容器保管设备的制作方法

本发明涉及一种具备容器保管架和非活性气体供应装置的容器保管设备，该容器保管架具备多个分别载置容器的容器载置部，该非活性气体供应装置对载置于容器载置部的每一个容器供应非活性气体。

背景技术：

1、在国际公开第2015/045582号（专利文献1）中公开了这样的容器保管设备的一例。以下，在该背景技术的说明中，在括号内引用专利文献1中的符号和名称。

2、专利文献1所记载的净化装置配置于在洁净室内设置的储料器（2）中。储料器（2）的内部空间（6）被分割为作业区域（12）和非作业区域（14）。在作业区域（12）和非作业区域（14）的边界设置有限制净化气体从非作业区域（14）向作业区域（12）侵入的隔板（30）。在作业者进入内部空间（6）时，净化装置停止作业区域（12）中的净化。监视作业区域（12）中的氧浓度，在从氧浓度传感器（54）取得的作业区域（12）内的氧浓度的检测结果为规定值以下的情况下，在非作业区域（14）中也停止净化气体的供应。

技术实现思路

1、在专利文献1所记载的技术中，在作业者进入内部空间时，停止作业区域的净化，以确保作业者的安全。此外，在作业区域的氧浓度变为规定值以下的情况下，停止非作业区域的净化，由此，谋求作业区域的氧浓度的恢复。但是，例如，在容器保管架中，存在从天花板悬挂而被支承并且排列配置有多个容器载置部的容器保管架。在这样的容器保管架中，根据从容器的非活性气体的泄漏的程度，有时存在氧浓度局部地降低的区域，在这样的情况下，作业者不能进入该氧浓度降低了的区域。因此，为了作业者进行针对这样的容器保管架的作业，需要适当地检测氧浓度局部地降低的区域的有无。但是，在专利文献1中没有公开检测这样的从天花板悬挂的容器保管架的周围的局部的氧浓度的降低。

2、因此，期望实现能够适当地感测从天花板悬挂而被支承并且排列配置有多个容器载置部的容器保管架的周围的氧浓度的容器保管设备。

3、鉴于上述的容器保管设备的特征结构之处在于，

4、一种容器保管设备，具备：

5、容器保管架，具备多个分别载置容器的容器载置部；以及

6、非活性气体供应装置，对载置于所述容器载置部的每一个所述容器供应非活性气体，

7、其中，

8、所述容器保管架从天花板悬挂而被支承并且在沿水平方向的第一方向上排列配置有多个容器载置部，

9、将在沿上下方向的上下方向视图中与所述第一方向正交的方向设为第二方向，将所述第二方向的一侧设为第二方向第一侧，将所述第二方向的另一侧设为第二方向第二侧，将与载置于所述容器载置部的所述容器重叠的高度设为重叠高度，

10、所述容器保管设备具备：

11、第一传感器组，由在所述重叠高度且相对于所述容器在所述第二方向第一侧沿所述第一方向排列配置的多个氧浓度传感器构成；

12、第二传感器组，由在所述重叠高度且相对于所述容器在所述第二方向第二侧沿所述第一方向排列配置的多个氧浓度传感器构成；

13、第三传感器组，由在被设定在所述重叠高度的下侧的第一规定高度且在所述第一传感器组的所述第二方向第一侧沿所述第一方向排列配置的多个氧浓度传感器构成；以及

14、第四传感器组，由在被设定在所述重叠高度的下侧的第二规定高度且在所述第二传感器组的所述第二方向第二侧沿所述第一方向排列配置的多个氧浓度传感器构成。

15、在具备具有多个分别载置容器的容器载置部的容器保管架和对载置于容器载置部的每一个容器供应非活性气体的非活性气体供应装置的容器保管设备中，根据从容器的非活性气体的泄漏的程度，存在氧浓度局部地降低的情况。在该情况下，作业者不能进入氧浓度降低了的区域。特别地，在从天花板悬挂而被支承的容器保管架中，有时在接近容器保管架的作业者的头部附近，氧浓度局部地降低。在这样的情况下，需要适当地对其进行感测并进行警告等。根据本结构，能够适当地感测假定作业者的头部从下方接近的、从天花板悬挂而被支承的容器保管架的周围的氧浓度。

16、通过参照附图所记述的以下的示例性且非限制性的实施方式的说明，本公开的技术的进一步的特征和优点变得更明确。

技术特征：

1.一种容器保管设备，具备：

2.根据权利要求1所述的容器保管设备，其中，

3.根据权利要求2所述的容器保管设备，其中，

4.根据权利要求2或3所述的容器保管设备，其中，

5.根据权利要求2至4中任一项所述的容器保管设备，其中，

技术总结
容器保管设备(1)具备具有沿第一方向(X)排列配置且载置容器(4)的多个容器载置部(11)的容器保管架(10)，具备第一传感器组(31)、第二传感器组(32)、第三传感器组(33)和第四传感器组(34)，第一传感器组(31)由相对于容器(4)在第二方向第一侧(Y1)沿第一方向(X)排列配置的多个氧浓度传感器(20)构成，第二传感器组(32)由相对于容器(4)在第二方向第二侧(Y2)沿第一方向(X)排列配置的多个氧浓度传感器(20)构成，第三传感器组(33)由在第一传感器组(31)的第二方向第一侧(Y1)沿第一方向(X)排列配置的多个氧浓度传感器(20)构成，第四传感器组(34)由在第二传感器组(32)的第二方向第二侧(Y2)沿第一方向(X)排列配置的多个氧浓度传感器(20)构成。

技术研发人员：福岛秀基
受保护的技术使用者：株式会社大福
技术研发日：
技术公布日：2024/1/12