一种晶片料盘全自动输送机构的制作方法

本技术涉及半电体制造，特别是涉及一种晶片料盘全自动输送机构。

背景技术：

1、在半导体制造行业，微小晶片一般用标准50mm*50mm料盘封装周转，但是每个料盘的容量有限，对于高速的生产设备，需要频繁的更换或者补充产品，再由人工把整叠的十个料盘放入弹夹式料盘送料器，这个过程中，设备必需停机等待；同时操作员为了减少停机时间，需要尽快把料盘放入设备。

2、一叠十个料盘在打开封装的固定件后，经常出现由于人工失误把整叠料盘散落的情况，造成产品损坏，相应也增大了停机时间，降低了工作效率。

技术实现思路

1、本实用新型主要解决的技术问题是提供一种晶片料盘全自动输送机构，具有可靠性能高、定位精确、结构紧凑等优点，同时在半电体制造设备的应用及普及上有着广泛的市场前景。

2、为解决上述技术问题，本实用新型采用的一个技术方案是：

3、提供一种晶片料盘全自动输送机构，其包括：安装底板、用于存储晶片料盘的料盘贮存仓、贮存仓升降驱动机构、料盘阻挡机构、料盘输送架、输送驱动机构、料盘抓取机构，

4、所述料盘贮存仓内设置有多层用于放置料盘的存储架，所述贮存仓升降驱动机构带动所述料盘贮存仓升降运动，所述料盘阻挡机构活动设置于所述料盘贮存仓的下料端内，以对放入料盘贮存仓的料盘插入位置进行限位，所述料盘输送架的顶部设置有用于放置料盘的支撑轨道，所述料盘抓取机构活动设置于所述料盘输送架上，以将料盘送至支撑轨道或料盘贮存仓中，所述输送驱动机构带动料盘输送架来回运动，以实现料盘的输送。

5、在本实用新型一个较佳实施例中，所述料盘贮存仓中每一层的存储空间内安装一个光纤传感器，用于检测料盘载具的有无。

6、在本实用新型一个较佳实施例中，所述料盘阻挡机构包括阻挡气缸、阻挡块，所述阻挡气缸通过气缸支架设置于料盘贮存仓的侧壁上，所述阻挡气缸的输出端与位于料盘贮存仓中的阻挡块相连接，以带动阻挡块在料盘贮存仓中前后运动，以对料盘进行限位。

7、在本实用新型一个较佳实施例中，所述料盘贮存仓的上料端上设置有上料门。

8、在本实用新型一个较佳实施例中，所述贮存仓升降驱动机构包括升降安装架、伺服电机、丝杠模组、升降连接架、升降导杆，所述升降安装架设置于所述安装底板上，所述丝杠模组活动设置于所述升降安装架上，所述升降导杆的下端与所述升降连接架相连接，其上端与所述料盘贮存仓相连接，所述升降连接架与所述丝杠模组中的螺母相连接，所述伺服电机带动丝杠模组转动，从而通过升降连接架带动料盘贮存仓上下运动。

9、在本实用新型一个较佳实施例中，所述升降安装架上设置有升降传感器，所述升降连接架上设置有与升降传感器配合的升降感应片。

10、在本实用新型一个较佳实施例中，所述输送驱动机构包括直线电机、与直线电机连接的运动板，所述料盘输送架设置于所述运动板上。

11、在本实用新型一个较佳实施例中，所述安装底板上设置有第一传感器，所述运动板上设置有与第一传感器配合的第一感应片。

12、在本实用新型一个较佳实施例中，所述料盘抓取机构包括用于抓取料盘端部的球形把手的夹爪、用于带动夹爪来回运动的直线模组，所述直线模组设置于所述运动板或料盘输送架上，且其输出端上连接有用于安装夹爪的安装板。

13、在本实用新型一个较佳实施例中，所述直线模组上设置有第二传感器，所述安装板上设置有与第二传感器配合的第二感应片。

14、本实用新型的有益效果是：实现了把晶片料盘向设备内部加工区或者下位机输送的功能，从而实现晶片料盘的不间断供应输送，同时可以减化整机的结构，降低了噪音，提高了设备运行速度和工作效率，从而增加了产能。

技术特征：

1.一种晶片料盘全自动输送机构，其特征在于，包括：安装底板、用于存储晶片料盘的料盘贮存仓、贮存仓升降驱动机构、料盘阻挡机构、料盘输送架、输送驱动机构、料盘抓取机构，

2.根据权利要求1所述的一种晶片料盘全自动输送机构，其特征在于，所述料盘贮存仓中每一层的存储空间内安装一个光纤传感器，用于检测料盘载具的有无。

3.根据权利要求1所述的一种晶片料盘全自动输送机构，其特征在于，所述料盘阻挡机构包括阻挡气缸、阻挡块，所述阻挡气缸通过气缸支架设置于料盘贮存仓的侧壁上，所述阻挡气缸的输出端与位于料盘贮存仓中的阻挡块相连接，以带动阻挡块在料盘贮存仓中前后运动，以对料盘进行限位。

4.根据权利要求1所述的一种晶片料盘全自动输送机构，其特征在于，所述料盘贮存仓的上料端上设置有上料门。

5.根据权利要求1所述的一种晶片料盘全自动输送机构，其特征在于，所述贮存仓升降驱动机构包括升降安装架、伺服电机、丝杠模组、升降连接架、升降导杆，所述升降安装架设置于所述安装底板上，所述丝杠模组活动设置于所述升降安装架上，所述升降导杆的下端与所述升降连接架相连接，其上端与所述料盘贮存仓相连接，所述升降连接架与所述丝杠模组中的螺母相连接，所述伺服电机带动丝杠模组转动，从而通过升降连接架带动料盘贮存仓上下运动。

6.根据权利要求5所述的一种晶片料盘全自动输送机构，其特征在于，所述升降安装架上设置有升降传感器，所述升降连接架上设置有与升降传感器配合的升降感应片。

7.根据权利要求1所述的一种晶片料盘全自动输送机构，其特征在于，所述输送驱动机构包括直线电机、与直线电机连接的运动板，所述料盘输送架设置于所述运动板上。

8.根据权利要求7所述的一种晶片料盘全自动输送机构，其特征在于，所述安装底板上设置有第一传感器，所述运动板上设置有与第一传感器配合的第一感应片。

9.根据权利要求7所述的一种晶片料盘全自动输送机构，其特征在于，所述料盘抓取机构包括用于抓取料盘端部的球形把手的夹爪、用于带动夹爪来回运动的直线模组，所述直线模组设置于所述运动板或料盘输送架上，且其输出端上连接有用于安装夹爪的安装板。

10.根据权利要求9所述的一种晶片料盘全自动输送机构，其特征在于，所述直线模组上设置有第二传感器，所述安装板上设置有与第二传感器配合的第二感应片。

技术总结
本技术公开了一种晶片料盘全自动输送机构，包括：安装底板、用于存储晶片料盘的料盘贮存仓、贮存仓升降驱动机构、料盘阻挡机构、料盘输送架、输送驱动机构、料盘抓取机构。通过上述方式，本技术一种晶片料盘全自动输送机构，实现了把晶片料盘向设备内部加工区或者下位机输送的功能，从而实现晶片料盘的不间断供应输送，同时可以减化整机的结构，降低了噪音，提高了设备运行速度和工作效率，从而增加了产能。

技术研发人员：李孟超,许乐乐,王兴华
受保护的技术使用者：苏州河图电子科技有限公司
技术研发日：20221111
技术公布日：2024/1/12