真空传递装置及真空系统的制作方法

本公开涉及真空设备，特别涉及一种真空传递装置及真空系统。

背景技术：

1、真空运输腔道是真空互联与运输系统的重要组成部分，能够用于连接样品从进样、生长、处理、到表征等各个模块，可以手动控制或者程序化自动控制样品传输装置在真空运输腔道中沿不同路径运行，实现不同设备的互联互通，产生良好的协同效应，为促进材料研究提供了更为丰富的手段。传统技术中，将样品送入真空运输腔道主要是通过将样品放置于样品架上，手动送入真空运输腔道中，这会使样品长时间暴露在大气下，易造成样品变性。

技术实现思路

1、本公开提供了一种真空传递装置，包括：真空腔；真空导轨，固定设置在真空腔内；样品导轨，滑动设置在真空导轨上，用于引导样品架。

2、本公开提供了一种真空系统，包括：传递腔；如本公开的一些实施例中任意一项的真空传递装置，真空传递装置与真空腔真空密封连接。

1.一种真空传递装置，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的真空传递装置，其特征在于，所述样品导轨包括：

3.根据权利要求2所述的真空传递装置，其特征在于，所述真空导轨包括：

4.根据权利要求2所述的真空传递装置，其特征在于，还包括：

5.根据权利要求4所述的真空传递装置，其特征在于，还包括：

6.根据权利要求5所述的真空传递装置，其特征在于，所述驱动组件还包括：

7.根据权利要求6所述的真空传递装置，其特征在于，所述驱动滑轨包括：

8.根据权利要求1-7中任一项所述的真空传递装置，其特征在于，还包括：

9.根据权利要求8所述的真空传递装置，其特征在于，

10.根据权利要求9所述的真空传递装置，其特征在于，所述框架主体包括设置在所述容纳腔底部的开口；

11.根据权利要求10所述的真空传递装置，其特征在于，所述一个或多个滑轨还包括设置在所述容纳腔侧壁上且位于开口两侧的多个侧面滑轨；

12.根据权利要求9所述的真空传递装置，其特征在于，所述框架主体包括“凹”字型结构，所述连接主体包括与“凹”字型结构配合的“几”字型结构。

13.根据权利要求9所述的真空传递装置，其特征在于，

14.根据权利要求13所述的真空传递装置，其特征在于，所述锁定组件包括：

15.根据权利要求14所述的真空传递装置，其特征在于，所述锁定组件还包括：

16.根据权利要求15所述的真空传递装置，其特征在于，所述锁定组件还包括设置在所述锁钩末端的导向轮，用于与所述连接主体的顶面滑动配合。

17.根据权利要求13所述的真空传递装置，其特征在于，

18.一种真空系统，其特征在于，包括：