一种半导体前驱体薄膜收卷装置的制作方法

本技术涉及半导体前驱体膜制造，具体为一种半导体前驱体薄膜收卷装置。

背景技术：

1、半导体膜是指由半导体材料形成的薄膜，在生产过程中需要使用到卷膜机对薄膜进行收卷工作；

2、例如公告号为cn108706378a的中国版权专利(一种卷膜机)，所述的卷膜机包括机架、设置在所述的机架上的送膜辊和收料辊，所述的机架上还设置有第一导辊、第二导辊和第三导辊，送膜辊上的薄膜依次经过第一导辊、第二导辊和第三导辊。

3、但是，现有半导体前驱体膜收卷装置在收卷完毕切割之后，膜的头部会落下，在卷膜筒更换之后，需要人工将膜拉起并缠绕在卷膜筒上，继续进行卷膜工作，较为麻烦；因此，不满足现有的需求，对此我们提出了一种半导体前驱体薄膜收卷装置。

技术实现思路

1、本实用新型的目的在于提供一种半导体前驱体薄膜收卷装置，以解决上述背景技术中提出的现有半导体前驱体膜收卷装置在收卷完毕切割之后，膜的头部会落下，在卷膜筒更换之后，需要人工将膜拉起并缠绕在卷膜筒上，继续进行卷膜工作，较为麻烦的问题。

2、为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种半导体前驱体薄膜收卷装置，包括卷膜机和辅助上膜机，所述卷膜机的下方设置有固定底座；

3、还包括：

4、推杆底座，其设置在固定底座的上方一侧，所述推杆底座的内部设置有膜板推杆，所述膜板推杆的上方设置有撑膜板，且撑膜板通过螺栓与膜板推杆连接；

5、横杆，其设置在辅助上膜机的中间，且辅助上膜机设置在卷膜机的上方，所述横杆上设置有移动座，且横杆插入移动座的内部将移动座架起，所述移动座的内部设置有升降推杆，且升降推杆与移动座嵌入式连接，所述升降推杆的下方设置有升降吸附块，且升降吸附块通过螺栓与升降推杆连接。

6、优选的，所述升降吸附块的一侧上方设置有气泵，且气泵通过螺栓与移动座连接。

7、优选的，所述升降吸附块的内部一侧设置有气道，且气道与升降吸附块为一体结构，所述气道的下方设置有多个气孔，且多个气孔均与气道连通，所述气泵通过气管与气道连接。

8、优选的，所述固定底座的上方中间设置有旋转底座，且旋转底座与固定底座为一体结构，所述旋转底座的内部设置有倾斜下料板，且倾斜下料板与旋转底座轴连接，所述倾斜下料板的上方设置有卷膜筒，且卷膜筒与倾斜下料板轴连接，所述旋转底座的另一侧设置有下料座，且下料座与固定底座为一体结构。

9、优选的，所述推杆底座的一侧设置有输膜机，且输膜机与固定底座焊接连接，所述输膜机的内部上方设置有膜槽，且膜槽与输膜机为一体结构，所述膜槽的上下方均设置有吹膜孔，且吹膜孔与输膜机为一体结构，所述膜槽上下方的另一侧设置有检测传感器，且检测传感器与输膜机嵌入连接。

10、优选的，所述升降推杆的前端设置有挤压推杆，且挤压推杆与移动座嵌入式连接，所述挤压推杆的下方设置有插板，且插板与挤压推杆为一体结构。

11、与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

12、1、本实用新型通过在卷膜机的上方设置辅助上膜机，辅助上膜机上的移动座可以向两侧移动，再在移动座上设置可升降的升降吸附块，将升降吸附块内的气道连接到气泵，使用时气泵启动从气孔向内部吸入空气，在升降吸附块接触到半导体前驱体膜时可将膜吸住，升降吸附块再升起移动至卷膜筒上方，将膜固定在卷膜筒上，以便自动进行上膜卷膜工作，避免现有半导体前驱体膜收卷装置在收卷完毕切割之后，膜的头部会落下，在卷膜筒更换之后，需要人工将膜拉起并缠绕在卷膜筒上，继续进行卷膜工作，较为麻烦的问题发生。

13、2、通过在膜槽的上下方设置吹膜孔，气泵向吹膜孔内吹风，将薄膜向另一侧吹动，避免另一侧的刀头切断薄膜后薄膜从输膜机的一侧脱出落下，同时膜槽前端的检测传感器可对中间的薄膜进行监测，当薄膜从输膜机的一侧脱出时，检测传感器未监测到薄膜会发出警报，以便提醒工作人员前来处理，通过在移动座的内部设置挤压推杆与插板，在将薄膜吸附移动至卷膜筒的上方时，升降吸附块与插板一起下降，薄膜接触到卷膜筒后，插板讲薄膜插入下料座上的固定槽内，以便将薄膜的头部固定，方便卷膜筒进行缠卷。

技术特征：

1.一种半导体前驱体薄膜收卷装置，包括卷膜机(1)和辅助上膜机(2)，所述卷膜机(1)的下方设置有固定底座；

2.根据权利要求1所述的一种半导体前驱体薄膜收卷装置，其特征在于：所述升降吸附块(5)的一侧上方设置有气泵(6)，且气泵(6)通过螺栓与移动座(4)连接。

3.根据权利要求2所述的一种半导体前驱体薄膜收卷装置，其特征在于：所述升降吸附块(5)的内部一侧设置有气道(20)，且气道(20)与升降吸附块(5)为一体结构，所述气道(20)的下方设置有多个气孔(22)，且多个气孔(22)均与气道(20)连通，所述气泵(6)通过气管(7)与气道(20)连接。

4.根据权利要求1所述的一种半导体前驱体薄膜收卷装置，其特征在于：所述固定底座的上方中间设置有旋转底座(16)，且旋转底座(16)与固定底座为一体结构，所述旋转底座(16)的内部设置有倾斜下料板(17)，且倾斜下料板(17)与旋转底座(16)轴连接，所述倾斜下料板(17)的上方设置有卷膜筒(18)，且卷膜筒(18)与倾斜下料板(17)轴连接，所述旋转底座(16)的另一侧设置有下料座(19)，且下料座(19)与固定底座为一体结构。

5.根据权利要求1所述的一种半导体前驱体薄膜收卷装置，其特征在于：所述推杆底座(14)的一侧设置有输膜机(10)，且输膜机(10)与固定底座焊接连接，所述输膜机(10)的内部上方设置有膜槽(12)，且膜槽(12)与输膜机(10)为一体结构，所述膜槽(12)的上下方均设置有吹膜孔(11)，且吹膜孔(11)与输膜机(10)为一体结构，所述膜槽(12)上下方的另一侧设置有检测传感器(13)，且检测传感器(13)与输膜机(10)嵌入连接。

6.根据权利要求1所述的一种半导体前驱体薄膜收卷装置，其特征在于：所述升降推杆(8)的前端设置有挤压推杆(9)，且挤压推杆(9)与移动座(4)嵌入式连接，所述挤压推杆(9)的下方设置有插板(21)，且插板(21)与挤压推杆(9)为一体结构。

技术总结
本技术公开了一种半导体前驱体薄膜收卷装置，涉及半导体前驱体膜制造技术领域，为解决现有半导体前驱体膜收卷装置在收卷完毕切割之后，膜的头部会落下，在卷膜筒更换之后，需要人工将膜拉起并缠绕在卷膜筒上，继续进行卷膜工作，较为麻烦的问题。所述卷膜机的下方设置有固定底座；推杆底座，其设置在固定底座的上方一侧，所述推杆底座的内部设置有膜板推杆，所述膜板推杆的上方设置有撑膜板，且撑膜板通过螺栓与膜板推杆连接；横杆，其设置在辅助上膜机的中间，且辅助上膜机设置在卷膜机的上方，所述横杆上设置有移动座，且横杆插入移动座的内部将移动座架起，所述移动座的内部设置有升降推杆，所述升降推杆的下方设置有升降吸附块。

技术研发人员：孟永禄,林沫,翁圣斐
受保护的技术使用者：江苏先科半导体新材料有限公司
技术研发日：20221122
技术公布日：2024/1/12