进行传输时，相邻边界的第一分支轨道下方的机台之间还具有空余空间，设置与第一分支轨道平行且与主运行轨道相连接的第一子分支轨道，有利于在空余空间中利用第一子分支轨道进行传输，从而较好地利用了空余空间，优化了子加工区的可利用面积，使子加工区的面积可利用率提高，进而使得运行轨道的生产传输效率得到提高。

技术特征：

1.一种生产车间的运行轨道，所述生产车间包括多个加工区，所述加工区沿其延伸方向分布有多个子加工区，所述子加工区包括多个机台，其特征在于，所述运行轨道用于固定悬空传输装置、并使所述悬空传输装置沿所述运行轨道进行传输，所述运行轨道包括：

2.如权利要求1所述的运行轨道，其特征在于，所述第二分支轨道还包括与所述第一分支轨道垂直且两端与所述第一分支轨道相连接的第二子分支轨道，所述第一子分支轨道的一端与所述主运行轨道相连接，另一端与所述第二子分支轨道相连接；

3.如权利要求2所述的运行轨道，其特征在于，所述第二子分支轨道通过所述第一分支轨道与位于所述第一子分支轨道一侧的主运行轨道相连接；

4.如权利要求2所述的运行轨道，其特征在于，所述第二子分支轨道与所述第三子分支轨道均为单轨。

5.如权利要求2所述的运行轨道，其特征在于，所述第三子分支轨道与未与所述第一子分支轨道相连的主运行轨道之间的间距为3000mm至4500mm。

6.如权利要求2所述的运行轨道，其特征在于，所述第二子分支轨道与所述第三子分支轨道之间的间距为500mm至1000mm。

7.如权利要求2所述的运行轨道，其特征在于，所述第二子分支轨道与位于所述第一子分支轨道一侧的主运行轨道、以及第一分支轨道构成第一区域，在所述第一区域中，位于所述第一分支轨道下方的机台的取货口均朝向所述第一分支轨道设置，位于所述第一子分支轨道下方的机台的取货口均朝向所述第一子分支轨道设置；

8.如权利要求2所述的运行轨道，其特征在于，所述第三子分支轨道与未与所述第一子分支轨道相连的主运行轨道、以及第一分支轨道构成第二区域，在所述第二区域中，多个所述机台的取货口均朝向所述第三子分支轨道设置；

9.如权利要求7或8所述的运行轨道，其特征在于，沿所述第一分支轨道的延伸方向，相邻所述机台的间距为800mm至1200mm。

10.如权利要求7或8所述的运行轨道，其特征在于，沿垂直于所述第一分支轨道的延伸方向，相邻所述机台的间距为800mm至1500mm。

11.如权利要求1所述的运行轨道，其特征在于，所述第一子分支轨道与一侧的第一分支轨道的间距大于与另一侧的第一分支轨道的间距，且差值大于或等于所述机台的长度尺寸。

12.如权利要求1所述的运行轨道，其特征在于，所述第一子分支轨道与一侧的第一分支轨道的间距为8000mm至10000mm；所述第一子分支轨道与另一侧的第一分支轨道的间距为3000mm至4500mm。

13.如权利要求1所述的运行轨道，其特征在于，所述第一子分支轨道为单轨。

14.如权利要求1所述的运行轨道，其特征在于，所述第一分支轨道为构成环状回路的双轨。

15.如权利要求14所述的运行轨道，其特征在于，所述第一分支轨道沿其延伸方向包括多个所述双轨，多个所述双轨沿其延伸方向经由相同的轨道相连接。

16.如权利要求1所述的运行轨道，其特征在于，所述机台包括量测机台。

技术总结
一种生产车间的运行轨道，生产车间包括多个加工区，加工区沿其延伸方向分布有多个子加工区，子加工区包括多个机台，运行轨道包括：主运行轨道，位于加工区的边界位置处，主运行轨道用于使悬空传输装置在加工区之间进行传输；第一分支轨道，位于子加工区的边界位置处，第一分支轨道的两端与主运行轨道相连接，第一分支轨道用于使悬空传输装置在子加工区之间进行传输、以及在子加工区内的机台之间进行传输；第二分支轨道，位于子加工区中，第二分支轨道包括与第一分支轨道平行且与主运行轨道相连接的第一子分支轨道，第二分支轨道用于使悬空传输装置在子加工区内的机台之间进行传输。本发明使得运行轨道的生产传输效率得到提高。

技术研发人员：徐有超,周毅仲,孙俊丽,房小飞,李晓杰
受保护的技术使用者：中芯国际集成电路制造（北京）有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/4/22