矫正装置以及硅片输送设备的制作方法

本技术涉及机械加工，特别涉及一种矫正装置以及硅片输送设备。

背景技术：

1、硅片在皮带线上的传输更容易歪斜，从而造成堵片，碎片，影响设备产能，造成不必要的经济损失。在相关技术中，硅片校正多为每通道硅片单独校正，每通道由单独的动力源驱动执行机构往复运动，实现硅片的矫正，使得设备整体结构复杂，成本高。

技术实现思路

1、本实用新型旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此，本实用新型提出一种矫正装置，能够用于硅片输送中多轨道同时矫正，结构简单，成本低。

2、本实用新型还提供了一种包括上述矫正装置的硅片输送设备。

3、根据本实用新型的第一方面实施例的矫正装置，包括：

4、执行机构，包括两个移动件以及多个矫正组，两个所述移动件沿第一方向延伸，并沿第二方向并列设置，所述第一方向垂直于所述第二方向，多个所述矫正组沿第一方向分布，所述矫正组包括两个抵持组件，所述抵持组件包括抵持件，各所述矫正组的两个所述抵持组件的所述抵持件分别连接于两个所述移动件，并沿所述第一方向相向设置；

5、驱动机构，包括驱动元件，所述驱动元件连接两个所述移动件，以驱动两个所述移动件沿第一方向相对移动，以使各所述矫正组的两个所述抵持组件的所述抵持件相互靠近或远离。

6、根据本实用新型实施例的矫正装置，至少具有如下有益效果：

7、沿第一方向间隔设置有多个矫正组，矫正组具有两个抵持组件，各矫正组的两个抵持组件的抵持件分别连接在两个移动件上，仅通过一个驱动元件连接两个移动件，以驱动移动件运动，从而带动各矫正组的两个抵持组件的抵持件相互靠近或远离。当两个抵持组件的抵持件相互靠近时，能够将输送件上的硅片，矫正在设定位置，应用于硅片输送设备时，能够同时矫正多个输送件上的硅片，提高工作效率，且无需设置多个驱动元件，使得结构更加简单，成本更低。

8、根据本实用新型的一些实施例，所述抵持组件还包括过渡件，所述过渡件沿第二方向延伸，所述过渡件连接于所述移动件，沿所述第二方向，所述过渡件上连接有多个抵持件。

9、根据本实用新型的一些实施例，所述抵持件可拆卸地连接于所述过渡件。

10、根据本实用新型的一些实施例，所述抵持组件还包括多个锁紧件，沿所述第二方向，所述抵持组件的多个所述抵持件中至少首位的所述抵持件，与末位的抵持件能够相对所述移动件沿所述第二方向活动，并通过所述锁紧件锁紧于所述过渡件，以调节首位的所述抵持件与末位的所述抵持件所述第二方向的间距。

11、根据本实用新型的一些实施例，所述过渡件设置有连接孔，所述锁紧件穿设于所述连接孔，并与所述抵持件螺纹连接；

12、沿所述第二方向，所述过渡件间隔设置有多个所述连接孔，所述连接孔的数量大于所述抵持件的数量；

13、或者，所述连接孔具有沿第二方向延伸的轮廓。

14、根据本实用新型的一些实施例，两个所述抵持组件中至少一个所述抵持组件的各所述抵持件能够相对所述过渡件沿所述第一方向活动，以调节两个所述抵持组件的所述抵持件沿所述第一方向的最小间距。

15、根据本实用新型的一些实施例，所述执行还包括旋转件以及驱动件，所述旋转件沿所述第一方向延伸，所述旋转件的外部至少套设有两个对称设置的所述驱动件，所述驱动件的径向外侧面环绕设置有滑槽，且至少部分所述滑槽相对于所述驱动件的旋转轴倾斜设置，所述执行机构还包括至少两个连接件，两个所述连接件的一端分别连接于两个所述移动件，另一端分别滑动连接于所述滑槽内

16、根据本实用新型的一些实施例，所述执行机构还包括滚动件，各所述连接件的靠近所述驱动件的一端均连接有所述滚动件，且所述滚动件与所述连接件可滚动连接，所述滚动件设置于所述滑槽内。

17、根据本实用新型的一些实施例，所述驱动机构包括固定座，所述旋转件可转动地连接于所述固定座，所述矫正装置还包括位置传感器以及检测件，所述位置传感器连接于所述固定座，所述检测件连接于所述旋转件，所述检测件能够随所述旋转件转动，所述位置传感器配置为：所述检测件随所述旋转件旋转至设定位置，所述位置传感器的触发状态发生改变并产生确认信号。

18、根据本实用新型的第二方面实施例的硅片输送设备，包括：

19、多个输送件，沿第一方向间隔分布，各所述输送件能够沿所述第二方向移动，用于输送硅片；

20、第一方面实施例所述的矫正装置，多个所述矫正组与多个所述输送件一一对应，且各所述矫正组的两个所述抵持组件的所述抵持件分别设置于所述输送件的沿所述第一方向的两侧。

21、根据本实用新型实施例的硅片输送装置，至少具有如下有益效果：

22、采用第一方面实施例的矫正装置，沿第一方向间隔设置有多个矫正组，矫正组具有两个抵持组件，各矫正组的两个抵持组件的抵持件分别连接在两个移动件上，仅通过一个驱动元件连接两个移动件，以驱动移动件运动，从而带动各矫正组的两个抵持组件的抵持件相互靠近或远离，从而同时矫正多个输送件上的硅片，提高工作效率，且无需设置多个驱动元件，使得结构更加简单，成本更低。

23、本实用新型的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本实用新型的实践了解到。

技术特征：

1.矫正装置，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的矫正装置，其特征在于，所述抵持组件还包括过渡件，所述过渡件沿第二方向延伸，所述过渡件连接于所述移动件，沿所述第二方向，所述过渡件上连接有多个抵持件。

3.根据权利要求2所述的矫正装置，其特征在于，所述抵持件可拆卸地连接于所述过渡件。

4.根据权利要求2所述的矫正装置，其特征在于，所述抵持组件还包括多个锁紧件，沿所述第二方向，所述抵持组件的多个所述抵持件中至少首位的所述抵持件，与末位的抵持件能够相对所述过渡件沿所述第二方向活动，并通过所述锁紧件锁紧于所述过渡件，以调节首位的所述抵持件与末位的所述抵持件沿所述第二方向的间距。

5.根据权利要求4所述的矫正装置，其特征在于，所述过渡件设置有连接孔，所述锁紧件穿设于所述连接孔，并与所述抵持件螺纹连接；

6.根据权利要求2或4所述的矫正装置，其特征在于，所述矫正组的两个所述抵持组件中，至少一个所述抵持组件的各所述抵持件能够相对所述过渡件沿所述第一方向活动，以调节两个所述抵持组件的所述抵持件沿所述第一方向的最小间距。

7.根据权利要求1所述的矫正装置，其特征在于，所述驱动机构还包括旋转件以及驱动件，所述旋转件沿所述第一方向延伸，所述旋转件的外部至少套设有两个对称设置的所述驱动件，所述驱动件的径向外侧面环绕设置有滑槽，且至少部分所述滑槽相对于所述驱动件的旋转轴倾斜设置，所述执行机构还包括至少两个连接件，两个所述连接件的一端分别连接于两个所述移动件，另一端分别滑动连接于所述滑槽内。

8.根据权利要求7所述的矫正装置，其特征在于，所述执行机构还包括滚动件，各所述连接件的靠近所述驱动件的一端均连接有所述滚动件，且所述滚动件与所述连接件可滚动连接，所述滚动件设置于所述滑槽内。

9.根据权利要求7所述的矫正装置，其特征在于，所述驱动机构包括固定座，所述旋转件可转动地连接于所述固定座，所述矫正装置还包括位置传感器以及检测件，所述位置传感器连接于所述固定座，所述检测件连接于所述旋转件，所述检测件能够随所述旋转件转动，所述位置传感器配置为：所述检测件随所述旋转件旋转至设定位置，所述位置传感器的触发状态发生改变并产生确认信号。

10.硅片输送设备，其特征在于，包括：

技术总结
本技术公开了一种矫正装置以及硅片输送设备，其中矫正装置包括：执行机构以及驱动机构。执行机构包括两个移动件以及多个矫正组，两个移动件沿第一方向延伸，并沿第二方向并列设置，第一方向垂直于第二方向，多个矫正组沿第一方向分布，矫正组包括两个抵持组件，抵持组件包括抵持件，各矫正组的两个抵持组件的抵持件分别连接于两个移动件，并沿第一方向相向设置；驱动机构包括驱动元件，驱动元件连接两个移动件，以驱动两个移动件沿第一方向相对移动，以使各矫正组的两个抵持组件的抵持件相互靠近或远离。应用于硅片输送设备时，能够同时矫正多个输送件上的硅片，提高工作效率，且无需设置多个驱动元件，使得结构更加简单，成本更低。

技术研发人员：张勇,谭孟东,汪林,邓金生
受保护的技术使用者：深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司
技术研发日：20221031
技术公布日：2024/1/12