光罩暂存设备的制作方法

本技术属于液晶面板生产设备，尤其涉及一种光罩暂存设备。

背景技术：

1、在半导体器件的加工制造过程由将近20道工序组成，但是每道工序需要的完成时间不一致，导致出现半导体器件已经完成上一道工序，由于下一道工序的耗时较长，完成上一道工序的半导体器件不能立刻进入下一道工序，此时需要暂存设备暂时存放已经完成上一道工序的半导体器件，避免工件长时间放置在上一道工序的设备上，影响该设备对后续半导体器件的加工。

2、申请号为cn202120792080.4的实用新型专利申请公开了基于光罩盒用具备定位能力的暂存架，包括暂存架本体，所述暂存架本体的顶部开设有通孔，所述暂存架本体的顶部设置有定位板，所述暂存架本体的顶部开设有与定位板配合使用的长槽，所述定位板的底部贯穿至暂存架本体的底部固定连接有短杆，所述定位板的内壁滑动连接有滑块，所述滑块的底部固定连接有与通孔配合使用的限位块，所述滑块的顶部固定连接有连接杆。该实用新型通过设置暂存架本体、通孔、定位板、长槽、短杆、滑块、限位块、连接杆、弹簧、拉环和防滑块，解决了现有的暂存架不具备定位的功能，更加解决了在半导体某个生产环节中，光罩的暂存问题。然而，由于每个光罩的暂存位置都不一样，因此不方便对光罩进行自动抓取，机械手抓取不同位置的光罩，都需要进行不同的参数设置，因此该实用新型不利于半导体器件的加工制造中的自动化升级。

技术实现思路

1、本实用新型的目的在于提供一种光罩暂存设备，旨在解决现有技术中光罩暂存设备不能使每个光罩以相同的状态供机械手抓取，不利于半导体器件的加工制造中的自动化升级的技术问题。

2、为实现上述目的，本实用新型实施例提供光罩暂存设备，包括底座，还包括相互连接的主旋转机构和旋转架；所述主旋转机构安装于所述底座的内部；所述旋转架的侧面设置有多个用于夹持光罩的夹持机构；所述旋转架与所述主旋转机构连接；所述主旋转机构驱动所述旋转架360°旋转。

3、可选地，所述旋转架的侧面可旋转地设置有次旋转机构；所述次旋转机构包括次旋转轴；所述次旋转轴可转动地与所述旋转架连接；所述次旋转轴的侧面固定安装有至少两个所述夹持机构。

4、可选地，所述夹持机构包括平面板和夹块；所述平面板与所述次旋转轴的侧面固定连接；所述夹块包括安装板和夹座；所述安装板可滑动地安装于所述平面板的上下两端；所述夹座固定安装于所述安装板的另一侧面，上下两端的所述夹座用于夹持光罩的侧壁。

5、可选地，所述夹座包括壳体、第一压块、第二压块和气缸；所述壳体的一端与所述安装板连接；所述壳体的内部中空，且下侧面开设有夹持槽；所述第一压块固定设置于所述夹持槽的前侧壁；所述第二压块可滑动地设置于所述夹持槽的上方，并且与所述第一压块相对设置，所述气缸与所述壳体的后端外表面固定设置，所述气缸的输出轴伸入所述壳体内并与所述第二压块连接。

6、可选地，所述夹座还包括第一导轨和抵接块；所述第一导轨水平设置于所述第二压块的上方，其一端与所述壳体的内壁固接；所述抵接块可滑动地与所述导轨连接，所述抵接块与所述第二压块固定连接。

7、可选地，所述次旋转机构还包括第一电机；所述第一电机固定设置于所述旋转架的上端，所述第一电机与所述次旋转轴连接，所述第一电机驱动所述次旋转轴旋转180°。

8、可选地，所述主旋转机构包括第二电机和主旋转轴；所述第二电机安装于所述底座的内部；所述主旋转轴一端与所述第二电机连接，所述主旋转轴的另一端与所述旋转架的下端连接。

9、可选地，所述平面板的两侧设置有第二导轨；所述安装板的一侧面可滑动地与所述第二导轨连接。

10、可选地，所述安装板的两侧均设置有延长杆，所述安装板和所述延长杆均设置有感应传感器。

11、可选地，所述旋转架呈长方体结构，且其每个侧面均设置有翻转工位，每个所述翻转工位均设置有一所述次旋转机构，每个所述次旋转轴供设置有两个所述夹持机构。

12、本实用新型实施例提供的光罩暂存设备中的上述一个或多个技术方案至少具有如下技术效果之一：所述夹持机构用于夹持光罩，所述主旋转机构驱动所述旋转架转动，当机械手需要夹持某个特定的光罩时，所述旋转架将夹持有该光罩的所述夹持机构转动至机械手的正前方，方便机械手夹持，由于旋转架能将每个光罩都旋转同一平面，即机械手的正前方，而且每个光罩的位置一样，机械手每次夹取光罩的位置保持一致，因此只需要对机械手进行一次参数设置，就能使机械手不断重复的依次夹取所述旋转架上的光罩，将本实用新型导入生产中，有利于加强生产的自动化程度，从而提高生产效率。

技术特征：

1.光罩暂存设备，包括底座，其特征在于，还包括相互连接的主旋转机构和旋转架；所述主旋转机构安装于所述底座的内部；所述旋转架的侧面设置有多个用于夹持光罩的夹持机构；所述旋转架与所述主旋转机构连接；所述主旋转机构驱动所述旋转架360°旋转。

2.根据权利要求1所述的光罩暂存设备，其特征在于，所述旋转架的侧面可旋转地设置有次旋转机构；所述次旋转机构包括次旋转轴；所述次旋转轴可转动地与所述旋转架连接；所述次旋转轴的侧面固定安装有至少两个所述夹持机构。

3.根据权利要求2所述的光罩暂存设备，其特征在于，所述夹持机构包括平面板和夹块；所述平面板与所述次旋转轴的侧面固定连接；所述夹块包括安装板和夹座；所述安装板可滑动地安装于所述平面板的上下两端；所述夹座固定安装于所述安装板的另一侧面，所述夹座用于夹持光罩的侧壁。

4.根据权利要求3所述的光罩暂存设备，其特征在于，所述夹座包括壳体、第一压块、第二压块和气缸；所述壳体的一端与所述安装板连接；所述壳体的内部中空，且下侧面开设有夹持槽；所述第一压块固定设置于所述夹持槽的前侧壁；所述第二压块可滑动地设置于所述夹持槽的上方，并且与所述第一压块相对设置，所述气缸与所述壳体的后端外表面固定设置，所述气缸的输出轴伸入所述壳体内并与所述第二压块连接。

5.根据权利要求4所述的光罩暂存设备，其特征在于，所述夹座还包括第一导轨和抵接块；所述第一导轨水平设置于所述第二压块的上方，其一端与所述壳体的内壁固接；所述抵接块可滑动地与所述导轨连接，所述抵接块与所述第二压块固定连接。

6.根据权利要求2所述的光罩暂存设备，其特征在于，所述次旋转机构还包括第一电机；所述第一电机固定设置于所述旋转架的上端，所述第一电机与所述次旋转轴连接，所述第一电机驱动所述次旋转轴旋转180°。

7.根据权利要求6所述的光罩暂存设备，其特征在于，所述主旋转机构包括第二电机和主旋转轴；所述第二电机安装于所述底座的内部；所述主旋转轴一端与所述第二电机连接，所述主旋转轴的另一端与所述旋转架的下端连接。

8.根据权利要求4所述的光罩暂存设备，其特征在于，所述平面板的两侧设置有第二导轨；所述安装板的一侧面可滑动地与所述第二导轨连接。

9.根据权利要求8所述的光罩暂存设备，其特征在于，所述安装板的两侧均设置有延长杆，所述安装板和所述延长杆均设置有感应传感器。

10.根据权利要求2-9任一项所述的光罩暂存设备，其特征在于，所述旋转架呈长方体结构，且其每个侧面均设置有翻转工位，每个所述翻转工位均设置有一所述次旋转机构，每个所述次旋转轴供设置有两个所述夹持机构。

技术总结
本技术属于液晶面板生产设备技术领域，尤其涉及光罩暂存设备，包括底座，还包括相互连接的主旋转机构和旋转架；主旋转机构安装于底座的内部；旋转架的侧面设置有多个用于夹持光罩的夹持机构；旋转架与主旋转机构连接；主旋转机构驱动旋转架360°旋转。夹持机构用于夹持光罩，主旋转机构驱动旋转架转动，当机械手需要夹持某个特定的光罩时，旋转架将夹持有该光罩的夹持机构转动至机械手的正前方，方便机械手夹持，由于旋转架能将每个光罩都旋转同一平面，即机械手的正前方，因此只需要对机械手进行一次参数设置，就能使机械手不断重复的依次夹取旋转架上的光罩，将本技术导入生产中，有利于加强生产的自动化程度，从而提高生产效率。

技术研发人员：孙艳杰,陈兵华
受保护的技术使用者：深圳亿升激光智能装备有限公司
技术研发日：20221216
技术公布日：2024/1/11