掩膜版智能存储设备的制作方法

本技术涉及掩膜版存储，具体是指掩膜版智能存储设备。

背景技术：

1、掩膜版又称光掩膜版、光罩(photo mask简称mask)，由石英玻璃作为基板衬底。首先在石英玻璃基板上镀上一层金属铬层，然后在铬层上面涂覆光阻(又称光刻胶，一种感光材料，在特定波长光的照射下其化学性质会发生改变)。把已设计好的电路图形通过电子激光设备使光阻曝光，被曝光的区域通过制程(光阻显影、铬层蚀刻)后形成与设计图一样的电路图形，从而成为类似曝光后的底片的光掩模母版。掩膜版是半导体、平板显示等行业生产制造过程中重要的关键材料。作为光刻复制图形的基准和蓝本，掩膜版是连接工业设计和工艺制造的关键，掩膜版的精度和质量水平会直接影响最终下游制品的优品率，在掩膜版存放时由于人体与存储箱之间摩擦产生静电吸附灰尘，容易影响产品的精度，从而影响产品的使用。

技术实现思路

1、本实用新型要解决的技术问题是，克服以上技术缺陷，提供一种具有除静电防尘功能的掩膜版智能存储设备。

2、为解决上述技术问题，本实用新型提供的技术方案为：掩膜版智能存储设备，包括存储箱与人体静电释放器，所述人体静电释放器靠近存储箱设置，所述存储箱内设有存储室，所述存储室内均匀设有多个存放板，多个所述存放板的顶部与存储室内底壁均连接设有多个存放槽，多个所述存放板的底部与存储室内顶部均连接设有固定防护机构，所述存储箱一侧靠近存放板均与存储室连通设有除尘口，所述存储箱远离除尘口一侧与存储室连通设有多个进气口，所述存储室内顶部一侧连接设有温湿度传感器，所述存储箱顶部一侧连接设有蜂鸣警报器，所述存储箱顶部连接设有吸尘器，所述吸尘器的进气端与多个除尘口之间连接设有气管，所述存储箱侧壁匹配存储室设有侧门。

3、作为改进，所述存储箱靠近进气口一侧设有进气框，所述进气框内两侧壁之间均连接设有负离子发生器。

4、作为改进，所述进气口内连接设有防尘网。

5、作为改进，所述固定防护机构包括电推杆、上盖板，所述电推杆的伸缩端与上盖板的顶壁固定连接，所述上盖板的底部匹配存放槽设有上盖槽。

6、本实用新型与现有技术相比的优点在于：通过人体静电释放器的设置可以对人体静电进行释放，防止存放掩膜版时静电的影响，减少灰尘的吸附，通过除尘口与进气口的配合设置可以对内部灰尘进行清理，配合负离子发生器可以去除内部的静电，减少静电影响，温湿度传感器与蜂鸣器的配合设置可以对存放环境进行监控警示，方便存放使用。

技术特征：

1.掩膜版智能存储设备，包括存储箱(1)与人体静电释放器(2)，其特征在于：所述人体静电释放器(2)靠近存储箱(1)设置，所述存储箱(1)内设有存储室(3)，所述存储室(3)内均匀设有多个存放板(4)，多个所述存放板(4)的顶部与存储室(3)内底壁均连接设有多个存放槽(5)，多个所述存放板(4)的底部与存储室(3)内顶部均连接设有固定防护机构(6)，所述存储箱(1)一侧靠近存放板(4)均与存储室(3)连通设有除尘口(7)，所述存储箱(1)远离除尘口(7)一侧与存储室(3)连通设有多个进气口(8)，所述存储室(3)内顶部一侧连接设有温湿度传感器(9)，所述存储箱(1)顶部一侧连接设有蜂鸣警报器(10)，所述存储箱(1)顶部连接设有吸尘器(11)，所述吸尘器(11)的进气端与多个除尘口(7)之间连接设有气管(12)，所述存储箱(1)侧壁匹配存储室(3)设有侧门(13)。

2.根据权利要求1所述的掩膜版智能存储设备，其特征在于：所述存储箱(1)靠近进气口(8)一侧设有进气框(14)，所述进气框(14)内两侧壁之间均连接设有负离子发生器(15)。

3.根据权利要求2所述的掩膜版智能存储设备，其特征在于：所述进气口(8)内连接设有防尘网(16)。

4.根据权利要求1所述的掩膜版智能存储设备，其特征在于：所述固定防护机构(6)包括电推杆(17)、上盖板(18)，所述电推杆(17)的伸缩端与上盖板(18)的顶壁固定连接，所述上盖板(18)的底部匹配存放槽(5)设有上盖槽(19)。

技术总结
本技术公开了掩膜版智能存储设备，包括存储箱与人体静电释放器，人体静电释放器靠近存储箱设置，存储箱内设有存储室，存储室内均匀设有多个存放板，多个存放板的顶部与存储室内底壁均连接设有多个存放槽，多个存放板的底部与存储室内顶部均连接设有固定防护机构，存储箱一侧靠近存放板均与存储室连通设有除尘口，存储箱远离除尘口一侧与存储室连通设有多个进气口，存储室内顶部一侧连接设有温湿度传感器，存储箱顶部一侧连接设有蜂鸣警报器，存储箱顶部连接设有吸尘器。本技术与现有技术相比的优点在于：提供一种具有除静电防尘功能的掩膜版智能存储设备。

技术研发人员：姚文虎
受保护的技术使用者：重庆博硕自动化设备有限公司
技术研发日：20220830
技术公布日：2024/1/11